德国SUSS 参展SEMICON Japan2007 实机展示提高抗电磁干扰性能的探针系统

据日经BP社报道，德国苏斯微系统（SUSS MicroTec AG）在SEMICON Japan 2007上展示了具有超高灵敏度的微信号测定半自动探针系统PA300PS（probe shield）以及数字成像显微镜iVista，该系统可用于300mm晶圆制造工艺。

PA300PS是能够测定阿（Atto）级电流值、飞（Femto）级容量值、微（Micro）级电压值的半自动探针。该产品的特点在于包括放置探头的台板在内，测定器的前置放大器、开关等容易受环境影响的所有单元都得到了EMI（电磁干扰）屏蔽，具备该等级最高水平的测定精度和定位精度，可操作性及安全性都有所提高。

因为能够确保EMI及RFI（无线频率干扰）屏蔽环境，除了I-V、C-V、S-参数测定外，PA300PS还能够完成以往最尖端元件测定中的难题——脉冲I-V、1f噪声、RFC-V测定。

在此次的展示中，PA300PS将配备该公司已经上市的iVista，做为最尖端元件的特性评价系统进行演示。为了使探测进行的彻底，iVista能够显示最多8个倍率的不同图像，可保存16M像素的图像。