1FK7083-5AH71-1AA2

IZE: 9pt; COLOR: black">点数据的情况下，整体式比模块式价格低。但模块式具有功能扩展灵活，维修方便（换模块），容易判断故障等优点，要按实际需要选择 PLC 的结构形式。

2 ．分配输入 / 输出点

一般输入点和输入信号、输出点和输出控制是一一对应的。

分配好后，按系统配置的通道与接点号，分配给每一个输入信号和输出信号，即进行编号。

在个别情况下，也有两个信号用一个输入点的，那样就应在接入输入点前，按逻辑关系接好线（如两个触点先串联或并联），然后再接到输入点。

（ 1 ）确定 I/O 通道范围

不同型号的 PLC ，其输入 / 输出通道的范围是不一样的，应根据所选 PLC 型号，查阅相应的编程手册，决不可“张冠李戴”。必须参阅有关操作手册。

（ 2 ）部辅助继电器

内部辅助继电器不对外输出，不能直接连接外部器件，而是在控制其他继电器、定时器 / 计数器时作数据存储或数据处理用。

从功能上讲，内部辅助继电器相当于传统电控柜中的中间继电器。

未分配模块的输入 / 输出继电器区以及未使用 1 ： 1 链接时的链接继电器区等均可作为内部辅助继电器使用。根据程序设计的需要，应合理安排PLC 的内部辅助继电器，在设计说明书中应详细列出各内部辅助继电器在程序中的用途，避免重复使用。参阅有关操作手册。

（ 3 ）分配定时器 / 计数器

PLC 的定时器 / 计数器数量分别见有关操作手册。

7.3 PLC 软件系统设计方法及步骤

7.3.1 PLC 软件系统设计的方法

在了解了 PLC 程序结构之后，就要具体地编制程序了。编制 PLC 控制程序的方法很多，这里主要介绍几种典型的编程方法。

1. 图解法编程

图解法是靠画图进行 PLC 程序设计。常见的主要有梯形图法、逻辑流程图法、时序流程图法和步进顺控法。

(1) 梯形图法：梯形图法是用梯形图语言去编制 PLC 程序。这是一种模仿继电器控制系统的编程方法。其图形甚至元件名称都与继电器控制电路十分相近。这种方法很容易地就可以把原继电器控制电路移植成 PLC 的梯形图语言。这对于熟悉继电器控制的人来说，是最方便的一种编程方法。

(2) 逻辑流程图法：逻辑流程图法是用逻辑框图表示 PLC 程序的执行过程，反应输入与输出的关系。逻辑流程图法是把系统的工艺流程，用逻辑框图表示出来形成系统的逻辑流程图。这种方法编制的 PLC 控制程序逻辑思路清晰、输入与输出的因果关系及联锁条件明确。逻辑流程图会使整个程序脉络清楚，便于分析控制程序，便于查找故障点，便于调试程序和维修程序。有时对一个复杂的程序，直接用语句表和用梯形图编程可能觉得难以下手，则可以先画出逻辑流程图，再为逻辑流程图的各个部分用语句表和梯形图编制 PLC 应用程序。

(3) 时序流程图法：时序流程图法使首先画出控制系统的时序图（即到某一个时间应该进行哪项控制的控制时序图），再根据时序关系画出对应的控制任务的程序框图，最后把程序框图写成 PLC 程序。时序流程图法很适合于以时间为基准的控制系统的编程方法。

(4) 步进顺控法：步进顺控法是在顺控指令的配合下设计复杂的控制程序。一般比较复杂的程序，都可以分成若干个功能比较简单的程序段，一个程序段可以看成整个控制过程中的一步。从整个角度去看，一个复杂系统的控制过程是由这样若干个步组成的。系统控制的任务实际上可以认为在不同时刻或者在不同进程中去完成对各个步的控制。为此，不少 PLC 生产厂家在自己的 PLC 中增加了步进顺控指令。在画完各个步进的状态流程图之后，可以利用步进顺控指令方便地编写控制程序。

2. 经验法编程

经验法是运用自己的或别人的经验进行设计。多数是设计前先选择与自己工艺要求相近的程序，把这些程序看成是自己的“试验程序”。结合自己工程的情况，对这些“试验程序”逐一修改，使之适合自己的工程要求。这里所说的经验，有的是来自自己的经验总结，有的可能是别人的设计经验，就需要日积月累，善于总结。

3. 计算机辅助设计编程

计算机辅助设计是通过 PLC 编程软件在计算机上进行程序设计、离线或在线编程、离线仿真和在线调试等等。使用编程软件可以十分方便地在计算机上离线或在线编程、在线调试，使用编程软件可以十分方便地在计算机上进行程序的存取、加密以及形成 EXE 运行文件。

7.3.2 PLC 软件系统设计的步骤

在了解了程序结构和编程方法的基础上，就要实际地编写 PLC 程序了。编写 PLC 程序和编写其他计算机程序一样，都需要经历如下过程。

1. 对系统任务分块

分块的目的就是把一个复杂的工程，分解成多个比较简单的小任务。这样就把一个复杂的大问题化为多个简单的小问题。这样可便于编制程序。

2. 编制控制系统的逻辑关系图

从逻辑关系图上，可以反应出某一逻辑关系的结果是什么，这一结果又英国导出哪些动作。这个逻辑关系可以是以各个控制活动顺序为基准，也可能是以整个活动的时间节拍为基准。逻辑关系图反映了控制过程中控制作用与被控对象的活动，也反应了输入与输出的关系。

