ZAF定量修正方法

ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一般波谱分析或能谱分析都需要进行ZAF定量修正。

1)修正的起因因为试样中A元素特征X射线的强度（脉冲计数）k与试样中单位体积内的A元素的原子数，即A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下（如加速电压、探针电流等相同），测出的试样中A元素的X射线强度IA与纯A元素（标样）的X射线强度I(A)之比KA(KA=IA/I(A》，应该等于元素的液度CA：

KA=IA/I(A)=CA(2-8)

但在一般情况下KA并不等于CA，有时要偏离20%以上。这是由于入射电子进入试样后，要受到试样原子的散射；电子束激发试样而产生的原生X射线射出试样时，要受到试样的吸收；不同元素发射的X射线（连续X射线和特征X射线）还会使被分析元素产生荧光X射线。这一系列过程都随试样和标样的组成而变化，所以KA与CA不成简单的线性关系。要从实测的X射线强度比KA求得CA，必须进行修正。

2)修正的内容(1)原子序数效应的修正。由于试样的平均原子序数和标样的原子序数不同，入射电子在受到试样和标样的减速过程中，由卢瑟福散射而重新射出试样和标样的电子数及电子被减速（阻碍）的程度均不同，即进入试样中激发X射线的电子数与标样的是不同的。对于标样和试样原子序数不同造成的这种影响进行修正，称为原子序数效应的修正。一般说来，平均原子序数大，则进入试样的深度小，而背射电子的数目多。

(2)吸收效应的修正。从试样TS922AID.html" target="_blank" title="TS922AID">TS922AID内部产生的X射线射出表面时，要受到试样本身的吸收，由于标样和试样所组成的元素种类和含量不同，因此对X射线的吸收程度也不同，必须加以修正，这项修正称为吸收修正，在定量分析中这是一项主要惨正。

(3)荧光效应的修正。入射电子射入试样后，会产生不同元素的特征X射线和连续X射线。当这些X射线的波长比被分析元素（如A元素）的特征X射线的波长短时，会激发出A元素的二次X射线，即荧光X射线。由于荧光X射线和特征X射线波长相同，检测时无法区别，故定量分析时必须扣除荧光X射线强度，这种修正称为荧光效应的修正。

上述三种修正总称为ZAF修正，CA和KA的关系为

CA=KAZAF(2-9)

式中，Z为原子序数修正因子，A为吸收修正因子，F为荧光修正因子。