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VT-DFPE-A-22/G24K0/0A1E/V-014

日期:2019-3-7类别:会员资讯 阅读:370 (来源:互联网)
公司:
漳州鼎晟达自动化设备有限公司
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叶雨梦
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漳州市绥安镇金浦路中段东侧金浦花园1幢302
摘要:Rexroth, VT-DFPE-A-22/G24K0/0A1E/V-014, R901029624, Hydraulic Proportional Servo

由于轴带发电装置具有降低燃油消耗、减轻机舱噪音、节省滑油消耗、提高主机功率利用率等优点,各船舶柴油机生产厂家和航运公司都把研制最新的轴带发电装置作为自己提高效率的重要措施。以西门子公司的FRECON轴带发电装置为例,就有关当今船用轴带发电机的最新科研成果――滑环感应式轴带发电装置作一下分析。
  滑环感应式轴带发电装置的特点,具有一般轴带发电装置的优点。自身的特点(1)去除了同步补偿器,避免了同步补偿器对整个系统的效率和经济性的影响。(2)去除了固定变频器,使滑环感应式轴带发电装置真正实现了完善低损耗的概念。
  理工大学所提出的理论相一致,一套三相的交流感应机械被选用于该轴带发电装置。该套交流感应机械设备已在不同标准下的风力发电系统的检验中得到可行性验证。
  这项研发工作的结果是产生了一套新的轴带发电机系统,该系统的运转方式只是一个变速齿轮装置电气模式。它的主要优势在于它的最后控制单元均是由静态元件组成的,尽管如此,它的效率却与原来的相同,甚至在一定的运转范围内还更好一些。下面就对该轴带发电装置做一个介绍:主要说明传统的轴带发电机系统(a)与新型的滑环感应式轴带发电系统(b)的比较。装置需要一个更小的空气间隙和一个叠片式鼓形转子来实现与轴的配合。
  滑环感应式轴带发电装置的含义与运转方式可以看山,发电机作为带有励磁调节器的变流器的自激机械来运转的,转子绕组的功能相当于励磁绕组和作为电枢绕组的定子绕组的作用。
  变频器是通过一个直流电压源的连接装置工作的,它的电压将稳定在一个定极恒定值上。在母线侧上有一个带有两个平行反向的连接配合标准品闸管的变流器,该母线侧变流器用以调整直流电连接电压,直流连接装置配有平波电容器以稳定电压。
  在机器侧,变流器带有脉宽调制逆变器,该逆变器从恒定直流电连接电压,产生要求的转子电压和频率,形成发电机的最终控制环节。
  定子的频率近似于电网系统的频率,而电网频率的设定值是由标定频率所决定的。旋转频率是根据主机的转速而变化的且不受外界影响。因此变频器必须根据以下的方程式调整转子的频率:f感应式轴带发电机至少得具有以下两种功能:(1)没有磨损的齿轮;(2)具有发电机的相应性能。
  在实验室环境中,感应式轴带发电机的运转速度范围设定在螺旋桨转速标定值的70%~100%之间。为了使变频器的标定功率减少至最小值,感应机构的同步点一般设定在中心范围内即螺旋桨标定转因此,齿轮的传送比务必被适当地设置,以便于发电机的同步转速在螺旋桨额定转速的85%下的实现。当系统频率为60Hz且存在6极电机,则该转在同步点,通过机器转子的电流为直流电。这样才能以真正的同步机械运转。当转差率为正值时,即转子的速度低于同步速度的话,有功功率必须确保到达转子的接线端头。作为自激发电机,它不仅从定子端为系统提供动力,而且也应产生有效的转差功率。当转差率是负值时,即意味着转子的速度比同步速度要大,转差功率来自于转子接线端头处。因此,装置定子端的电流就会由于转差功率而减少。转差功率与转差率及通过气隙传递来的发电机的功率是成比例的。由于变频器是在两个方向传输动力的,它的母线侧变流器装有两个反向平行的晶闸管电桥。这两个晶闸管电桥是由环流来进行控制运转的。
 那么,在传输过程中由次同步到超同步的变化是通过直流电连接装置的电压控制来实现的。反之,由超同步到次同步的变化也是由直流连接装置的电压控制来实现的。
  随着转差率和输入系统中的恒定输出功率的减少,发电机和变频器的负荷将会因为转差功率的降低而降低的。基于这个原因,输出功力将会增大到曲线的限定值,而发电机恰恰决定了这个值的大小 在同步中,由于变流器为保持系统的稳定而向系统供给功率,变流器的负载也到达最小值。同时,它会因为负转差率的增加而重新增大。另一方面,在此情况下的发电机的功率将会进一步地降低。因此,在超同步范围内,限制功率曲线是由变频器决定。
  而且最高工作点的最大限制功率几乎是最低工作点限制功率的145%.
  滑环感应式轴带发电装置的运转与控制模式,可编程序控制SIMATICS5115U可编程序控制器执行处理所有的控制结果、互锁以及所有设备和装置的监控。