3. 绘制各种电路图

绘制各种电路的目的，是把系统的输入输出所设计的地址和名称联系起来。这是很关键的一步。在绘制 PLC 的输入电路时，不仅要考虑到信号的连接点是否与命名一致，还要考虑到输入端的电压和电流是否合适，也要考虑到在特殊条件下运行的可靠性与稳定条件等问题。特别要考虑到能否把高压引导到 PLC 的输入端，把高压引入 PLC 输入端，会对 PLC 造成比较大的伤害。在绘制 PLC 的输出电路时，不仅要考虑到输出信号的连接点是否与命名一致，还要考虑到 PLC 输出模块的带负载能力和耐电压能力。此外，还要考虑到电源的输出功率和极性问题。在整个电路的绘制中，还要考虑设计的原则努力提高其稳定性和可靠性。虽然用 PLC 进行控制方便、灵活。但是在电路的设计上仍然需要谨慎、全面。因此，在绘制电路图时要考虑周全，何处该装按钮，何处该装开关，都要一丝不苟。

4. 编制 PLC 程序并进行模拟调试

在绘制完电路图之后，就可以着手编制 PLC 程序了。当然可以用上述方法编程。在编程时，除了要注意程序要正确、可靠之外，还要考虑程序要简捷、省时、便于阅读、便于修改。编好一个程序块要进行模拟实验，这样便于查找问题，便于及时修改，最好不要整个程序完成后一起算总帐。

5. 制作控制台与控制柜

在绘制完电器、编完程序之后，就可以制作控制台和控制柜了。在时间紧张的时候，这项工作也可以和编制程序并列进行。在制作控制台和控制柜的时候要注意选择开关、按钮、继电器等器件的质量，规格必须满足要求。设备的安装必须注意安全、可靠。比如说屏蔽问题、接地问题、高压隔离等问题必须妥善处理。

6. 现场调试

现场调试是整个控制系统完成的重要环节。任何程序的设计很难说不经过现场调试就能使用的。只有通过现场调试才能发现控制回路和控制程序不能满足系统要求之处；只有通过现场调试才能发现控制电路和控制程序发生矛盾之处；只有进行现场调试才能最后实地测试和最后调整控制电路和控制程序，以适应控制系统的要求。

7. 编写技术文件并现场试运行

经过现场调试以后，控制电路和控制程序基本被确定了，整个系统的硬件和软件基本没有问题了。这时就要全面整流技术文件，包括整理电路图、PLC 程序、使用说明及帮助文件。到此工作基本结束。

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联系人：林朝艺（销售经理）                                         
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【主营产品】
1：Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

2：Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的最现代化的容错控制器。

3：Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

6：ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

7：Siemens(西门子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens数控系统等。

8：Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9：XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。

15： 英维斯(TRICONEX):TRICON DCS的系列，如：3805E

另外还有 雅马哈(YAMAHA), 贝加莱(B&R)， 欧姆龙(OMRON),  KEBA， 安川(YASKAWA) 等品牌的停产备件。

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EFEN NU 4A-D FUSE HOUSING 660V 1250A NU4AD FOR NH4

MYCOM UPS54-030-01 STEPPING MOTOR DRIVER

LAM 853-017163-101 RF ASSY Filter

TERADYNE 950-993-00 PCB, INTERFACE ULTRA 60

BEKO 0211-357072 TRAPE CONDENSO BEKOMET LS-3-1H F MS STAT

AMAT 0190-09184 VAC FEEDTHRU T/C PRSP

AMAT 3870-01486 VERIFLO 944AOP-HPSFSMM VALVE AIR-ACTUATED DIAPH 3500PSI NC 1/4VC

ULVAC EM0894-125-20B SHIELD RING, LOWER (Ti TREATMENT)

STEAG 00046451-00 STEAG MICROTECH 216216, ARM, CARRIER 8" S.C.

