MS767
压力传感器芯片( 0-7 BAR )
•
0 〜700千帕范围( 7条或102 PSI )
•
绝对压力传感器
•
符合RoHS标准&无铅
1
描述
在MS767的传感器元件包括一个硅微机械膜与硼硅玻璃的装
在真空条件下。植入电阻利用压阻效应。该MS767可作为
绝对传感器( MS767A ),其中所述膜下方的密闭真空腔被用作参考
压力。
特点
•
•
•
未补偿的压力传感器芯片
输出量程392mV @ 5V
温度范围-40 °
…+125°
C
•
•
•
线性度0.15 % (典型值)
芯片尺寸1.72× 1.58毫米
低成本,高可靠性
应用
•
•
•
对于绝对压力传感器系统
胎压的测量
电子秤
电气连接
正输出压力施加上部
VS +
EPI
VS + :惠斯登电桥的供电电压
外延:外延层的连接(膜)
OUT +
OUT-
输出:输出负
OUT + :正输出
GND1 :接地
GND2 :接地
GND1
GND2
欧盟RoHS指令2002/95 / EC (使用某些有害物质的电器和电子设备中限制)禁令
使用铅,汞,镉,六价铬,多溴联苯(PBB )和多溴联苯醚( PBDE ) 。
1
00000767356
ECN 797
DA767_007.doc
2005年8月30日
1/4