Hitachi EC2-D40HRP

在PLC系统设计时，首先应确定控制方案，下一步工作就是PLC工程设计选型。工艺流程的特点和应用要求是设计选型的主要依据。PLC及有关设备应是集成的、标准的，按照易于与工业控制系统形成一个整体，易于扩充其功能的原则选型所选用PLC应是在相关工业领域有投运业绩、成熟可靠的系统，PLC的系统硬件、软件配置及功能应与装置规模和控制要求相适应。熟悉可编程序控制器、功能表图及有关的编程语言有利于缩短编程时间，因此，工程设计选型和估算时，应详细分析工艺过程的特点、控制要求，明确控制任务和范围确定所需的操作和动作，然后根据控制要求，估算输入输出点数、所需存储器容量、确定PLC的功能、外部设备特性等，最后选择有较高性能价格比的PLC和设计相应的控制系统。
    一、输入输出（I/O）点数的估算

    I/O点数估算时应考虑适当的余量，通常根据统计的输入输出点数，再增加10%～20%的可扩展

    余量后，作为输入输出点数估算数据。实际订货时，还需根据制造厂商PLC的产品特点，对输入输出点数进行圆整。

    二、存储器容量的估算

    存储器容量是可编程序控制器本身能提供的硬件存储单元大小，程序容量是存储器中用户应用项目使用的存储单元的大小，因此程序容量小于存储器容量。设计阶段，由于用户应用程序还未编制，因此，程序容量在设计阶段是未知的，需在程序调试之后才知道。为了设计选型时能对程序容量有一定估算，通常采用存储器容量的估算来替代。

    存储器内存容量的估算没有固定的公式，许多文献资料中给出了不同公式，大体上都是按数字量I/O点数的10～15倍，加上模拟I/O点数的100倍，以此数为内存的总字数（16位为一个字），另外再按此数的25%考虑余量。

    三、控制功能的选择

    该选择包括运算功能、控制功能、通信功能、编程功能、诊断功能和处理速度等特性的选择。

    (一)运算功能

    简单PLC的运算功能包括逻辑运算、计时和计数功能；普通PLC的运算功能还包括数据移位、比较等运算功能；较复杂运算功能有代数运算、数据传送等；大型PLC中还有模拟量的PID运算和其他高级运算功能。随着开放系统的出现，目前在PLC中都已具有通信功能，有些产品具有与下位机的通信，有些产品具有与同位机或上位机的通信，有些产品还具有与工厂或企业网进行数据通信的功能。设计选型时应从实际应用的要求出发，合理选用所需的运算功能。大多数应用场合，只需要逻辑运算和计时计数功能，有些应用需要数据传送和比较，当用于模拟量检测和控制时，才使用代数运算，数值转换和PID运算等。要显示数据时需要译码和编码等运算。

    (二)控制功能

    控制功能包括PID控制运算、前馈补偿控制运算、比值控制运算等，应根据控制要求确定。PLC主要用于顺序逻辑控制，因此，大多数场合常采用单回路或多回路控制器解决模拟量的控制，有时也采用专用的智能输入输出单元完成所需的控制功能，提高PLC的处理速度和节省存储器容量。例如采用PID控制单元、高速计数器、带速度补偿的模拟单元、ASC码转换单元等。

    (三)通信功能

    大中型PLC系统应支持多种现场总线和标准通信协议（如TCP/IP），需要时应能与工厂管理网（TCP/IP）相连接。通信协议应符合ISO/IEEE通信标准，应是开放的通信网络。

    PLC系统的通信接口应包括串行和并行通信接口（RS2232C/422A/423/485）、RIO通信口、工业以太网、常用DCS接口等；大中型PLC通信总线（含接口设备和电缆）应1：1冗余配置，通信总线应符合国际标准，通信距离应满足装置实际要求。

    PLC系统的通信网络中，上级的网络通信速率应大于1Mbps，通信负荷不大于60%。PLC系统的通信网络主要形式有下列几种形式：1）PC为主站，多台同型号PLC为从站，组成简易PLC网络；2）1台PLC为主站，其他同型号PLC为从站，构成主从式PLC网络；3）PLC网络通过特定网络接口连接到大型DCS中作为DCS的子网；4）专用PLC网络（各厂商的专用PLC通信网络）。

