ISMI公布保护半导体工艺设备内知识产权的新准则

ISMI（International Sematech Manufacturing Initiative）日前公布了一套保护半导体工艺设备内知识产权（ IP ）的新准则。

该准则的目的是为了在设备软件内嵌入IP保护，为财团和其他合作研发环境所使用的五金|工具创造一个安全的框架。

该准则保护设备工艺方法、运行率和设备诊断信息，以及所需的关键的软件安全技术，例如基于任务的安全；针对特定对象和工具的受限范围；覆盖芯片制造商和设备供应商各种协作的多种案例。

不过这里有一个问题，就是如何把两者之间取得平衡分享数据业务，并保护知识产权投资， ISMI主任Scott Kramer表示。

具体规定包括：

保密协议详细规定如何在协作过程中使用技术和工艺数据。

系统结构对接入、认证、用户凭证和信息罢免权有足够的控制。

识别芯片制造商的工艺相关的IP，以及设备制造商的设备IP 。

在每个工具达到其使用寿命后，清除所有IP。