德国的市场调研公司Wicht Technologie Consulting GmbH(WTC)表示，2004年RF MEMS市场为1.25亿美元，预计2009年将增长到11亿美元。WTC表示，RF MEMS市场复合年增率达55%，按此速度，该市场2005年将接近2亿美元，2006年达3亿美元，2007年和2008年将分别达到4.5亿和7.25亿美元。目前，安捷伦科技和英飞凌的声波双工器和滤波器在该市场中占有很大的比例。现在推动该市场增长的主要动力是移动电话技术，但消费和IT应用将在2007年及未来成为其重要应用领域。WTC的资深分析师Jeremie Bouchaud表示：“RF MEMS有望成为主要的MEMS产品领域之一。”