    为减轻CPU通信任务，根据网络组成的实际需要，应选择具有不同通信功能的（如点对点、现场总线、工业以太网）通信处理器。

    (四)编程功能

    离线编程方式：PLC和编程器公用一个CPU，编程器在编程模式时，CPU只为编程器提供服务，不对现场设备进行控制。完成编程后，编程器切换到运行模式，CPU对现场设备进行控制，不能进行编程。离线编程方式可降低系统成本，但使用和调试不方便。在线编程方式：CPU和编程器有各自的CPU，主机CPU负责现场控制，并在一个扫描周期内与编程器进行数据交换，编程器把在线编制的程序或数据发送到主机，下一扫描周期，主机就根据新收到的程序运行。这种方式成本较高，但系统调试和操作方便，在大中型PLC中常采用。

    五种标准化编程语言：顺序功能图（SFC）、梯形图（LD）、功能模块图（FBD）三种图形化语言和语句表（IL）、结构文本（ST）两种文本语言。选用的编程语言应遵守其标准（IEC6113123），同时，还应支持多种语言编程形式，如C，Basic等，以满足特殊控制场合的控制要求。

    (五)诊断功能

    PLC的诊断功能包括硬件和软件的诊断。硬件诊断通过硬件的逻辑判断确定硬件的故障位置，软件诊断分内诊断和外诊断。通过软件对PLC内部的性能和功能进行诊断是内诊断，通过软件对PLC的CPU与外部输入输出等部件信息交换功能进行诊断是外诊断。

    PLC的诊断功能的强弱，直接影响对操作和维护人员技术能力的要求，并影响平均维修时间。

    (六)处理速度

    PLC采用扫描方式工作。从实时性要求来看，处理速度应越快越好，如果信号持续时间小于扫描时间，则PLC将扫描不到该信号，造成信号数据的丢失。

处理速度与用户程序的长度、CPU处理速度、软件质量等有关。目前，PLC接点的响应快、速度高，每条二进制指令执行时间约0.2～0.4Ls，因此能适应控制要求高、相应要求快的应用需要。扫描周期（处理器扫描周期）应满足：小型PLC的扫描时间不大于0.5ms/K；大中型PLC的扫描时间不大于0.2ms/K。
四、机型的选择

    (一)PLC的类型

    PLC按结构分为整体型和模块型两类，按应用环境分为现场安装和控制室安装两类；按CPU字长分为1位、4位、8位、16位、32位、64位等。从应用角度出发，通常可按控制功能或输入输出点数选型。

    整体型PLC的I/O点数固定，因此用户选择的余地较小，用于小型控制系统；模块型PLC提供多种I/O卡件或插卡，因此用户可较合理地选择和配置控制系统的I/O点数，功能扩展方便灵活，一般用于大中型控制系统。

    (二)输入输出模块的选择

    输入输出模块的选择应考虑与应用要求的统一。例如对输入模块，应考虑信号电平、信号传输距离、信号隔离、信号供电方式等应用要求。对输出模块，应考虑选用的输出模块类型，通常继电器输出模块具有价格低、使用电压范围广、寿命短、响应时间较长等特点；可控硅输出模块适用于开关频繁，电感性低功率因数负荷场合，但价格较贵，过载能力较差。输出模块还有直流输出、交流输出和模拟量输出等，与应用要求应一致。

    可根据应用要求，合理选用智能型输入输出模块，以便提高控制水平和降低应用成本。

    考虑是否需要扩展机架或远程I/O机架等。

    (三)电源的选择

    PLC的供电电源，除了引进设备时同时引进PLC应根据产品说明书要求设计和选用外，一般PLC的供电电源应设计选用220VAC电源，与国内电网电压一致。重要的应用场合，应采用不间断电源或稳压电源供电。

    如果PLC本身带有可使用电源时，应核对提供的电流是否满足应用要求，否则应设计外接供电电源。为防止外部高压电源因误操作而引入PLC，对输入和输出信号的隔离是必要的，有时也可采用简单的二极管或熔丝管隔离。

    (四)存储器的选择

    由于计算机集成芯片技术的发展，存储器的价格已下降，因此，为保证应用项目的正常投运，一般要求PLC的存储器容量，按256个I/O点至少选8K存储器选择。需要复杂控制功能时，应选择容量更大，档次更高的存储器。

