MS7201-A2
压力传感器芯片( 0-1 BAR )
适用于恶劣环境
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0〜100千帕范围( 1条或14.5 PSI )
未补偿的绝对压力传感器芯
压阻式硅微机械传感器
密封传感器,温度可达150 °
C
一侧垫
符合RoHS标准&无铅
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描述
该MS7201 -A2是在恶劣环境下的绝对硅微机械压力传感器,具有片上
一侧。一种真空基准腔是通过阳极接合密封的感应硅膜的顶
一个玻璃盖。的压力,施加在背面上,由压电电阻器植入转换中的电信号
在硅膜中。提高传感器的稳定性,一个钻玻璃粘结在背面。作为
压力端口由玻璃和硅制成,既稳定,在大多数的化学物质,该MS7201 -A2适合于
媒体电阻的应用。
特点
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媒体电阻式压力传感器芯片
典型输出跨度仅为110mV @ 5 V
温度范围-40 °
…+150°
C
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线性度0.15 % (典型值)
芯片尺寸1.35× 1.79毫米
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低成本,高可靠性&稳定性
应用
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恶劣环境
绝对压力传感器系统
电气连接
针
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4
5
符号
EPI / I二极管( - )
VS + / I二极管( + )
OUT +
GND
OUT-
描述
EPI的接触/二极管的阴极(N )
电源电压/二极管的阳极(p)的
正输出*
地
负输出*
*正输出施加压力背面
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欧盟RoHS指令2002/95 / EC (使用某些有害物质的电器和电子设备中限制)
禁止使用铅,汞,镉,六价铬,多溴联苯(PBB )和多溴联苯醚
( PBDE ) 。
DA7201-A2_002.doc
000072011240
ECN 1137
2008年9月2日
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