MKS Instruments公司日前推出专用于以太网通信器件实时诊断的600C eBaratron电容压力计。

　　这款全数字化的压力计整合了该公司的Baratron电容技术，可实现精密半导体及其它先进制造过程中高精度、高可靠和稳定的压力测量。配合以太网通信该产品可对制造过程进行实时诊断，使用户快速、方便地进行系统分析和故障维护。

　　600C eBaratron电容压力计既可用于数字化网络，也能作为任何实际过程或应用中单独的真空监视器使用。该产品具有一个嵌入式Internet Web浏览器，可通过PC机(Windows操作系统)提供通信。此外基于一个快速数据记录器(100ms)，600C eBaratron可进行快速细致的自诊断，同时还能简化其它系统元件的故障诊断与维护。

　　该产品的工作温度可达45℃或100℃，能用于半导体、显示及生物制药等制造过程应用，测试精度超过0.10%。600C eBaratron采用了MKS专利的粒子沟道(particle sump)技术以防止测试过程中产品在测试前端的冷凝，从而可抑止漂移，同时其标准的全金属化、全焊接压力传感器在气体环境中具有极强的抗蚀能力。