MTX1-50G 参数 Datasheet PDF下载

型号：	MTX1-50G
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内容描述：	单轴ACCE lerometer - 50克 [Single Axis Acce lerometer - 50 g]
分类和应用：
文件页数/大小：	4 页 / 1266 K
品牌：	JLWORLD [ JL WORLD COMPANY LIMITED. ]

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060472-A2

MTX1-50G

单轴加速度计 - 50克

单轴加速度计硅模具

该MTX1-50G系列电容

硅

加速度传感器的制造类

10无尘室使用最先进的技术

CMOS和

体微机械加工能力。

他们是

在六个小幅晶圆制造，利用DRIE

技术和专利工艺。

所施加的作用力或

加速度（包括重力）

导致电容的变化在差

电容器，它被转换成一个脉冲密度

调制由一个集成的专用集成电路。

传感

元件的差分电容器制造中

单晶硅具有

高纵横比

从而

在提供优异的性能

灵敏度和线性度。

传感元件被封闭在一个密封

晶圆级

包装采用晶圆晶片键合。

这使得它能够在不同类型的组装

包装包括低成本超模压

塑料

包。

模具被完全探测和检查，并且可以是

运华夫包。

特点

•

卓越的准确度50克范围

良好的低温性能

低成本的设计

电容的，高性能

100 ％出厂测试

大批量制造

专利工艺

本场主要的应用

加速度测量

振动测量

倾角测量

文件编号： DS-发展局局长- MTX1-50G版本A

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