台积电3nmFab厂环评遇挫 解决用电问题成关键

昨日，台湾对台南科学园区的扩厂案进行环评大会，其中涉及到了台积电的3纳米厂6000亿元新台币的投资计划。在8月15日的第一次审查中，由于台积电承诺未来用电20%将用绿电，每日使用再生水7.3万吨，专案小组一次审查就过关并决定今天环评大会将议决通过。

但南部环保组织对此颇有疑虑，认为台积电各厂所用电力都来自高雄兴达电厂，应先淘汰燃煤机组，改为燃气才能减少空气污染。专案小组只审查一次就通过太草率，有放水之嫌，所以应该重审。

今日的环评大会要求开发单位在三个月内，补充和修正节能20%的具体措施和再生能源的完善日程及管控方式等，下次环评大会中再进行内部讨论。

本次的环评主要聚焦在台南科学园区的扩厂后所增加的用水和用电问题，环委指出，因应台积3nm设厂需要，南科台南基地，每日用水量将由25万吨增至32.5万吨，温室气体排放量一年增加427万吨，用电量则由222万瓦增至299.5万瓦；这意味着整个兴达港的发电都要供给台积电，要求台积电必须说明未来电力的问题如何解决。

台积电回应称，预计2023年后陆续会有更多燃气机组上来，可以满足所有用电需求；台南市政府则表示，近年台南市在太阳能发电发展较多，最近几年应该可以达到极大化，建议台电未来可以将太阳能发电优先调配。

最后环评大会决定，要求开发单位在2019年2月28日前补充意见、修正后，再提交环评大会进行内部讨论。

3nm将在2022年量产

台积电作为世界级的处理器代工厂商，在近几年的CPU工艺方面颇为激进，其10nm工艺正大规模量产中，并正加速推进7nm以及5nm的研发力度。不过除了这些，更为高端的3nm制程工艺也已经曝光，据了解，台积电计划中的全球第一座3纳米厂将耗资6000亿元新台币，并在2020年动工，2022年开始量产。

目前台积电的工厂一直以台湾为大本营，其中10nm位于中科厂Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量产；5nm则位于南科厂Fab 14九期，2019年下半年量产。而3nm台积电则考虑赴美投资建厂，投资额高达5000亿台币，主要原因是南科方面从提出投资方案到通过环评审核，至少需要5年时间，而且空气质量、电力供应都不够达标。

3nm技术可以说已经接近半导体工艺的物理极限，而其目前也处于实验室阶段，台积电透露其正与设备厂商、材料供应商共同研究技术途径。