GSI 2860070-519 PCB, DSP COMBINER 880-200

AMAT 0050-00464 WELDMENT, 5RA SLD, T5 TO P7 PRODUCER

AMAT 7794-00125 CABLE, ENCODER INTERFACE EXTENSION

TEL MB3M10-203202-11 INSULATION, SHOWER 3

SCP 00048850-00 CONTROLLER, TEMPERATURE

AMAT 0150-A0141 POWER SUPPLY

GSI S710205 PCB, IMBALLANCE INDICATOR

AMAT 0020-42039 PORT, EXHAUST, PMS, WXS

LAM 853-542072-001 ASSY ROBOT Lift/Position 9600,

AMAT 3800-A0200 UHP Pressure Regulator

AMAT 0020-96176 FLANGE CONNECTING

AMAT 0021-20829 SUPPORT, BLADE, SHUTTER, 300MM, PVD

AMAT 0010-C0240 Half Wafe Plate ASSY

AMAT 0040-22858 BRACKET, LEFT GAMMA 2 PROCESS GAS LINE

AMAT 0140-01981 H/A, SCR DRIVER CONTROL, 25FT, RADIANCE,

AMAT 3510-00002 ORF Flow Restrictor 50SLM N2 1/2VCR-M/M 30PSIG 10RA

AMAT 4020-00172 DRYER,20C CDA 1/4FNPT, 10LPM

SENSORIK SK1-20-M30-P-B-8 SENSOR CAP IDI; 3-1/2FT LONG

AMAT 0020-94632 LUG BOTTOM E3

AMAT 0040-93801 LEADSHIELD,SHAFT FEEDTHRU

AMAT 1950761 IDAC I/O CABLE ASSY WF 730/300

AMAT 1950773 PMT VIDEO 1 CABLE ASSY WF 730/300

TYLAN MFC-2900 200SCCM SIH4 AUTOZERO 1/4 VCR F

AMAT 0040-09026 MANIFOLD BLOCK 2:1

COAXIAL DYNAMICS INC. 80-095-132 POWER SENSOR 2-30MHZ 12000W PF/PR

AMAT 0040-92623 PANEL, TURBO

LAM 810-017004-001 SOLENOID INTERLOCK PCB

TEL MB3M10-202737-12 INSULATION, SHOWER 1

Tektronix GIGABERT700 MICROWAVE LOGIC PULSE PATTERN GENERATOR

Agilent HP Keysight 8656B GENERATOR, 0.1-990 MHz, SERIAL NUMBER 3334U13480

ASCO JKH8262G220E VALVE SOLENOID

EMA IO TV12177ZM60-1A O.G MODULE

FUSION 344281 ASSY, PWB SYSTEM I/F CARD

Nikon 13077 PCB - W. ALIGN-2

BROOKS AUTOMATION 001-3404-02 ASSY, CONTROL PCB VCE-2

AMAT 0010-03850 SIDE DOOR ASSY, OUTER LOWER LEFT, IECP

AMAT 0010-13863 ASSEMBLY THROTTLE RPS VALVE PRODUCER SE

AMAT 0010-A3500 ASSY-REFERENCE

AMAT 0020-10842 SHIELD 200MM,EB

AMAT 0020-15540 PRE-ALIGNER MOUNTING PLATE 300

AMAT 0020-20918 plate, upper, magnet ring, 200mm

AMAT 0020-32291 Bellow-Seal, Sleeve, WSIX-DCS PEEK

AMAT 0020-52476 PLATE RF ENCLOSURE SUPPORT 300M ENABLER

AMAT 0020-52704 STOP, PUCK

AMAT 0020-52944 BOSS FOCUS FEEDTHROUGH MNTG

AMAT 0020-54081 0020-54081..SHIELD, ARM HOUSING

AMAT 0020-62093 SHIELD, X SHAFT

Applied Materials 0020-75852 Plate Top Platform WBLL CMF CENTURA

AMAT 0020-76181 Cover, Cool down, Chamber Non-Enp

AMAT 0020-90738 Linear. REAR L.H. Middle

AMAT 0021-70477 INSULATOR, ICE RF FILTER PCB, IMP 2MHZ R

AMAT 0030-09037 Seal, 200mm Pedestal Face CHEMRAZ

AMAT 0030-09052 SEAL, LARGE FACE, NOTCH CHEMRAZ 512, 200

AMAT 0030-98014 Moulding, Side Panel, RH

AMAT 0035-00020 Reflector Light Port

AMAT 0040-01900 PULLY, 11MM DRIVE SHAFT, ECP

AMAT 0040-08737 COVER, LEFT SIDE, 300MM EMAX

AMAT 0040-24128 Housing

AMAT 0040-52304 PANEL, LOWER ENLARGE

AMAT 0040-52393 SHIELD, LEFT ENLARGE SRC BSH

AMAT 0040-77462 AXLE, WRIST GEAR ROBOT

AMAT 0040-78263 RETAINING RING COMPOSITE 8" TITAN HEAD

AMAT 0040-79406 LINER, SCANNER END LOWER

AMAT 0040-85423 Manifold, H/E Flow Meter TO TA

AMAT 0040-92231 TABLE

AMAT 0040-94515 Blade Pick-up Shoe, non-button

AMAT 0040-99913 HD PFS SUPPORT PLATE

AMAT 0100-00403 PCB ASSEMBLY, OPTIONS BD, SLIT VALVE INT

ALTA TECHNOLOGIES 0100-01966 Air Bearing, Facility Interlock PCB

AMAT 0140-01327 HARN, DC POWER/UPS CHA TRAY CCM 300

AMAT 0140-35864 HARNESS, ASSY, TURBO INTERCONNECT