    (五)冗余功能的选择

    1．控制单元的冗余

    (1)重要的过程单元：CPU（包括存储器）及电源均应1B1冗余。

    (2)在需要时也可选用PLC硬件与热备软件构成的热备冗余系统、2重化或3重化冗余容错系统等。

    2．I/O接口单元的冗余

    (1)控制回路的多点I/O卡应冗余配置。

    (2)重要检测点的多点I/O卡可冗余配置。3）根据需要对重要的I/O信号，可选用2重化或3重化的I/O接口单元。

    (六)经济性的考虑

    选择PLC时，应考虑性能价格比。考虑经济性时，应同时考虑应用的可扩展性、可操作性、投入产出比等因素，进行比较和兼顾，最终选出较满意的产品。

    输入输出点数对价格有直接影响。每增加一块输入输出卡件就需增加一定的费用。当点数增加到某一数值后，相应的存储器容量、机架、母板等也要相应增加，因此，点数的增加对CPU选用、存储器容量、控制功能范围等选择都有影响。在估算和选用时应充分考虑，使整个控制系统有较合理的性能价格比。

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1：Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

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3：Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

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CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

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10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。

15： 英维斯(TRICONEX):TRICON DCS的系列，如：3805E

另外还有 雅马哈(YAMAHA), 贝加莱(B&R)， 欧姆龙(OMRON),  KEBA， 安川(YASKAWA) 等品牌的停产备件。

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SAM W22-L Pigtail Source DPU, W22-L