  它也具有保护与报警功能,同时也具有传统的报警系统,可以识别和监控设备内部出现的功能失常现象,包括最重要的数值信号和报警。
 另外,它也储存有重要的当前运转状态参数,而这些参数用于识别系统是否出现了故障。程序控制器一般安装在变流器控制面板的前部。由中央处理器提供的界面可以连接打印机以记录运转的状态与报警情况。
 作为一种选择,诊断模块也可以被包括进去。该诊断模块是由控制器控制的,可以进行模拟运行实验和在整个装置关断后功能测试。电子模块被设计成易于滑动的式样,便于安装与抽取,这种模块位于控制面板的框架里,并通过连接器连接起来。
  运转SIMATIC控制器与操作人员之间的交流是靠带有键盘和LCD显示器的操作器单元联系的,该操作器被安装固定在变流器控制面板的门上的。
  通过操作单元的相关键得到相关的运转与警报数字,并由显示面板读出。操作单元也可以程序设定确保测量数据,比如电流、电压和速度等根据数值、信号及单元等被显示出来。
  操作单元也允许相应的诸如时间、限定值、测量范围和操作运转范围等参数根据控制结果次第变化。这些对于机器运转致关重要的参数通过软件程序的设定来实现互锁,以防止由操作人员引起的意外事故。
  在可编程控制器的中央处理器的又一个界面可以通过程序的连接来完成特定意图和任务。这就对执行操作命令有利,只要通过改变可编程控制器和操作单元的软件程序就可以使之完成相应的操作指令。
 发电机控制发电机控制系统是由西门子公司SIMADYN和SIMAVERT系统的具有相当高可靠性的(经过现场检验可靠的)模块组成的。主要由模拟控制放大器、计算模块、匹配模块等构成。这些模块位于装置设备的多层架框内且很易于抽取和操作,而该多层框架就是位于变流器控制面板的后部。
 发电机控制的含义是在一个带有脉宽调制逆变器的变流器的直流连接装置上的恒定电压的基础上工作,而变流器是整个控制系统的最后一个环节。它包含磁场定向系统,该系统是由SIEMENS公司研发的,用于控制电压和相位角,但不包括频率控制。
  在每种情况下,特定的转子设定频率被计算出来,并由脉宽调制逆变器的触发器作为一个实际频率记录于转子值中的。因此,转子的励磁曲线总是与系统任意波动状态下的不同的系统频率保持一致。这就意味着:滑环感应轴带发电系统分析(1)在母线上的设备拥有很好的频率稳定性,(2)系统中的机器与同步机器是按同一种方式运转的。
  然而,与同步机器相比较,发电机控制有三相转子绕组,即有两个轴。另外一点就是,脉宽调制逆变器可以使它分别设定有功转子电流和无功转子电流。
  滑环感应式轴带发电装置的工况特性,短路特性对于轴带发电机设备,国际上普遍认为,持续故障电流水平至少是系统标定工况下2s的3倍,没有另外的装置或设备的话,滑环感应式轴带发电机将不会满足要求。这一问题如果得不到解决,轴带发电机的发展将会受阻。
  这一问题被理工大学研究辅助机械和自动化的人员提出了理论上的解决方法,并由西门子AG来予以实施,即利用适当的静态变流器元件及控制模块。在这里他们也运用了验证可靠、价格适中的标准器件。
  补充装置按与Harz连接装置相同的方式稳定了电流,而且在短路的情况下确保自激电机得到要求的短路特性。它们也为脉宽调制逆变器和变流器的直流连接装置提供了保护功能。
  谐波特性由于滑环感应式轴带发电机变频器的运转方式,它可以产生谐波。电抗器和谐波滤器已被标定以防止误差的范围超过额定运转范围的10%.表中所给的数值均可在计算机的模拟运行中获得。在实验中所获得的数据也与模拟运行的结果恰好吻合。
  运转特性带有有功负荷与无功负荷前向控制的磁场定向系统为滑环感应式轴带发电装置提供了优良的动态特性。因此,由于在负载波动上的电压稳定性,轴带发电机装置的运行工况与带有一个励磁循环的西门子船用发电机一样。
  该装置在实验室测试运转环境中,在恒定的负之间循环变化。每一个循环持续的时间为4s.而发电机的电压的频率的振幅没有倾特征。
  效率至于滑环感应式轴带发电机的主要优势或是最大的发展,就在于它的高效性。如图3所示的效率曲线就是分别在最高运转速度(转差率为-17.7%)、最低运转转速(转差率为+17.7%)和同步状态点下测量和计算出来的。在最高与最低的区域范围覆盖了整个设备的运转范围。从图3中可以看到,在高于标定负荷50%以上时,它的效率是92%甚至更高。
  最高效率的点为94.5%,这是在满负荷、最高转速的状态下运转时获得的。
 在允许齿轮机构的功率损失在1.5%的范围内时,与传统的轴带发电机相比,这种感应式的轴带发电机的功率至少提高了七个百分点。
  由此可见滑环感应式轴带发电机相比较传统的轴带发电机,其优势是显而易见的,所有的使用者都会从中受益。研发与使用该系统对节约人力和财力是大有裨益的。目前,轴带发电技术虽然没有在我国的船舶上广泛使用,但是,随着能源危机及各航运公司科技技术竞争的逐渐加剧,相信会有越来越多的企业在该技术上投入更多的精力。我国船舶轴带发电技术的春天将不会遥远。