AMAT 0140-37802 Harness Assembly Controller TEB Producer 300

AMAT 0150-02601 FIC E84 PODS A AND B

AMAT 0150-11927 CABLE,POWER,SMC 496 CHILLER 3

AMAT 0150-38552 CBL ASSY,CH A SERIPLEX VME,MEI CONT

AMAT 0190-18373 ASSEMBLY HEATER FINAL VALVE MANIFOLD

AMAT 0190-40096 CABLE,HEATER, 1100 WATT @ 208V

AMAT 0200-36019 NOZZLE,MIDDLE 4.0/1.5",DTCU,DPS 300MM

AMAT 0220-35172 CES, KF-25 LEAKCHECK/RGA PROT ON POLY B

AMAT 0224-49676 KIT, DATA CABLES

AMAT 0227-05400 CABLE EMO FROM PROCESS PUMP TO PROCESS P

AMAT 0270-01584 TOOL PLUG HTR 200MM CWXZ

EDWARDS 0322-8632-0 Stem 6" Pneu Actuator Ass'y

AMAT 0660-00591 Electrometer, E403

AMAT 0680-01318 CBMAG THERM 3P 240V 20A QUICKLAG TYPE QC

AMAT 0680-01873 CBASSY W/ LINE FLTR ZERO FOOTPRINT ENCLR

SCP 070A0007 Elevator Comb Emitter SANTA CLARA PLASTICS

CUSTOM EYE 1080762.1 TENSION BAR; 1080762.1

TEL 1105-300861-11 COVER QUARTZ TEOS-R

TEL 1105-302138-51 QUARTZ, PEDESTAL FIN STAL FIN

AMAT 1120-00310 Fiber Optic Cable Assembly, ISPM, QX

Generic 117219 Docking Plate, Alignment

Brooks 117441-0001 ASSY,GRIPPER POTENTIOMETER; BM16186/A, BM16186-DX

AXCELIS 118545 INDUCTIVE POSITION SPRING TIP SENSOR

AMAT 1270-00785 Pressure Switch, 1-10BAR

AMAT 1410-01383 HTR JKT 30 MIL B LAYER UPPER ZONE 1 CHAM

SCHUMACHER 1471-0006B DETECTOR MODULE S/A, SPILL

NOVELLUS 16-126665-02 SHIELD,15LB,ESC,TABLE,ARC

AVIZA 162883 LINK 200MM - 200MM POD

SVG 16689-01 ARM 5" FOREARM PICK UP

SEN 17B8693 PLATE, BEAM GUIDE STRIKER INNER LINER

DNS 2-39-77040 REGULATOR, ELECTROPNEUMATIC 316 SSCKD EV2509-208;

LEYBOLD 20076632 Rebuild Kit DURADRY

LEYBOLD 20077331 Vacuum Products Vent SYS Full Kit

TEL 2105-120233-11 SHIN-ETSU BASE 16 QUARTZ ALPHA8

MOTION ENGINEERING 2109415 ISA bus scale interface module With PC-DSP card

AMAT 270719-001 Backing Plate

FSI INTERNATIONAL 290179-400 PC-TS RESET ISOLATOR, PCB ASSY

TEL 2910-404334-11 RING, STOPPER SUS304

FUTURESTAR 2B1-005-8F FLOWMETER ANALOG; 2B1-00365-8F TEFLON

CAT 3-38-235-200 Abatement Consumable REACTOR KIT 5 PCS

BOC EDWARDS IC693CHS391N 10-SLOT BASE PROGRAMMABLE CONTROLLER; GE IC693CHS391N

AMAT 30707448000 JIG FOR ADO LEVELING CUP

PRECISION SENSORS 3121-45-01-GA-F-4P6 WF6 Pressure Transducer

Fusion Semiconductor 344281 System Interface PCB

AMAT 4020187 Z1_MOT RIGHT LIMIT EL

AMAT 4020188 Z1 MOT LEFT LIMIT EL

VERIFLO 43800747 REGULATOR HP 316 SS

DNS 5-F1-06183 LIFTER, V/D

VEECO 5202CL 1-D TIP ASSEMBLY

SCP GLOBAL 6742471A-00 PLATE,9400 DISPERSION,QUARTZ TEFLON FURNITURE(NC)

SWAGELOK 6LV-D1V222P-WS 3 WAY MANUAL SHUTOFF DUAL HANDLE

WATLOW 7-21-50-66MU HEATER ELEMENT, 480V, 12KW, 3PH

AMAT 70409224200 (C8)NUT FOR BEAM BLANK

LAM RESEARCH 715-011913-006 PLATE LOWER BAFFLE

LAM 716-011763-008 EDGE RING (POLY SIN)

LAM Research 766-009866-050 BELLOWS NW50 Valve replacement

Generic 795-092509-001 Endefector , Wafer, Retroreflector

LAM 810-4092-3 PCB-LAM

AMAT 9010-02190 Flow Manifold Assy

AMAT 9010-02218 X CABLE CHAIN ASSEMBLY

WATKNIS JOHNSON-WJ 912693-001 TUBE, EXHAUST, 11.25

AMAT 9150-04092 RPC1 3X14C. P1 / 3X6E. P9

AMAT 9150-05438 CS PREA28 PXP500.HV/PXP24C.P4

AMAT 9240-05044 KIT VME CHASSIS FAN UPGRADE

AMAT 9240-06134 Ho Pfs Assembly Ox Plus Intel

ENTEGRIS 9700-3160-02 KIT WAFERLOCK 150MM CLEAN

LAM Research 971-1144-91 REGULATOR TEFLON, (MACE)

