MEMS传感器应用的四个关键场景

mems传感器也是指微型机电系统，是电子设备信息技术大部分发展趋势形成的多学科交叉的尖端研究领域。mems传感器是利用电子信息技术和微机械设备生产技术生产加工的新型传感器。微型手机陀螺仪是角度速度传感器，是汽车导航的GPS信号赔偿和汽车底盘的全自动控制系统，重要的是振动式、转子式等种类。

mems传感器也是指微型机电系统，是电子设备信息技术大部分发展趋势形成的多学科交叉的尖端研究领域。经过40多年的发展趋势，它已经成为世界上最受关注的主要尖端技术之一。它涉及电子元器件、机械设备、原材料、物理、分析化学、生物、医学等各种课程内容和技术，具有广阔的应用前景。

截至2010年，世界上约有600家公司参与了mems的产品开发和生产加工，产品开发了包括中小型水位传感器、AD734AQ加速度传感器、微喷墨打印机打印机喷嘴、数据信息微镜显示器在内的数百种产品，其中ms传感器占有非常大的份额。mems传感器是利用电子信息技术和微机械设备生产技术生产加工的新型传感器。与传统传感器相比，它具有体积小、净重轻、成本低、功能消耗低、可靠性高、适合大量生产加工、一体化和智能化的特点。此外，微米量级的特性规格型号促进了传统机械设备传感器无法实现的效果。

mems传感器的基本原理。

中小型电子元器件机械设备系统，采用传统的半导体器件制造工艺和原材料，集微传感器、微电动执行器、微机械组织、数字信号处理和控制电路、特性非凡的电子元器件、插座、通讯和开关电源电路于一体的中小型电子器件或系统。它具有小容量，低成本，集成等特点。

mems传感器的关键应用领域。

一是诊疗行业。

mems传感器可用于微创手术胎儿心跳检测，检测胎儿心率是一项专业能力极强的工作，由于胎儿心率快，在每分l20-160次正中间，使用传统听诊器甚至只发生变化大作用的超声多谱勒仪，使用人力资源计数是无法精确测量的。而且具有数据信息说明功效的超声多谱勒血压值检测仪，价格较贵，只适用于极个别医院门诊，在我国、大中小医院和许多农村地区尚未普及。另外，超声振动波对孕期婴儿的作用，会对孕期婴儿造成很大的伤害。虽然检测消耗很低，但也属于不利检测范畴，不适合下意识、精确检测和家庭情景使用。

二是汽车电子设备。

mems水位传感器主要用于精确测量气襄压力、成品油压力、发动机油压力、进气口压力和轮胎压力。这种传感器采用太阳能电池作为原料，利用mems技术在原料中间制造力敏脉冲阻尼器，然后在脉冲阻尼器上扩散沉淀物，产生四个判断电阻，然后通过惠斯顿桥电路形成一个高精度的判断电阻。汽车配有mems水位传感器，包括电容传感器、压阻式、差动保护变压器式、声表面波式等。

而且mems瞬时速度传感器的基本概念是根据哥白尼的经典力学运动规律，一般由悬挂系统和检测质量组成，根据微硅质量块的偏差来检测加速度，主要用于汽车安全气囊系统、地面防滑处理系统、汽车网站导航和防盗报警系统等，除电容式传感器、压阻式外，mems瞬时速度传感器还采用了压阻式、隧道工程施工电总流量型、并联谐振式、热电偶式等方法。

其中，电容式传感器mems加速度传感器具有灵敏度高、温度损伤小等特点，是微加速度传感器的重要商品。微型手机陀螺仪是角度速度传感器，是汽车导航的GPS信号赔偿和汽车底盘的全自动控制系统，重要的是振动式、转子式等种类。应用最多的是振动手机陀螺仪，太阳能电池和太阳能电池的振动质量块被基座促进旋转时引起的哥氏效应用于传感器的角度。

举例来说，汽车在转弯时，系统根据手机陀螺仪精确测量角速度别方向盘的转动是否准确。主动在里面或两边的车轮上添加适当的制动系统，以防止汽车解决机动车道问题。一般来说，它与低瞬时速度传感器组成主动自动控制系统。

三是手机照相机领域。

在有memsDrive之前，手机摄像头以音圈电机移动镜头组的方式进行防抖(统称镜头防抖技术)，受到了很大的限制。另一种在市场上销售的高级防抖技术:多轴防抖技术应用移动光学设备(ImageSensor)赔偿晃动，但由于该技术容量大，耗电量超过智能机的负荷，不能在手机上应用。

随着微机电安装工程容量和功能损耗的提高，新升级的专业memsDrive类似于贴在光学设备背面的平面设计电机，促进了光学镜头在三个驱动轴上的移动。其防抖技术是根据手机陀螺仪的认知能力拍摄整个过程的瞬间晃动，依靠精密加工蚁群算法计算电机应该做的移动范围，并做出快速补偿。这个实际操作必须在1%以内进行，你得到的图像不会因为晃动而越来越模糊。

移动摄影机可以产生极大的省时省力，但解决复杂的地理环境，各种摄影场景，摄影又无法避免 晃动，仿佛向前走，跑，平躺，或手握手机自拍杆摄影，无论哪种晃动，凭借微型电机特有的五轴防抖，以及快速、精确控制的专业优势，都可以展现出更清晰的摄影效果。

四是运动健身跟踪系统。

在选手的日常训练中，mems传感器可以用来准确测量3D人体运动和健身，记录每一种姿势，教练可以不断分析和比较结果，以提高选手的考试成绩。随着mems专业性的进一步发展趋势和提高，mems传感器的价格逐渐下降，也可以广泛应用于人民健身俱乐部。

在滑冰的情况下，3D运动健身跟踪中的水位传感器、加速度传感器、手机陀螺仪、GPS可以让用户获得极其准确的观察能力。除了提供滑雪板的移动数据网络外，还可以详细记录用户的位置和间隔。游泳时也是如此。安装在冲浪板上的3D运动健身跟踪系统软件可以记录海洋的高度、速度、时间、浆板间隔、水温和消耗的热量。