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【主营产品】
1:Invensys Foxboro(福克斯波罗):I/A Series系统,FBM(现场输入/输出模块)顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

2:Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余(TMR)结构的最现代化的容错控制器。

3:Westinghouse(西屋): OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

4:Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

5:Schneider Modicon(施耐德莫迪康):Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

6:ABB:工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

7:Siemens(西门子):Siemens MOORE, Siemens Simatic C1,Siemens数控系统等。

8:Motorola(摩托罗拉):MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9:XYCOM:I/O 、VME板和处理器等。

10:GE FANUC(GE发那科):模块、卡件、驱动器等各类备件。

11:Yaskawa(安川):伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12:Bosch Rexroth(博世力士乐):Indramat,I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13:Woodward(伍德沃德):SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。
HP E4401-60014 SERIAL-PARALLEL BOARD, PCB


AMAT 0100-00014 OPTO DETECT REV. J


TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE


3 MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE


FOUR MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE


Accuray MCC/IFCC I/F, part # 013509 REV: J PCB


TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE


PureDigital Mass Flow Controller 6256, WF6, lots of 2


BROOKS Mass Flow Controller 6256S, H2, 2SLM, 


PDL OXIDE HDSIOC 1 NOVELLUS 02-273739-00 VERSION 4.72


ISIOC PDL OXIDE 2 INTERLOCK NOVELLUS 02-269177-00, Rev1


BETTCHER PROCESS SERVICES RINSE CONTROLLER MODEL 985D


Astec Power supply MP1-3Y-2Q-4NN-00, Part # 73-690-0267


SEMI GAS SYSTEM AUTOMATIC SWITCHOVER AND CYLINDER SCALE


BROOKS Mass Flow Controller 5850, HCL3, 0-20 MLST/MIN


UESHIMA BROOKS MFC 5877 Z, BCL3, 200 SCCM


LINTEC mass flow controller LM-1100M-8, TEOS 0.1 g/min 


MICRO COMPUTER specialists, PROMDISK 66700901 REV B, 


LINTEC Liquid flow controller, TEOS, 0.1g/min 


PRI BM06241 COMP SIDE REV F PB02807 BOARD


AMAT AFC 550, H2, 30 SLPM 


UltraGlo vacuum general UV2-11 & UC2-31S01, N2


VARIAN PPM 992622, 87-195861, PCB, 40MHZ, DM992622-00


MICRO MEMORY INC MM-B500C 16K, 8201-0263-A, 91251 PCB


INTEL PBA 148492-005, 8200-0273B, NANOMETRICS 12670 PCB


NANOMETRICS INC I/O ASSY 820-0142, REV C, SVC 194V


NANOMETRICS INC I/O ASSY 820-0142 PC BOARD , SVC 194V


MISSING PULSE VME ELAS 016763 FB-B94V-0 PCB


hauppauge computer works 5403 REV A3, 94V-0 PCB


MVME 2301-900 MOTOROLA 01-W3345F, PCB


PORTER Liquid flow controller P2000-C010, 10.0 ML/MIN


PORTER Liquid flow controller, P2000IBC010&P2000I-C020


AMAT 0140-20369 Harness Assy System AC, 


AMAT 0150-20206 Harness Assy System, 


STEC MFC SEC-4400MC, N2, 100 SCCM, .