MKS 99E1446 Element, AL ETCH, High Cap

CKD AMD31-15BUS-10-1F VALVE Teflon Adjustable , AIR OPERATION, MAIN 0-0.5MPa, OP

CKD AMD512-X0233 VALVE Teflon, AIR OPERATE

CKD CORPORATION AMG502-X0196 CKD CORPORATION, AMG502-X0196, VALVE, AIR OPERATE,

APTECH AP1510SM-2PW-MV4-MV4-APCI2 REGULATOR HP 316 SS

APTECH AP1510SM-2PWA-MV4-MV4 REGULATOR HP 316 SS

ETS AV12-SN-PT1/2-T VALVE Teflon, AIR OPERATION

ETS AVH20-3-PW3-4-T VALVE teflon, AIR OPERATION

NISCO CO LTD AVH20-3VHPV3-4T VALVE Teflon , AIR OPERATION

CANON BG9-4657-000 CANON 730NM LED

CANON BG9-4658-000 CANON 800NM LED

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC D3CK22053 REACTOR HOLDER

HITACHI D3VK32530(NC-NC) UCV, SUSF316L, VALVE, AIR-OPERATE, 2VALVE-4WAY

VARIAN E17091250 HOUSING, PFG FLOOD GUN

KTM E4-90-D3300-TN 20A VALVE, E4-90-D3300-TN 20A, DIAPHRAGM AIR E4-90-D3300-TN,

ULVAC EM0867-131-04E COPPER PLATE

SMC EX300-TTA1 T-UNIT

ADVANCED ENERGY FC-PAR785T-BW 3SLM N2 MFC, KOKUSAI AERA FC 785T BW N2 3SLM ULTRA

FIL-TECH G-75-PT Ion Gauge Glass Tubulated Gauge 3/4 inch glass inlet port

AGILENT G1820-65343 SYSTEM,SC INTRO,POLY-PROPYLENE

PALL GFF1100VMM4 Filter, Assembly, 3000 PSIG at 100'F, MWO Number 4HS-D2587-1

MKS LP2-40-RK-CLVS Valve, LO PRO NW40

FER ROF LUIDIC LUP-29 FEEDTHRU, ROTARY

KTM M509-8K80 MANUAL VALVE Diaphram M509, 8K80, DI80,; , INNER DIA: 80mm

ETS PVH-S12-PW8-T VALVE Teflon AIR OPERATION

STEC SEC-7330MC-UC-792B-150SCCM-N2 Mass Flow Controller; Gas: N2, Flow Rate: 150

SMC SR3101 REGULATOR 316 SS

CAT SS3010001 RING, PROTECTIVE EDGE

KOBE STEEL SS800-A202 Pump Housing End Plate SS ,

ADVANCED ENERGY TC FC-786CY-BF MASS FLOW CONTROLLER AERA NF3 1SLM

AERA TC FC-985CBF-1000SCCM-AR MASS FLOW CONTROLLER; SERIAL #: 24E4033

CKD TEC-C-07-3-X1 ESC-CTLR; Exhaust Switching Controller; AC120V, 50/60Hz

CROWN U20SSS-2W-1010-24F24F REGULATOR 316 SSYUTAKA FOR HIGH PURITY GASSES

DKK-TOA WDM-135A Conductivity Probe HOLDER, CIRCULATION, OUTPUT DC 4-20mA, SOURC

WJ WJ-970145-000 BOARD-DISPLAY-DRV-CON

STASBAUGH 12-0742 ELECTRIC CYLINDER

SMC 12-PORT MANIFOLD Solenoid valve block 12 position harvested off un sys

Nikon 12031-1C PCB - R STAGE SRV

Nikon 12038-4 PCB - STGXY

Nikon 12049-1 PCB - R. ADAPTER

Nikon 12059-3 PCB

Nikon 12059-3A PCB

Nikon 12071-1 PCB - 0-Z CONTROL

Nikon 12072-1 PCB - Analog I/F

Applied Research Laboratory 138780-136 Controller Power Distribution

Nikon 14036-1C PCB - PEM PSD

Nikon 14036-2A PCB, PEM PSD

Nikon 14036-2B PCB, PEM PSD

NIKON 14036-3 PCB - PEM PSD

Nikon 14036-3A PCB, PEM PSD

Nikon 14066B PCB - RTCL. AGC

Nikon 14066E PCB, RTCL.AGC

Nikon 14099A PCB - PRL INTERFACE CONTROL?

Nikon 14100-1A PCB - DETECTION LOGIC

FSI UFC-1560A Mass Flow Controller, Range: 250 Sccm, Gas HF, Cal Gas: N2, Rsp: F

Unit UFC-1660 Mass Flow Control, 500 PSI Maximum, UTM-1660S Range: 300SCCM, Gas:

Generic 173280-202 PCB

AMAT 21016400038 PCB, System Memory, Opal 7830i

AMAT 21016400051 PCB, Scan Mode SW., Opal 7830i

AMAT 21016400088 BAS INTERFACE 3483329038 Opal 7830i

STEC INC SEC-4400MO-SUC-G2 MFC, Gas: N2, Flow Rate: 100 SCCM, 2V- 40.09 SCCM, 4V

STEC INC SEC-4400MO-SUC-G2 MFC, Gas: N2, Flow Rate: 1000 SCCM, 2V 401.8 SCCM, 4V

Nikon 23046-2 PCB - BUS RECEIVER

Nikon 23048-3 PCB, PEM I/O

Nikon 23050-1D PCB - EXP. CNTRL

Nikon 23065B PCB - JOYSTIK IF

Nikon 23088-2 PCB

Nikon 23123-1 PCB - INTERFACE

Nikon 23124 PCB - DC MOTOR DRIVE

Nikon 23129-1 PCB - BUS INTERFACE

Nikon 23129 PCB - BUS INTERFACE

Nikon 23130 PCB - LSA INTERFACE

Nikon 26002-5 PCB - CPM-851A

Nikon 26002-6 PCB - CPM-851A

Nikon 26002-6B PCB - CPM-851A

Nikon 26028-1A PCB

Nikon 27201-1 PCB

FSI 290080-400 PHOENIX INTERFACE W HEATSINK

Nikon 30059-2 PCB - INTERFACE

NIKON 30061-1 PCB - ERR LMP

Nikon 30147-1 PCB

VARIAN 304298001 FEEDTHROUGH LENS ASSY

Nikon 30I47 PCB, Board

BTU ENGINEERING 3163061V02 3163060, PCA MKII ELEVATOR MAN CONT W/O Y2

SIMCO 4009133 GEMINI PROFILE EMITTER MODULE; INCLUDES SIMCO 5051153 36" TUNGSTEN

Associated Research Inc. 4050AT AC Hypot and Ground Continuity Test Set, Input:

PLASMATHERM 4110004217010 SHIELD DARK SPACE A360

KLA-TENCOR 480-15438-000 CCD Video Camera Module

Kevex Instruments 51301307 PCB Kevex Semicron

Fisons Instruments 51301315 PCB Kevex Semicron

PROMETRIX 54-0112 SERVO-MOTOR CONTROLLER BOARD PCB

SVG 600051-01 PCB ANALOG INPUT

SVG 600055-02 DIGITAL OUTPUT

Semy Engineering 600059-06 6-Input Thermocouple Amp

REICHERT-JUNG 6526-0 Controller, Photo Exposure Camera Unit for Microscopes, 110

Powertec 6C32-EE-370-L-23-S1748 Power Supply, Input: 115/230V~;20/10A;50/60Hz

Powertec 6C32-EE-371-L-23-S1748 Power Supply, MultiMod Series, Input-Output: 150

AMAT 70312538200 PCB,

AMAT 70312544000 PCB, E/O Interface, Opal 7830i

AMAT 70312547000 PCB, Video Switch 2, Opal 7830i

AMAT 70312891000 PCB, L.V. Power Supply Board, Opal 7830i

AMAT 70316690100 PCB, Cassetee Sensors Board, Opal 7830i

AMAT 70412542200 PCB, Opal 7830i

AMAT 70412543300 DIF 1; 70412542 Opal 7830i

AMAT 70412572000 PCB, Attenuator, Opal 7830i

ASTEC 73-940-0106I Power Supply harvested off un system

SMG 80122C-02-01 PCB, Track Interface BD

Powertec 9J8-200-371-23-S1750A Power Supply, Super Switcher Series, Input-Output

Powertec 9K2-300-372-FGLV-S1723 Power Supply, Super Switcher Series, AC Input: 1

Westinghouse A202K4DA Contractor 4pole AC Lighting 480/277V 200Amp,120V coil

Fisons Instruments A51301327-100 PCB Kevex Semicron

FSI INTERNATIONAL BM12125L02 PCB

Tylan CMLA-11 Barratron, Output: 0-10 VDC, Range: 0-10 Torr

AMAT EA70316570300 PCB, ITU Driver Board came from OPAL 7830i

Westinghouse ED 65k Circuit Breaker, 3 Pole, Series: C, 200A, 240 VAC, CU Wire O

Tylan FC-260 Mass Flow Controller, Range: 3 SLM, Gas: N2

Tylan FC-260 Mass Flow Controller, Range: 500 SCCM, Gas: N2, Flow: 150 PSIG Max

Westinghouse FD 25k Circuit Breaker, 80A, 600 VAC, Series: C, 3 Pole,

DBI FJS46W70198 PCB, Board, 30000354 pc/8

SVG HCIU Host Computer Controller Track System, 8010B Board Assembly Unit, 12 In

Hitachi HV-200BV-H2 Controller, Camera Unit, AC100V, 50/60Hz, 40W

ASTEC JF151A-1000-0000 Power Supply, Input: 230V~;13A;50/60Hz Level 5, Maximum T

ASTEC JF151A-2000-0000 Power Supply, Input: 230V~;13A;50/60Hz Level 5, Maximum T

ASTEC JF151A-3000-0000 Power Supply, Input: 230V~;13A; 50/60Hz, Level 5, Maximum

DISCO LIMN-910001-0 CHUCK TABLE DRESS, SAW

DXL M10 Mass Flow Controller, Digital, Range: 100 Sccm, Gas: SF6

DXL M10 Mass Flow Controller, Range: 200 Sccm, Gas: C2F6

MODULAR CIRCUIT TECHNOLOGY MCT-TURBO PCB, Board

SEMY MYP9001005 15-Input Thermocouple Amp

MKS PDR-C-1B- Baratron Pressure Meter

Pacific Scientific PM-200 PCB, Board, Filter Option

PRETECH PT-005J Generator, FINEJET 48w 100v

Sedlbauer RTO 853786 Polytronik-Ringkern-Transformer, with Plate 1210VA, ta=40'C

ARL S 700 031 PCB, S 700028, S 920003 04 ARL, RECTO

Truevision TARGA+ ISA VIDEO CARD

ORIENTAL MOTOR UDK5214NW 5-PHASE STEP MOTOR DRIVER harvested off un system

UNIT UFC-1000 MFC, 500 PSI Max, Range: 500 sccm, Cas: CF4

UNIT UFC-1100-10SCCM-O2 MASS FLOW CONTROLLER; UFC-1100, RANGE: 10SCCM, GAS: O2

Unit Instrumetns Inc. UFC-1100A Mass Flow Controller, Range: 5 SLM, Gas: N2, Att

Unit Instruments UFC-1660 Mass Flow Controller, Range: 1 SLM, Gas: O2

Sony XC-ST70 KLA-Tencor 480-15438-000 CCD Video Camera Module

AMAT 0224-43276 TYLAN Mass Flow Controller (MFC); Model: FC-2900MEP, Range: 3500

SMC 10-CDA1GN63-75-P59L Air Cylinder, Maximum Pressure: 1.0 MPa, 10.2 kgf/cm^2,

HPS 10043S1050VLV VALVE, KF50 90DEG ISO W/HTR-R; 152-0050K

TORICO LTD 1085566-1 BOARD, OVER SPEED

SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO LTD 1105-301461-11 QUARTZ, BASE TEL

