MS7970
压力传感器芯片（ 0-70 BAR ）
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0到7000千帕范围内（ 70条或1015 PSI ）
绝对/差压传感器
高线性度，体积小
符合RoHS标准&无铅
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描述
在MS7970的传感器元件包括一个硅微机械膜。植入式电阻使
使用压阻效应来感测膜偏转并以电信号转换它。这
传感器，它具有优异的线性度和量程值，在不同的配置可供选择。绝对
压力传感器采用膜下的一个密闭的真空参考腔。在高硼硅玻璃晶片
使用这种密封具有的厚度为0.2毫米（ MS7970 - A_0.2 ）或0.5毫米（ MS7970 - A_0.5 ） 。有两种
可用压力表版本：一个带有钻的Pyrex玻璃（ MS7970 - D）和无硼硅玻璃中的其它
(MS7970-S).
特点
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未补偿的压力传感器芯片
输出量程310mV @ 5V
温度范围-40 °
…+125°
C
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线性度0.25 ％ （典型值）
非常小的芯片尺寸1.72× 1.58毫米（ MS7970 -A ）
低成本，高可靠性
应用
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绝对压力传感器系统
差分/表压传感器系统
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发动机控制
潜水电脑
电气连接
正输出压力施加上部
VS +
EPI
VS + ：惠斯登电桥的供电电压
外延：外延层的连接（膜）
OUT +
OUT-
输出：输出负
OUT + ：正输出
GND1 ：接地
GND2 ：接地
GND1
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GND2
欧盟RoHS指令2002/95 / EC （使用某些有害物质的电器和电子设备中限制）
禁止使用铅，汞，镉，六价铬，多溴联苯（PBB ）和多溴联苯醚
（ PBDE ） 。
DA7970_000.doc
000079701592
ECN 1205
2009年5月11日
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INTERSEMA [ INTERSEMA SENSORIC SA ]