Nupro valve SS-4MX , lot's of 2 


Greene Tweed Chemraz 9275-SSE38, LAM 734-007524-275 


AMAT 0100-20040 Remote Supply Distribution PCB, 


Novellus 15-149327-00  part


MKS 390HA-00001, 1 Torr Head, look very clean


MKS 127A, Baratron 1 Torr Head, Looks Clean


MKS 141AA, Baratron 1 Torr Head, Looks Clean


10  Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709


10  Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709


10  Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709


9  GreeneTweed Chemraz, 9904-SS513, AMAT 3700-01709


MKS Baratron Pressure Switch 51A and 41A, Lot of 5


Phasetronics P1229 Driver, AMAT 0190-05682, 2 unit


2  Greene Tweed Chemraz, 9282-SS513, AMAT 3700-02352


2  Greene Tweed Chemraz, 9282-SS513, AMAT 3700-02352


10  Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709


38  Greene Tweed N017800429SS513, AMAT 3700-02353


MASS FLOW CONTROLLER MC-2100 


MASS FLOW CONTROLLER MC-4400 


MASS FLOW CONTROLLER MC-2200 


Mass Flow Meter 0258B-00500RY 


Mass Flow Meter 1258B, Argon, lots of 2 


Mass Flow Meter 1258B, N2 gas, lots of 2 


Asyst Hine Design Process Chamber Elevator 04290-201


ENI AP-400BM1 Power Amplifer/Generator AP-400


TWO Luxtron 100C M-100 Temperature Control 0190-35236


Nova NovaScan 420 Controller  210-48000-01


ISIOC RF HCM PVD-PVD RACK NOVELLUS 02-124572-00 REV. 1


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Unit MFC UFC-1460A 1 SLM N2, Looks  with Cal paper


WATLOW WCCO-K100-0000


Aera Mass Flow Controller FC-PA780c, C4F8 and H2/N2 


SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB980181


AMAT 1290-01631 36-MM-MF, SES MATERIAL


AMAT 3870-00601 Solenoid H181E1-24VDC


LAM ceramic ring 716-011830-006


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AMAT 3300-04346 fitting TBG ADPTR 3/4-16 SAE X 9/16-18


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BLUE WHITE FLOW METER 0-10 GPM 9506 


VARIAN Turbo-V 250 MACRO TORR turbo pump 969-9007S004


Previous

MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 51A13TCA2BF500


AMAT 3300-04733, water hose fitting


 NSK Precision products XY-FR-E067001 Lot's of 6


Novellus 02-103960-00 Controller Platform P166/64


ICS ADVENT OEMC-06-06 module controller


S-Span LR300 4110


AMAT 0050-10033, VRC gas line with Swagelok fitting


MDC Humphrey KIV-075-P Inline Angle Valve KF-25 NW25


Novellus 02-105005-00 ASSY,MC,P166,W/8 RS232 controller


Novellus 02-103970-00 ASSY,MOD CONT,P166/64 controller


AMAT 0020-18385 Block, Daul Gas Feed HDPCVD Ultima, 


AMAT 0100-35175 RTP Chamber Interface PCB, untested


AMAT 0150-20061 Cabel ASSY Supply Control, 


Alcatel CFN 221 Controller, 


Alcatel Annecy 25446 Controller, 


SVG 99-80207-02 SPIN STATION EXPANSION BOARD, REV A


BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Module, untested 


AMAT ANALOG I/O BOARD 0100-20100 APPLIED MATERIALS


AMAT ANALOG I/O BOARD 0100-20003 APPLIED MATERIALS 


Advanced Energy RFG 1250 RF Generator AE 3155027-000 S


AP1383 VER 2.8 PROD, 55-482-C, PC board


AMAT 0190-76005 Board OREGAN MICRO SYSTEMS, REV B


AMAT 0100-20003 AI/O ANALOG I/O BOARD, REV G


AMAT 0100-20100 AI/O ANALOG I/O ASSY BOARD, REV P4


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, Bettcher Process Services EPO MODEL 985E-R01


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Bentek DC PC BOARD, reliance, 03-188758-00, Novellus


