AWM5000 系列大流量 / 放大气流质量传感器：AWM5000 系列为文丘里流量管形外壳，可以测量最高至20 升/分钟，最大压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。坚固，通用的封装形式：坚固，塑料的封装能承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在最小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。内置的信号处理电路：每个AWM5000系列产品都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。 AWM5000系列气流质量传感器特点： ● 各种流量接口可选 ● 文丘里管设计 ● 远程安装 ● 激光校整CO2，N2 氩气的标定 AWM5103VN气流质量传感器技术规格： ● 流量范围：0- 15 SLPM ● 温度范围：-20~+70˚C ● 冲击指标：100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向） ● 输出@ 较整点：5VDC@ 满量程流量 ● 压差@满量程：参照压力& 气流表 ● 满量程输出漂移：后缀VA 或VN ± 7.0% 读数，VC ± 10.0% 读数 ● 线性误差：±3.0% 读数 ● 迟滞& 重复性：±0.5% 读数 ● 泄漏 max：0.1psi/min,在静态中