电气特性
（参考条件：电源电压VS + = 5 VDC ;环境温度Ta = 25 ° ）
C
参数
工作压力范围
工作温度范围
电桥电阻
满量程（ FS ）
零压力偏置
线性
电阻的温度COE FFI cient
跨度
OFFSET
压力滞后
重复性
温度迟滞
笔记
1)
2)
3)
4)
民
0
-40
3.0
120
-40
典型值
最大
0.5
125
单位
BAR
°
C
KΩ
mV
mV
％ FS
PPM / °
C
PPM / °
C
µV/°
C
％ FS
％ FS
％ FS
笔记
3.4
150
0
± 0.05
3.8
180
40
± 0.2
+ 3300
- 2300
+ 80
± 0.15
± 0.15
0.3
1
2
3, 1
+ 2400
- 1500
- 80
+ 2800
- 1900
± 0.05
± 0.05
4
5
6
参考电阻R5和R6具有相同规格的桥电阻。
偏差在从最小平方最佳线套在压力范围（ 0〜0.5巴）的一半满刻度压力。
从25 °到60°斜坡的终点的直线的
C
C.
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃
C.
5 ）经过10次循环的压力同4 ）
6 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °
C
C.
采摘工具
该MS79005传感器具有0.74 X 0.74毫米一个敏感膜的尺寸和外部尺寸
1.78 X 1.78毫米（ MS79005 - A_0.2 ， MS79005 - A_0.5和MS79005 - D）和1.81 X 1.81毫米（ MS79005 -S） 。该
拾取和放置工具必须是柔软的材料，如橡胶（硬度78-97肖氏A ） 。其外部尺寸必须
适合的传感器和真空腔必须是一样大的膜本身。成功的测试已经进行了
具体SPT工具，见SPT图纸及以下引用。
确保顶销不要触摸膜规版本。
SPT引用
外形尺寸
内部尺寸
RTR-A1-060x060
TL & TW ： 0.06 /1.52英寸毫米
∅H:
0.035英寸/ 0.89毫米
DA79005_000.doc
000790051447
ECN 1186
2009年5月7日
4/5
INTERSEMA [ INTERSEMA SENSORIC SA ]
