MLX90609
角速度传感器(标准版)
5.详细说明
5.1工作原理
该MLX90609为Z轴速度传感器,也被称为偏航率传感器。它产生一个模拟
绕轴线的正向输出电压为顺时针方向(CW)旋转垂直于包
顶部,也就是,进行观察时向下在包盖,以及一个数字SPI信号正比顺时针
到的角速率。
图5-1 。角速率(正面为顺时针旋转),以电压输出
该传感器是MEMS陀螺仪,以科里奥利力敏感。要创建一个科里奥利力
运动必须被诱导。陀螺仪有一个动作摆动的机械结构(主
模式)。科里奥利力产生的第二振荡运动时,陀螺仪的旋转
(次级模式) 。由于科氏力通常是极其微弱的初级模式,被驱动到
谐振保持机械噪声电平低的对所使用的信号的带宽,并有一
良好的灵敏度。电容变化在二级模式下检测并转换成
输出电压由电子接口电路。
电子接口必须将改变在传感器电容
∆C
成在一个变化
换能器输出电压VOUT根据下面的传递方程:
V
OUT
=
BIAS
+
收益
∗
AngularRat ê
偏置和增益是可调的整个温度范围内,以补偿传感器的温度系数和
读出。调整后的偏置和增益值,并在设定的工作模式切换后
该传感器的输出电压与角速率必须保持如图所示的校准过程
图5-1在规定的温度范围。
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修订版008
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数据表
February/08