Oki公司近日推出全球最薄超小型三轴加速计模块ML8950，集成传感器芯片和控制IC，具有全球最薄封装形式。除具有检测三轴（X，Y和Z）加速度（±3g）功能外，三轴加速计模块不仅可以检测出倾斜和冲击震荡，还可测量出倾斜度和振动度。适用于移动电话、移动设备、HDD和娱乐设备等应用。Oki公司将于2004年10月在日本和北美推出ML8950样品，于2005年4月投入大批量生产。 三轴加速计模块ML8950可检测出三轴加速度、倾斜和振动，并以数字格式输出信号。采用微型电机（micromachined）技术和绝缘体上外延硅（SOI）晶片，Oki公司成功开发出结合高震荡残存性、1.4mm薄膜和小规格传感器芯片的模块，可满足装配于移动设备的所有要求。 控制IC芯片装配在信号放大电路、控制电路、模数转换器和温度补偿电路上。此外，它还是首例具有数字接口的三轴加速计模块。由于它可直接连接到CPU，所以无需使用设备上的模数信号转换器，便可内嵌于数字设备中。

     ML8950是Oki公司向MEMS市场推出的首例产品，计划到2007年3月财政年度为止其销售目标达到100亿日元。 （转自 21IC）