AWM3000系列
质量流量传感器，气体
性能特点
电流输出版本（V
S
= 10 ± 0.01 V，T
A
= 25°C)
特征
零点偏移
重复性和滞后（组合）
非线性
温度影响
5
OFFSET
跨度
-25〜 85°C
6
-25到25℃
25〜85 ℃下
AWM3200CR
AWM3201CR
AWM3200CR
AWM3201CR
响应时间
7
外部输出负载
8
AWM3200CR
AWM3201CR
分钟。
3.7
3.6
典型值。
4.0
4.0
5
马克斯。
4.3
4.4
±0.5
±2.0
24
5
32
5
-31
5
-32
5
60
单位
mA
％读数
mA
％读数
ms
欧姆
100至300
气体校正因子
9
气体类型
氦（He ）
氢（H
2
)
氩气（Ar ）
氮（N
2
)
氧（O
2
)
艾ř
一氧化氮（ NO）的
一氧化碳（CO）的
甲烷（CH
4
)
氨（NH
3
)
一氧化二氮（N
2
O)
二氧化氮（NO
2
)
二氧化碳（CO
2
)
校正因子（大约）
0.5
10
0.7
10,11
0.95
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.1
1.1
1.35
1.35
1.35
注意事项：
3
5微米过滤器被推荐用于所有设备。
4
流变化的最大允许速度，以防止损坏。
5
温度变化在差压装置大多是由于气体的温度过高的密度变化。
6
移相至25℃ 。
7
最初的热身时间，信号调理电路是最长1分钟。
8
从V输出负载连接
OUT
至GND （电流阱） 。
9
气体校正因子是参照氮（N
2
）为标定气体类型。提供校正因子近似气
作为唯一的指导方针。单独的气体种类可在极端温度下和不同的流量进行不同的。
10
当感测氢（H
2
）或氦（He） ，可能有必要使用增大的电源电压的质量流量传感器提供动力：
氢的典型。 12 V ，氦典型。 15 V
11
氢（H
2
）流量测量需要使用特殊的传感器。这些器件检测时提供正常运行
氢气流，并在订单号的末尾标有"H" 。
June 582分之2006
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