 Bettcher Process Services Switch Panel MODEL 985V4


Bettcher Process Services Rinse Controller MODEL 985D


Bettcher Process Services Switch Panel MODEL 985V2-R01


BOC Edwards Dry Vacuum Pump QDP80, and Blower, untested


BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested 


BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested 


BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested 


BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested 


American Megatrends PCI Hyper Disk 795 RAID controller


AMAT 0100-200400 Remote supply distribution Board


AMAT 0100-20004 CHAMBER INTERCONNECT BOARD ASSY , REV H


HP DESC BOARD 05372-60006


MLR I/O PRI PB18220 REV C COMP SIDE PRI, BM18220L01/F


PSW-3 94V-0 REV D, ASSY 01914116 PC BOARD


MKS CONTROL VALVE TYPE 153D-4-100-2, THROTTLE VALVE


HAMAMATSU UV SPOT LIGHT SOURCE L5662


CYBOR PUMP CONTROL MODULE MODEL 505E, 505C2


Applied Materials AMAT 0100-35065 Serial Isolator PCB


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AMAT 5-phase Driver UDK5128NW Oriental Motor, 


EFD 900-15 Epoxy Dispensing System, look very clean


Brooks 001-7600-02 VacuTran 5 VTR5 Transfer Robot Drive


Terranova 934 wide range vacuum gauge controller 


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7001-5343-901


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Previous

E237456 HK-004 94V-0


NUCLEAR MAGNETIC RESONA 70023845


VALVE RAPID EXHAUST 1/8 NPT 3870-02678


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CYBOR CONTROL MODULE 00506-05 18 VDC 10.5 AMPS 


MKS 152E-PO Pressure controller


MKS 152E-PO Pressure controller


MKS 152F-PO Pressure controller


2  KF 40 Centering Oring NW-40-CR-SV AMAT 3700-01087


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MKS Baratron 127AA-000-1E, Range: .1 Torr


CTI ON-BOARD NETWORK TERMINAL CONNECTOR 


AMAT 0010-37163 Throttle valve assy 2 phase chamber 


Vacuum General Pressure transducer CMLA-21S06, 100 TORR


QUA TECH, PXB-721 BOARD, REV E


AMAT 0010-37163 assy, DPS Chamber throttle valve 


COMPAQ BOARD, ASSY 006047-001, REV B


 Applied Material 0010-37163 DPS Cham throttle valve


Leybold Turbotronik controller NT 340 M Turbo Pump


ATI 3D Rage Pro AGP Video Card 109-43200-10


Industrial computer source, 30045-01 BOARD, REV B


COMP SIDE PRI AUTOMATION BOARD, PB24499, REV A

 


PCI BOARD 736/266-01


HINE DESIGN BOARD ASSY 778-11


ProgramMation C1987-90 REV E, BM23995/H BOARD


Component Side BOARD P817755, REV C


LUMONICS EXTENDER BOARD 6050011 REV A


PC23475 BOARD COMP SIDE REV B


HP BOARD E4401-60014 SERIAL-PARALLEL


EPPENDORF DISPENSOR 4700, 50 uL, 75 uL, 100uL


Nor-Cal products 981206-2 


MKS RGA Spectra Microvsion or HPQ2 + Vacuum Controller


RGA MKS Spectra Microvsion or HPQ2 & Vacuum Controlrer


6 STEC MFC SEC-4400M, CL2, O2, SiF4,  


3 STEC MFC SEC-4400M BCl3 100 SCCM,  


2 STEC MFC SEC-4400MC N2, WF6,  


4 STEC MFC SEC-4400M Cl2, HBr, 


5 STEC MFC SEC-4400M C3F6, WF6, SiH4, 


7 STEC MFC SEC-4400M, O2, SiH4, Ar, BCl3, Cl2, 


6 STEC MFC SEC-4400M, NH3, CF4, CHF3, 


2 Porter Mass Flow LB-366 NVL-003FA 5.0 ML/min TEOS


UNIT Series 8560 MultiFlo 500 PSI MAX/ 3500 kPa


Aera FC-7810CU 20 SLM O2


FloCat GFM37S-TCDL2 HCl 0-50, L/min max 500psi/3400 KPa


LAM 839-011025-1 NuPro Manometer ISO


2 GaSonics A90-031-03 PCB Plasma/Lamp Failure Detection


 AMAT 0020-70223 Endura-Centura Chamber Blank Off


 AMAT 4020-01094 GLF 4000 VM4 4HS-P7442-0 


AMAT 0090-00513 Pressure Switch, Harness Assy


2 HP 10400A Miniature Passive Probes


MKS 122AA-01000BB, Baratron 1000 Torr


Keyence Sensor Fiber 7-39-79386, FU-51TZ (2000)


