国产半导体设备：太阳能市场占半壁江山

在半导体设备领域，几乎是国外大公司的天下，而随着

国外二手设备在中国的“触礁”以及太阳能电池产业的迅速兴起，给

国内半导体设备厂商带来了机会。

国产设备应从中低端突破

在高端设备领域，国内厂商在技术上无法与国外厂商同台竞技，

而且随着关税的逐步降低，以往的价格优势也在逐步缩小。但在技术

差距不大的中低端市场，通过市场细分，大部分国内生产商拥有稳定

的客户群，而且市场优势也相对明显。中国电子科技集团公司第四十

五研究所市场部主任胡保平对国产半导体设备所具有的优势进行了诠

释，他说，价格方面，在同等的技术水平下，国产设备价格通常不到

进口设备的1/2，高性价比及高资金回报率吸引了国内大部分采购商；

在地域上，接近市场，既有利于售前技术交流及与工艺单位的密切配

合，为用户量身定做产品，也有利于售后的维修服务和长远的零部件

供应；在服务上，市场的磨砺使国内生产商逐渐成熟，从市场导向到

用户导向，从“价格赢人”到“服务留人”，本土企业服务观念的转

变极大提升了国内用户对使用国产设备的信心。

事实上，国产半导体设备从中低端突破已经在业内达成共识。北

京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记

者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀

和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化

学腐蚀设备、硅片清洗设备。从一定意义上说，后者更有率先实现突

破的条件，因为多年来我们沉淀了雄厚的技术，又有广泛的客户基础。

其本身的技术难度也相对于曝光、刻蚀和离子注入等关键设备要稍微

小一些，又是IC线上所用的数量巨大的设备类型。他强调说，国家及

企业在这几个产品领域应加强力量投入，这几种设备的大规模产业化

所需要的资源应该要比其他几项要少得多，实现突破的前景更美好。

中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长王俊朝表示，IC产

业的中低端设备、太阳能电池制造设备、LED及LCD部分前工序关键设

备和后工序设备等国产设备已有良好基础的领域依然是国产设备应选

择的市场突破点。离子注入机、刻蚀机、光刻机、MOCVD等关键设

备应是国产设备选择的技术突破点。

太阳能电池设备占半壁江山

由于国外太阳能电池需求的猛增，使国内太阳能电池产业也呈跳

跃式发展，因此极大地促进了以太阳能电池片为主的半导体设备的增

长，使其成为今年半导体设备的主要组成部分。据中国半导体设备工

业协会统计，今年上半年太阳能电池设备的销售额已经达到3亿元，

已经占到半导体设备销售额的一半以上。

中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠表示，由于国产半导体

设备很难进入大的集成电路生产线，因此，企业为了生存，只能寻找

有市场前景的产品。太阳能电池设备价格比较低，国外厂商不好介入，

而且其技术难度要比IC设备小得多，加之国内市场的驱动，因此，目

前太阳能电池设备有广阔的市场前景，七星华创、中电科技集团第48

所等国内知名半导体设备生产单位都已在这个领域取得不俗业绩。

王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合

作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能

电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀

机、PSG祛除机、低温烘干炉、烧结炉、丝网制刷机等相继在国内大

生产线上替代了进口设备，并取得广泛应用。特别是2003年七星华创

以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造

用最关键设备之一———热壁式生产型PECVD设备，使我国设备业

已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。

尽管如此，我们也要看到，国外半导体设备巨头，如应用材料公

司，也在觊觎这个市场，目前他们正在和国内的厂商谈合作，而一旦

他们介入这个领域，定会给国内厂商造成很大冲击。因此，国内厂商

应抓紧手中资源，利用自己的价格、地缘及服务优势，在太阳能电池

设备领域立稳脚跟。

二手半导体设备遇难题

针对前一时期炒得火热的二手半导体设备，业内士人纷纷表示，

二手设备只是一个过客，最终要落实到发展国产半导体设备业上来。

金存忠对记者说，目前二手设备遇到很多问题，主要是资金和技术问

题。二手设备的升级及配件供应、售后服务跟不上，制约了二手设备

业的发展，而且，二手设备主要集中在8英寸生产线，国际知名公司

12英寸生产线的逐渐增多，将进一步限制二手设备的发展。

盛金龙表示，二手设备是IC发展的时代产物，那是一个必然，在

短时间内解决了生产线设备短缺问题，但不是长久之计。从另一个侧

面说明，我国的半导体设备工业太落后了，FAB太需要支持了。所以

只有国产设备的进步速度超过了国际FAB淘汰旧线的速度，二手线就

没有用武之地了。FAB并不是愿意使用二手设备，而是因为新线投资

过大不堪重负不得已而为之，从根本上说还是国产设备没有跟上带来

的。

胡保平告诉记者，实事求是讲，上世纪90年代以前，我国半导体

设备水平与国外差距较大，甚至达不到国外二手设备的水平，这使得

我国半导体生产企业大量进口二手设备，但是近几年来，国产半导体

设备整体水平有了明显提高，有些设备已达到或超过国外新设备水平，

有许多半导体企业(特别是民营企业)已经大量采购国产半导体设备并

已尝到了甜头。另外，近些年来国外的二手设备市场越来越混乱，有

许多用户已经饱尝了二手洋垃圾的苦头。因此，国家应该出台一些政

策限制二手设备的进口，扶植国产半导体设备的成长与发展。

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我国太阳能电池设备技术水平

首先，在湿法腐蚀和清洗设备方面，主要是自动制绒面设备、自

动清洗设备、自动PSG祛除设备，国内已经能够制造，且已经达到世

界先进水平。

其次，扩散炉已和国际中等水平相当，且性价比优势十分明显。

第三，刻蚀机距国际先进水平差距较大，但性价比优势明显。

第四，国产PECVD的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种

设备的优势。但它的自动化程度不如进口设备，而该设备推广的瓶颈

主要是产量与进口平板连续式设备差距很大。

第五，国产丝网印刷机、烘干/烧结炉的基本功能具备，但与进

口产品的差距也是在自动装卸片(机械手)和自动检测手段上。

第六，自动检测分档设备目前国内还在开发研制中。