MTX2-02G 参数 Datasheet PDF下载

型号：	MTX2-02G
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内容描述：	双轴加速度计 [Dual Axis Accelerometer]
分类和应用：
文件页数/大小：	4 页 / 670 K
品牌：	JLWORLD [ JL WORLD COMPANY LIMITED. ]

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060220-A3

MTX2-02G

双轴加速度计 - 低g

双轴硅

加速度计模

该MTX2-02G系列电容式硅

加速度传感器的制造类

艺术CMOS的10级无尘室使用状态，

体微机械加工能力。他们是

在六个小幅晶圆制造，利用DRIE

技术和专利工艺。

所施加的力或加速度（包括重力）

导致电容的变化在差

电容器，它被转换成一个脉冲密度

调制由一个集成的专用集成电路。在XY

感测元件是一种差动电容器

制作在单晶硅具有高

宽高比从而提供优异的

表现在灵敏度和线性度。

传感元件被封闭在一个密封

使用晶片到晶片键合晶片级封装。

这使得它能够在不同类型的组装

包装包括低成本的超模压塑料

包。

模具被完全探测和检查，并且可以是

运华夫包。

特点

−

出色的精度超过2G范围

良好的低温性能

低成本的设计

电容的，高性能

100 ％出厂测试

大批量制造

专利工艺

本场主要的应用

−

加速度测量

振动测量

倾角测量

初步

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