SVG 99-80266-01 Station CPU Lot of 2


20  EEJA CP-032 Vacuum, Pad, #2 E393-2506K


AMAT 1140-90114 PSU, 45W, Multi, O/P


 Eutegris Gatekeeper CE2500 KF14R Inert Gas Purifier


Leyblod Inficon Sky Capacitance Diaphragm Gauge


AMAT 0840-90137 LED Ultra Bright 8MM, Lot of 2


Aera MFC TC FC-980C, SiH4 1 SLM with Calabration SHEET


Aera MFC TC FC-980C, MULTI, MULTI-1


Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM


Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM


Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM


Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM


Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM


UNIT 1660 UFC-1660 He 10 SLPM with calabration sheet


Brooks Pure Digital 6256, Mod # 6256B7BA2ADLAA


Brooks Mass Flow Controller 5964, Mod # 5964


OMEGA CN371-KC2, 


Brooks MFC 6256S, Mod # 6256SBZVCLA, Gas CH3F


NUPRO 6LV-BNBW4-O with VCR connection


Flow Meter and Pressure gauge, Norgren polycarbonate 


 MRC AlCu Target from Williams Advanced Materials


MKS 109070028CE, Vacuum gauge, 


Reliance Conductor Small D-C motors


AE RFPP LF-5 RF Generator and RFPP ATL-100RA RF Match


9  Schneider Electric Circuit breaker 20A


N-48 KEYENCE TERMINATOR 0106043 lots of 3


7  AMAT 0680-02000, CB MAG Therm, 1P


BELKIN OMNI VIEW FCKG240354 QG


2 Applied Materials 0680-00323


Schneider Electric Circuit Breaker 25A lots of 7


Schneider Electric Circuit Breaker 10A lots of 13


Schneider Electric Circuit Breaker 30A lots of 7, 


SPI Shock Proof 24-344-4, step height measurement


2  Arrow Hart 6612, locking plug, AMAT 0720-01203


FACTS Engineering T1F-16AD-2


2  AMAT 1200-90079 Relay 24 VAC 10 AMP 4DPT 


2 Applied materials 0680-01738


KEPCO Power supply RAX15-20K


AMAT 0680-00034, CB, 


KEPCO Power supply RAX48-3, 6K Lots of 3


Novellus Controller I/ 0 Daulcap Firmware Version 4.8


STEC Inc MFT-20


AMAT 0100-76124 Digital I/O PCB. , untested


Mykrolis CDL1102, 0-10 TORR lots of 2


MILLIPORE CDLD-21S06, 0-100 TORR


INFICON AG, LI-9496 Balzers, CDG100A, 100 TORR 


Vacuum general pressure transducer CML-21, 100 TORR


Comdel CLF-5000 RF Generator, Novellus 27-10140-00, 


ENI Genesis GW5002MA-F1H131-A3 3000W RF Generator W/Cal


Veeco XRF-2000AT X-Ray Measurement System


Granville-Phillips 275 MINI-convectron lots of 3 


MYKROLIS intelli flow 3XP, N2 1000SCCM lots of 2 


MYKROLIS intelli flow 3XP, NF3 5000 SCCM 


MYKROLIS intelli flow 3XP, N2, 5000 SCCM lots of 3 


MYKROLIS intelli flow, O2, 10000 SCCM 


MILLIPORE 853011054001, 0-10 TORR, 0-10 VDC, 


EDWARDS Adjustable vacuum switch VS16K, 30-1000mBar


COMDEL LFMN 8/5, novellus P/N 27-296658-00


NOVELLUS ISIOC HI-LO Transfer 02-150755-00 REV.A


ISIOC Power supply, 02-125105-00, 27-053659-00 


NOVELLUS Controller I/O DUALCAP 27-156710-00, REV.C


SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB000047


SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB980180


Wasp Bar Code Quick Scan 6000, 


TEMP CONTROLLER INR-244-402 WITH Omron BU SO4X 


Beckman BM84546, Model# 451


Fiber Optic Illuminator 190, Dolan-Jenner Indust B848


Pfeiffer Balzers TPH 170 Turbo Pumps, PMP01210D619


Barber colman Model # 7SD491030000, OMRon K3N, Screen.


Richmond Static Control, Ionization Controller.


Charles water, static survayor 


Optical fiber thermometer system model # 310


Inficon Quadrex Head selector, Model # 902-001-G1.


