传感器和致动器是MEMS的重要组成部分

历经十几年前的发展，MEMS逐渐衍变成消费类市场的重要推手，可谓是在手持式产品里风生水起，尤其在手机应用上更是如鱼得水。

尽管近几年MEMS增速放缓BQ3285LFSS-A1TR，但是依托曾经在市场中发展的基数，地位依然很稳。所以，当物联网、智能工业、智能农业迅速兴起之时，MEMS的春天再次来临，新的时代、新领域、新的变革，让MEMS充满无限机遇与挑战。

物联网推动MEMS的改革

传感器和致动器（驱动器）是MEMS的重要组成部分，作为老牌的半导体厂商ST（意法半导体）拥有并兼具他们。意法半导体大中华暨南亚区模拟和MEMS产品部市场总监吴卫东，接受赛迪网采访时表示：“ST作为一个IDM的半导体公司，拥有完整的研发生产，技术支撑也能够既做sensor又做Actuator，虽然这两项原理是正反的关系，但在真正的设计和工艺上，是可以复用的。”

吴卫东强调：“ST有大规模制造能力，之所以传感器可以成功，因为进入了消费类市场，进入了消费类市场就意味着每天需要支持市场上千万片的产能，而ST就有这个大规模生产的能力。” 在任何市场领域，随着产品的普及，市场的要求就会越来越高，其中一个就是系统集成度更高。就比如手机，几年前传感器在PCB板上的面积超过10平方毫米，但现在它可能只有以前的一半甚至更小且达到同样的功能，而要达到这一目的就要做集成化。

从源头来讲，传感器只是一个sensor，但慢慢地把sensor做得更加智能化。通俗来说，现在大家都会用微信，微信里有计步功能，而传感器通过智能化设计，可以直接告诉系统你走了多少步，而无需在处理器中进行运算，这样的好处是：功耗更低，性能更好。 目前，关于物联网、工业、农业，ST涉及的行业伙伴的专项并不是系统集成和电子等方面，而是传统领域。而ST有很多合作伙伴开发 Design House，还有系统集成商，这样就可以把整个行业都穿插在一起。基于此，ST带给市场的是产品、方案和整体的解决。 吴卫东认为：“Actuator目前在MEMS领域还是第二次爆发的前沿，第一次爆发是Actuator应用在喷墨打印，把墨喷出来就是靠Actuator做的。而随着技术的革新，这一市场慢慢地不再持续地增长。Actuator的主要原理是用电、磁的方式推动微小物体。”

MEMS在未来几年，将如何随着物联网、智能工业、智能农业进行变革？是ST一直在思考并持续进行摸索尝试，而压电致动器（主要用于摄像头领域）、超声波测距（主要用于自动驾驶、工业领域）、微型投影仪（主要用于手机等移动设备领域）将是ST发展重点，ST将向合作伙伴提供晶圆制程和系统解决方案的配合。