摩托罗拉
飞思卡尔半导体公司
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
半导体技术资料
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由MPX2100 / D
100千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2100系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单一的，整体的硅膜片上的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光调整，精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
•
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
•
易于使用芯片载体封装选项
•
提供绝压，差压和表压配置
•
供电电压成正比
• ±0.25%
线性度（ MPX2100D ）
应用实例
•
泵/电机控制器
•
机器人
•
一级指标
•
医疗诊断
•
压力开关
•
气压表
•
高度表
图1示出的内部电路上的独立的方框图
压力传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
MPX2100
系列
0〜 100千帕（ 0〜 14.5 psi）的
40 mV的满量程
（典型值）
UNIBODY包装
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存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
MPX2100A/D
CASE 344
MPX2100AP/GP
CASE 344B
2
4
传感
元素
V
OUT +
V
OUT-
MPX2100DP
CASE 344C
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。输出电压将减小
如真空，相对于周围环境，被描绘在压力（P1）的一侧。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到相对于真空（P2）侧的压力（P1）的一侧。同样，
输出电压随着增大施加真空至真空（P2）的侧
相对于压力（P1）的一侧。
1
2
MPX2100ASX/GSX
CASE 344F
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
注：1脚是注意到在缺口
领先。
第9版
摩托罗拉传感器设备数据
©
摩托罗拉公司，2002年
欲了解更多有关该产品，
转到： www.freescale.com
1
FREESCALE [ FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC ]