AMAT 0690-01037, HPS NW 50 Clamp, KF 50 clamp, 


Thornton resistivity sensor Lots of 2 


ENI OEM-6 RF Generator, ENI OEM-6AM-1B-21251, 750 Watt


ENI OEM-650A RF Generator, ENI OEM-6A-11491-52, 750 W


AMAT 0680-01251 P/N KT3250T


STEC LSC- 8410B, Liquid Source Controller, Looks clean


HP 3335A SYNTHIESIZER / LEVEL GENERATOR


AMAT 0190-13407 AE PDX RF Generator 500W, 325-375 KHz


 EDWARDS KF40 TRAPPED C/RING VITON AMAT 3700-01983


MKS BARATRON 627B152TBC1B, 500 TORR, looks very clean


 MKS, HPS, ASSY,RING.CTR.SCRN NW50


MKS BARATRON 624A21TBC, 20 TORR, CALIBRATION SHEET.


MKS BARATRON 627A12TBC, 100 TORR, CALIBRATION SHEET.


MKS BARATRON 122B-11993, 100 TORR, CALIBRATION SHEET.


 1/4 VCR CAP, Parker 4FNV-SSR


MKS BARATRON 531A11TBEH3, 1.333 KPa


 SWAGELOK VCR FITTING, SS-4-VCR-CP


ENI OEM-12A-21041-51 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz


4 FTG TBG PLUG 3/8T HEX SST AMAT 3300-03362


STEC 4400, MFC, Ar, 2 SLM, Calibration sheet.


Trazar Corp. RF Match AMU10E-2, REV.A, P/N 27-118072-00


TECHWARE PROCESS CONTROLLER TC 3P-DX, looks very clean.


MASS FLOW CONTROLLER 5877, He, 10 SCCM lots of 2 


UNIT MFC UFC-8165, 10L, Gas N2,  in box


STEC MFC SEC-4400, Ar, 1 SLM WITH CALABRATION.


TYLAN MFC FC-270 SIH2CL2


STEC MFC SEC-4400M NH3, 1 SLM, With CALABRATION SHEET


MKS LP2-40-AK-CLVS VACUUM ISOLATION VALVE, 


MFC Mykrolis FC-2902MEP5-T, 5 SLPM, Gas N2  lot of 2


Huntigton VF-173-5 Bellow, 


MFC Mykrolis FC-2902MEP5-T, 5 SLPM, Gas N2 


MDC Isolation valve, Edward Isolation valve, 


Brooks model 5815C2G1A gas flow controller, 


MKS BARATRON 627B12TEC1B, 100 TORR, looks clean


MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, CALABRATION SHEET.


MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, very clean.


