XC4020XL-3HT144C 

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近10家公司提供6英寸产品

在ICSCRM 2013上，除了沟道型MOSFET的研究成果之外，关于150mm（6英寸）口径基板的提案也接连不断（图3）。量产SiC功率元件使用的SiC基板目前以100mm（4英寸）口径为主。随着6英寸产品的普及，生产效率有望提高，从而降低SiC功率元件的成本。

图3：SiC迎来150mm基板的东风

各SiC基板企业在“ICSCRM 2013”上纷纷展出150mm（6英寸）口径的SiC基板（a）。在SiC基板上层积外延层的外延服务也开始支持150mm。昭和电工已于2013年10月推出了这项服务（b）。

现在，已经投产6英寸产品并开始供应样品的主要基板企业只有美国科锐、新日铁住金等少数几家公司。为了改变这种格局，美国道康宁、美国贰陆（II-VI）、德国Si-Crystal等欧美企业，以及中国SICC、韩国SKC等众多基板企业都已经宣布投产6英寸产品。汇总各公司的计划来看，在2015年之前，供应6英寸产品的企业将增加到近10家左右。除此之外，昭和电工还表明，在SiC基板上层积外延层的外延服务也将支持6英寸基板。随着各公司把6英寸产品纳入视野，基板企业之间的价格竞争将日趋激烈，功率元件企业将有望以更低的成本，采购到需要的基板。

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