Nikon在SEMICON Japan推出扫描场i-line步进式光刻机新产品

NikON在SEMICON Japan上推出的扫描场i-line步进式光刻机系列的最新产品NSR-SF155，功能“强大”，将应用于下一代存储器及微处理器制造过程中非关键层的量产工艺。吞吐能力强——通过采用Skyhook技术及增加载物台速度而降低了工作抖动同时提高了吞吐量，NSR-SF155吞吐能力高达每小时200片12寸晶圆。套准精度高——套准精度可达25nm或更高。拥有成本低——尼康开发出一套系统使得客户可在NSR-150基础上升级至NSR-155。另外，在良率提高前提下拥有强大的吞吐能力，使得NSR-SF155系统拥有最低的拥有成本。