MKS BARATRON 629B13TBCJ1B, 1000 TORR, very clean


MKS BARATRON 122BA-00100EB, 100 TORR


EDWARDS DP80 Dry Vacuum Pump, , as is


MKS BARATRON 122BA-01000EB, 1000 TORR, 0-10 VDC OUTPUT


ADVANCED ENERGY MDX-10K and MDX-20K, lots of 16, 


ADVANCED ENERGY DC Power Supply lots of 10, , a


ADVANCED ENERGY MDX DC power supply, lots of 7


UNIT UFC - 7000 industrial MFC, H2, 1.00 SLM, 


MILLIPORE FC-2902MEP-T, SIH4, 1.5 SLMP 


Pump baldor VM3541 3/4HP & pump Head, looks clean


Item title

MILLIPORE IntelliFlow, N2 and SIH4  lots of 2


MKS baratron 128AA, 1000 torr, +/- 15 VDC,  as is


Mykrolis IntelliFlow DEVICE NET, N2, 10000 SCCM, 


MKS baratron 141AA, 10 torr, +24 VDC,  as is


MKS baratron 128AA, 10 Torr, +/- 15 VDC,  as is


MKS baratron 128AA, 1 Torr, +/- 15 VDC,  as is


MKS baratron 227AA, 1 TORR, +/- 15 VDC,  as is


MKS baratron 128AA, 10 TORR, +/- 15 VDC,  as is


MKS baratron 141AA, 10 Torr,  as is


EXFO Acticure A4000, Spot curing system, see pictures


BOC EDWARDS interface module, U20000521 


AMAT 0690-01037 MKS HPS KF 50 Clamps, NW 50 HINGED 


lot of 5 Novellus 03-104557-00 interface cable


ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,  


ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,  


ENI OEM-12B-01 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,  


ENI OEM-12B-1 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,  


Vexta 2-Phase Driver UD2115A, 


HP 5328A UNIVERSAL COUNTER


UNIT UFC-1660 CL2 200 SCCM and O2 50 SCCM, lots of 2


Self Balancing Ionizer SP4500 Auto-Ion, 


TYLAN 2900M series MFC lots of 3, and TN2900 MFC, 


Orifice 25 Micron SS-4-VCR-2, Novellus 22-284951-00


MILLIPORE intelliFlow DEVICE NET, N2, 50 ,400, 200 SCCM


MILLIPORE intelliFlow DEVICE NET, AR, N2, 100 SCCM 


10  NTE NTE5814 Si, Inductrial Rectifier, Axial Lead


Unit 8560 Series DeviceNet UFC-8565 O2 He Lot's of 8


Unit 9000 Series UFM-9660 He 6L Lot's of 3


4 Unit 8560 series UFC-8561C H2 HCL, AMAT 3030-12306


3 Unit 3000 Series DeviceNet UFC-3165, AMAT 3030-03330


COMDEL CLX-1250 RF Generator 1.75-2.15 MHz


COMDEL CLX-1250 2 MHz RF generator P/N FP1215R2


ENI GHW-12Z Genesis RF Generator 1250W, AMAT 0190-09832


Rorze Sensor Mate RS Model, looks 


Mechanical Cartridge Tester 120 Controller


Universal End Point, eP-8000 Interface


Micro 7000 Hi speed controller MCD112KIGI


Head/Disk Interference Detector 4702F


2  AMAT 0680-01029 Circuit breaker 20A 3P


 AMAT 3870-90477 PNEUMATIC PILOT VALVE 


2  AMAT 0680-02021 CB SPCL 1P 10A D-CURVE DIN MTG 


8  Tylan FC-261 N2, H2, O2 


 Vacuum Fitting Reducing Tee NW50, SST, lot's 3


18  Tylan FC-260 MFC, H2, O2, HCl, Cl2, WF6


2  Tylan FC-260 MFC, N2 100 SCCM, 4 SLPM


2 MFC Tylan FC-260, 20% HCL/N2 500 SCCM


3 Mass Flow Meter Tylan FM-360, Argon and Air, untested


 AMAT 0150-21622 EMO Jumper PLUG, CBL EBARA 


CABLES TO GO FIREWIRE CABLE D1394PER2M6C6C


Flexable gas line, Swagelok L-7-1 321-4-X-12FDR, 16 in.


Engis Hyprez Autostirrer ASP115 & ASP230 Speed control


KOMATSU ELECTRONICS DW621  IN BOX


Motion Engineering SA-NOV controller lot's of 2 


AE ADVANCED ENERGY PLASMA 3151802-003 AMAT 0920-00124


AMAT HEAT EXCHANGER AMAT 0 ENDURA SYSTEM P544


Lot of 10, Helium Neon Laser JDS Uniphase, Hughes, etc 


Moeller PKZMO-25, Motor-protective circuit breaker, 


AMAT 1350-00034, Phoenix Contact #MCR-S-10-/50-UI-DCI 


AMAT 3870-04440 Manual Valve, CKD valve MMGD-2OV-AT2-L1


AMAT 1400-00028 Sensor Photoelectric Narrow Beam 700mm 


Vat Gate Valve, heater, 64248-XE52-1108, Looks clean


Hastings Reference Tube DB-20


Hastings Reference Tube DB-20


Acculex DP-2002 Digital Panel Meter


APTech AP 1006SV 2PW MV4 MV4


2 Eye Pieces


AMAT 3880-01072 Washer Wave SPRG .4900D, Qty 52


828-36-003 Lot of 2 Pole PC, Outer, Short


Flexable gas line, Swagelok L-7-1 321-4-X-12FDR, 16 in.


PHD, 4475-19 ParentD30, 0180502-3-01 Actuator, Mini Rot


15-00567-00, Ceramic, TC


AMAT 0020-30329 SCREW 2-30056500-452


Flexable gas line, Swagelok VCR connection 38 Inches


MKS HPS Foreline Heated Jacket, 2 Straight Line,1 Elbow


Flexable gas line, 316 Swagelok VCR connection, 31 Inch


100001419 KIT, Bellows Assy, NW40


4 AMAT 0020-31296 Screw, 6-32x1/2LG Alum Vent 7/64 hex


000-6295-45 MCC 94V Board


Amphenol 10368 17-1724-1