南大光电从193nm光刻胶到2019年底建成的一条光刻胶生产线

导读：7月17日，南大光电在互动平台透露，公司设立光刻胶事业部，并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”，全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。目前该项目完成的研发技术正在等待验收中，预计2019年底建成一条光刻胶生产线，项目产业化基地建设顺利。

近日，南大光电在互动平台上表示，参股公司北京科华开发的248nm光刻胶目前已通过包括中芯国际在内的部分客户的认证。

此外，南大光电透露，193nm光刻胶处于研发阶段，产业化同步进行，进展顺利。公司组建专职的研发团队，建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线，产品研发进展和成果得到业界专家的认可。成立了“宁波南大光电材料有限公司”，全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”的落地实施。工厂建设完成了所有桩基工程，重要设备的购置正在洽谈中，项目产业化基地建设顺利。

北京科华官网显示，它是一家中美合资企业，成立于2004年，产品覆盖KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂，产品打入了中芯国际、华润上华、士兰微、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等供应体系。

南大光电被视作国产光刻胶希望之一，主要有MO源、电子特气、光刻胶三大业务板块。

2015年9月，南大光电入股北京科华并对外宣称，双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。

当时，南大光电副总经理许从应表示，北京科华248nm光刻胶项目成功，为193nm光刻胶产业化提供了工程化团队与工程化技术的基础。193nm光刻胶在国际上是成熟产品，在现有基础上，通过国家支持以及北京科华和南大光电合作，引进人才等措施，193nm光刻胶产业化项目的成功是大概率事情。

根据北京科华与南大光电的计划，2016年~2017年将完成193nm干式光刻胶的研发工作，产品达到客户送样验证要求，2018年产品通过客户验证；在193nm浸没式光刻胶方面，2017年~2018年完成研发工作，达到客户送样验证要求，2019年~2020年产品通过客户使用验证，而后逐渐形成批量销售。

不过，双方的合作迟迟没有进展，直到2018年12月，南大光电宣布使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。而在该项目中，也没有北京科华的身影。

2018年1月，南大光电与宁波经济技术开发区管理委员会签订投资协议书，南大光电拟在宁波开发区投资建设高端集成电路制造用193nm光刻胶材料以及配套关键材料研发及生产项目；11月2日，该项目正式开工。

南大光电凭借30多年来的技术积累优势，南大光电先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体（砷烷、磷烷）研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目，填补了多项国内空白。2017年，南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。

通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化，南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。