ADVANCED ENERGY 22-192810-00 AERA MFC,FCPI981CBAX9TAA N2 10SLM-REFURB;MODEL PI-9

ADVANCED ENERGY 22-192847-00 AREA MFC, FCPI981CBAX9TAA AR 10SLM; MODEL PI-980

AMAT 3030-04340 Unit 1660-100280 Mass Flow Controller; 1-SLM, N2

NOVELLUS 372-15502-1 COUPLING SHAFT(EIP-P0041)

KENSINGTON LABORATORIES 4000-60010 PCB, SBC, MEAS/INST

PROMETRIX 54-0118 FT-500 Interface Board

KLA-TENCOR 54-0128 FT-500 DIAGNOSTICS DRIVER BOARD

AVIZA 907646-025 MYKROLIS 10-SLPM N2 Mass Flow Controller

ORIENTAL MOTOR A4244-9515NGMM 5-Phase Vexta Stepping Motor

NISSIN A68AD ANALOG INPUT MODULE

DNS AX71 INPUT MODULE

Brooks BM06241 PCB,Z&R AXIS AMP PCB; EPS 978-457-0442

SOJITZ PLA-NET C-4120-139-0001 DRY PUMP OUT SIDE PLATE(Alcatel A30W)

SOJITZ C-4120-221-0001 Dry PUMP MOTOR ROTOR 1.5KW Ebara

SOJITZ C-4120-235-0001 Dry PUMP MOTOR ROTOR 3.7KW Ebara

SOJITZ PLA-NET C-4120-354-0001 EBARA ZCCM INDUCTION MOTOR

HPS Cold Trap Exhaust Cleaned ISO 80 SS

TYLAN FC-2960-MEP5 Mass Flow Controller (MFC); Model: FC-2960-MEP5, range: 3000

AERA FC-785CY-BF MFC, AERA NF3 1SLM REFURB

AERA FM-391 N2 10SLM S/N:20C2722 MFM, N2 .10SLM

AERA FM-391 MFM, (N2.50SLM)

Net Mercury NM0003-1517 RS232 25-PIN 1/2 CART IPEC BOARD

QUA-TECH PXB-721 PCB; PRI-4000 / FSI SPRAY TOOL; RB16824

HORIBA SEC-4400RC-200SCCM-SF6 Mass Flow Controller; Gas: SF6, Flow Rate: 200SCCM

STEC SEC-7330M Mass Flow Controller; Gas: SO2, Flow Rate: 100CCM

Stec SEC-7330M Mass Flow Controller, Range: 200 SCCM, Gas: CF4, Valve: C, Treat:

