在强制脉冲化学气相沉积制备C/SiC复合材

强制脉冲化学气相沉积法是在脉冲化学气相沉积工艺(PulseChemicalVaporInfiltration，PCVI)的基础上引入强制流动的方式，以保持在界面均匀沉积同时提高界面沉积速率，使得在较低精度控制的基础上实现快速界面沉积，从而易于获得均匀的单层界面或多层复合界面的复合材料制备工艺。

该工艺以脉冲工作方式为基础，真空状态下向反应容器中充入反应前驱体，通过管道将气体输运到模具内，强制气体流过，经过数秒达到反应所需压力，保持气体在高温反应腔内驻留数秒，然后通过真空泵将反应容器内的气体抽幽，并低于一定压力（几十至几百帕）；如此反复循环，实现强制脉冲化学气相渗透沉积界面。

在工作过程中引入强制流动的方式，可保证界面AT24C64AN.html" target="_blank" title="AT24C64AN">AT24C64AN沉积的均匀性，提高沉积效率，达到界面快速沉积的目的。

实验中采用该工艺制备C/SiC复合材料的过程如下：以甲烷(CH4)为热解碳的前驱体，1050℃时在纤维表面沉积热解碳界面；采用向三氯甲基硅烷(CH。SiCl3)中通入H2，通过鼓泡的方式，将三氯甲基硅烷蒸气带人反应腔。通过调节H2流量，控制三氯甲基硅烷浓度，以得到近化学计量比的SiC。在高温反应腔内气体前驱体发生分解及均质、非均质化学反应，在纤维表面沉积得到热解碳或碳化硅涂层。在强制脉冲化学气相沉积过程中，周期性向真空炉管内通入气体并强制流动，使之通过纤维束，然后在一定温度、一定前驱体浓度和一定压力下（几千帕到几十千帕）反应，经过一定的时间，抽真空，排出废气等气体产物，然后不断重复循环。由此可以得到不同厚度、结构的热解碳和碳化硅涂层。