HORIBA SEC-7330M Mass Flow Controller; Gas: N2, Flow Rate: 200CCM

HORIBA/STEC SEC-7330M Mass Flow Controller; Gas: CF4, Flow Rate: 100SCCM

UNIT UFC-1200A 200-SCCM N2 Mass Flow Controller; model: UFC-1200A, Range: 200-SC

UNIT UFC-1660-125-SCCM-N2 Mass Flow Controller; Model: UFC-1660, Range: 125 SCCM

ORIENTAL MOTOR UPH566HGK-AM 5-Phase Vexta Stepping Motor

EBARA ZCCM INDUCTION MOTOR, MODEL ZCCM, 3PHASE 2POLE, OUTPUT 1.5kW, INS. CLASS H

EBARA ZCCM INDUCTON MOTOR, MODEL ZCCM, 3PHASE 2POLE, OUTPUT 2.2kW, INS. C;ASS H,

SVG 600055-01 PCB DIGITAL OUT

eni OEM-6 Power Supply, Solid State, Generator Parts Only

VESTA TECHNOLOGIES 39637 PCB, BUS 4 SERIAL; B1R, B4SERIAL; VESTA TECHNOLOGIES

KOKUSAI 4083028E CLAMP TORCH INTERCONNECT W/WINGNUTS

AKRION 9735581A DIVERTER VALVE

PROCONICS INTERNATIONAL A0474000 LIGHT CURTAINS main receiver; PCB, SENSOR, WIP

ACOPIAN TECHNICAL COMPANY A75HT560 75 V, Regulated Power Supply (ECLIPSE)--not i

DAIFUKU ADS56270 VEXTA 5-phase stepping motor

TYLAN GENERAL INC. FC-261 V 10 SLPM O2 Mass Flow Controller, 10 SLPM, Gas: O2--n

CONTEC MICROELECTRONICS USA INC PIO-32/32L(PC) Digital I/O Board 64 CH NEG (VIKI

HIVERTEC PPD2A STD BUS NC BD PPD 2

VERTEQ ST800-CC50-E2RX Controller user interface, MEGASONIC, 120 VAC, 50/60HZ, 2

AMAT 0020-23041 CLAMP, SHIELD 8" WAFER

AMAT 0240-00636 Alignment KIT,8300 GENERIC TOOL

Aviza-WATKINS JOHNSON 910402-001 PCB INPUT TC486-APL

NEWPORT 850CD-1 CONTROLLER SERIAL NUMBER 10178

XANTREX HPD-15-20S INPUT 115V,60HZ,OUTPUT 0-15V,0-20A

AMAT 0140-09190 Harness Assembly 20 Slot SYS Controller

AMAT 0050-06619 WELDMENT, 5RA SLD, T12 TO P4 PRODUCER

AMAT 0020-23509 SHIELD DIVIDER TIN 8" WAFER

AMAT 3300-91655 CONNECTOR (2) IS0-100, (1) KF-40, (1) KF-16

AMAT 0020-03082 SHAFT, ROBOT ARM

AMAT 0020-22918 Side Reciever 200MM Cassette, Bracket

AMAT 0045-00119 BULKHEAD CONNECTOR KF40

AMAT 0020-17436 CLAMP, APERTURE

AXCELIS 1501020 PCB SUPPRETION ELEC SENSE

OLYMPUS DM142300 VALVE, SOL 6VALVE 24VDC ASSY

TELEDYNE D19133-D TELEDYNE MOTHERBOARD FOR ANALYZER-MODEL 306WAD TR

AMAT 0050-00271 Gas Line, Carrier Gas, 2:1

AMAT 0050-35936 LINE BOTTOM DEPOSITION PURGE CHAM A

AMAT 1950764 I/O CONTROL CABLE ASSY WF 730/300

CAT 210104901 Stator Various Material EPDM.(MONO CAC 2

Teledyne 5KC36LN18J Electric AC Motor

Nikon 2S003-017-1 PCB,PULSE,MOTOR,DRIVE,M3

AMAT 0200-10087 RING, OUTER, 1.50",SSGD,R2 CHAMBER

Tokyo Electron CT2986-401221-11 8" M/AZ Axis Cable Assembly, 1) 2986-401159-12:

Tokyo Electron CT2987-478652-11 Cable Assembly, (ACT8), Z Axis..

Tokyo Electron CT2987-478653-11 Cable Assembly, (ACT8) Z Axis

HITACHI S-TORR-31WVU REGULATOR 316 SS

LAM 716-011540-001 RING FACE UPPER ELECTRODE

Yaskawa Electric SGDH-04AE SERVOPACK Servo Amplifiers

BROOKS 5850E-N2-40L-2 MODEL: 5850EGAS: N2RANGE: 40

BROOKS 25-N2-20L-2 MODEL: 5850EGAS: N2RANGE: 20 SLPM

BROOKS 5850E-AR-20L-1 MODEL: 5850EGAS: ARGONRANGE: 20 SLPM

BROOKS 5850E-AR-30L-2 S/N: 2008S1100701MODEL: 5850EGAS: SIH4RANGE: 250 SCC

BROOKS 5850E-AR-30L-2 MODEL: 5850EGAS: ARGONRANGE: 30 SPLM

BROOKS 5850E-N2-20L-2 MODEL: 5850EGAS: N2RANGE: 20 SLPMS/N: 2007S0700103

LEESON C4D18FK2B DIRECT CURRENT PERMANENT MAGNET MOTOR

AXCELIS 17115920 Support, Aperture LINAC

AMAT 734-092038-003 O-Ring, 10-1/2ID*1/8CS CMRZ513 Outer Gas

AMAT 0050-04880 GL, DUMP, TICL4 HGL, CHC, CVD TI, BASIC

AMAT 0050-30010 WELDMENT,INTERCONNECT PUMP ASP CHR.D

AMAT 0020-47520 Focus F'THRO Insulated Spacer

DNS 2-F2-D0986 RING, DNS 200MM DIA

AMAT 0150-15007 CABLE SENSOR, WATER LEAK DET

AMAT 1951387 INSIDE PWR IN CABLE ASSY

UNIT UFC-1000-10SLM-AR MFC 1100 F.S HOR ATT VCR 1/4 ARGON 10slm

CYMER 100799 ACTUATOR REPLACEMENT

TOSOH QUARTZ 11634-0000 RING, COVER IMP B101 ARC-SPRAYED

SEEK ELECTRONICS AS-8AP1-02A GENERATOR, PULSE

Brooks BM16335 PCB, BOARD 6; PB16271; BM17015

AMAT 0200-09004 COVERING RING, QUARTZ COVERING RING /

TEL CT2985-400547-13 BOTTLE CAP (HMDS_COLOR)

IDI 231813-001 PCB Interface IDI

AMAT 1400-00102 SNSR PHOTO REFL 10-30VDC 3.5-4.0"RANGE

TEL MB3M87-025834-12 ASSY, HTR PROCESS LINE 1

DRAGER 4206078 CARD 8 CHANNEL DISPLAY

AMAT 0150-92044 CFA 8AP5/9FP1

AMAT 0226-01585 BRACKET,MANUAL VALVE MOUNT

AMAT 0100-90743 PWBA WAFER ARM LED

AMAT 679188 LAMP HARNESS EXT. (ONE)

M.Y.G. TECH LTD 0995-99625 REGULTOR PRESSURE MAX SCALE 60PSI

BOXER CROSS 40-00085 Focus Offset Board

AMAT 0227-07103 BRACKET, SMIF-ASYST PCB MOUNTING