NEWPORT Z568C X DRIVER, 2-PHASE, SPS-D2PX, 32-132 VAC, 45-190 VDC

NEWPORT Z569C Y DRIVER, 2-PHASE, SPS-D2PX, 32-132 VAC, 45-190 VDC

Nikon 27085A PCB - SSHDRV

Nikon 30035-1 PCB - STG31

CAT 400D SERVO AMP

GENERIC Spool Panel Mount ISA 100 8" x 6 1/2" x 6 1/2", 4" ID, with 4 bolt Mo

mks 892B12PMC2GF1T Baratron Pressure Transducer surface mount

LAMBDA 9010B-9EJ-002 LAMBDA QUALIDYNE SWITCHING 1500W POWER SUPPLY, 208VAC 10A,

Generic Column Interface Box Opal 7830i

ARL 9428-364-04 PCB, P 5092

DTI 95-0288 MOTHERBOARD

PROCONICS INTERNATIONAL A0974700 PCB ASSY, I/O PORT JUNCTION CARD

PROCONICS INTERNATIONAL A0974700 PCB ASSY, I/O PORT JUNCTION CARD *COMES WITH ON

PROCONICS INTERNATIONAL A0974700 PCB ASSY, I/O PORT JUNCTION CARD *COMES WITH TW

ETE AVH20-2-PW3/4-T Teflon Valve, Type: AVE202PW34T, Air Operation, Assembly, PR

BROOKS INSTRUMENT BM26010L01 ASSY, V-STATION MTG CO-ESD 100

TOHO BXBX-303-004-OP Temperature Controller BX-303

ASYST C0093-0488-188 FAN FILTER ASSEMBLY WITH Fan Filter Unit Speed Controller

Vacuum Central CM-01-10 Transducer, Pressure, Range 10 Torr, Input: +15vdc

SANKEN ELECTRIC FBK-S102A Uninterruptible Power Supply

NEC GLG5323 Laser - 5mW Class IIIa laser, 632.8mm Wavelength

Precision Lift Heavy Duty Precision Lift Assembly HEAVY-DUTY-PRECISION-LIFT-ASSY

Hitachi HV-200BV-H2 Camera, High Resolution Vidicon Camera Head for Nikon Steppe

Hitachi HV-200BV-H2 Camera, High Resolution Vidicon Camera Head for Nikon Steppe

DAIFUKU I/O DOORS Teach pendant

BALDOR JM3107 MOTOR WATER PUMP MYDAX TCU, 208-230/460VAC, 3450rpm

BERTAN ASSOCIATES PMT-50A/P Power Supply 0-5kV @ 500uADC, came from OPAL 7830i

LEYBOLD PS 113 Switch, Safety Low Pressure came from OPAL 7830i

DAIFUKU RM/TFE/CONV. MAINT. UNIT Teach pendant

VERTEQ ST800-CC50-E2PX CONTROLLER MEGASONIC

HITACHI ZE-2AF LOW-VOLTAGE INSULATION MONITORING UNIT

GSI 2860155-507 PCB, ASP 880/200

SEMICON 300828297 HOOP

LUDL MCMSE X/Y STAGE CONTROLLER 73000500

VAT 77949-01 Seat VAT Front Slit Valve

Tokyo Electron CT011-000983-1-R Pump Teflon diaphragm

UNIT 763115-013 UNIT MODEL 1160A MASS FLOW CONTROLLER; RANGE: 3 SLM, GAS: O2; AS

DATA I/O MOS Pak E-Prom reader burner operation unknown

SYSTRON DONNER VI Frequency Synthesizer,  Untested-AS IS

KENSINGTON LABORATORIES 4000-60043-00 PCB, MOTHERBOARD 5 AXIS

GSI LUMONICS 4050000-507 SOLENOID DRIVER PCB

DNS 7-39-24566 SS Regulator

SVG 80216A-01 Coat/DEV Centering PCB

RYOKOSHA AT316500 ARM Wafer Dual, Assembly

Net Mercury NM0003-3575 TURN-ACT 032-B1083A ROTARY ACTUATOR; CA-44-90-PN-SE-ST-A

Net Mercury NM0004-2778 KIT, PM, ANNUAL, 4520 CHAMBER ***INCOMPLETE KIT***

OKAZAKI TICA7151 Temperature Sensor, Element: Pt100 Ohms, Class: A 1mA, L: C', R

YASKAWA ELECTRIC UTOPI-050SC MINERTIA MOTOR Assembly With CONNS MKII Y1 AXIS FOR

ANERIC A0105-2001-0528 Oring ID 2.109 CSD .139 KALREZ 4079 75-DURO *** 16 PACK *

AKRION 1070277.5 MOTOR, ASSEMBLY

KENSINGTON 4000-60002 & 4000-60053-rev.I AXIS BOARD

AMAT 0020-27115 HUB MOD DC BIAS DURA TTN SHUT

AMAT 0020-22838 LIFT HOOP, PRECLEAN

AMAT 716-040737-407 RING, CPLG, QTZ, W/BIAS PU, W/FLAT DEGREASE SUPLR

ACECO S33-1040A 0-15(BLASTED) BAFFLE PLATE

ROSEMOUNT INC 0115100410172 TRANS.PRESS.O-50/300 LPSIG 316SS 01151-0

ROSEMOUNT INC 0115100410182 TRANS.PRESS.0-170/1000PSIG 316SS 01151-0 ROSEMOUNT I

AMAT 0150-01706 CABLE ASSY, 40' GAS INTLK AC=IPS,BD=OTHR

AVIZA 107296-04 COLLAR,PROCESS TUBE INSULATION

AMAT 0020-21924 BLOCK, PIVOT - EXTRN SLIDE

AMAT 0020-48993 Shaft Extraction Slide, Short

RECIF IDLW DISPLAY BOARD, CARRIER ROTATION MANAGEMENT

AMAT 0020-01341 COVER, GRAPHITE

AMAT 1140-00246 PWRSP DC 5V@8A+15V@3.2A-15V@.5A 75W 85

AMAT 0021-16872 PLATE LWR HARD STOP 200MM CWXZ

AMAT 0150-22607 CABLE ASSY, DC POWER DIST PCB WL ECP

AMAT 0020-10046 Ring Outside 6" Sputter

NIKON PRECISION 4K680-193-2AN SINTETIC SILICA LAMP GROUND KBB04000-17

AMAT 0020-47836 WINDOW,LLOCK CHAM,UPPER

AMAT 5201-01609 VACUUM SWITCH

AMAT 0150-04642 CABLE ASSY, 2-PHASE DRIVER SIGNAL I/F 75

AMAT 21016404226 Supervisor Phantom Board

AMAT 3300-90339 Fitting Feed Through 19 Pin

MKS Instruments 852B-24268 BARATRON PRESSURE TRANSDUCER, 50 TORR, input +12-32 V

ZELLWEGER 1874K0402 PCB, TRANSDUCER CM4 "KIT"

UNIT 01-1200A-04500 MFC UFC -1200A 200 SCCM VCR 1/4 F.S.H. (MASS FLOW CONTROLLER

LEICA 301-305-760-000 PCB REVOLVER MOTOR CONTROL

AMAT 50304772000 EDX YELLOW BLOCK

AMAT 0040-39099 MANIFOLD GAS INLET UWAVE WXZ

SPEEDLINE 5-001139 PUMP, ONLY FRONT END WET END

AMAT 0050-53491 WELDMENT, ZDV FINAL GASLINE

BTU 4640-0006 JACKET HTR BELLOW 3 DX6 L (FNI4)

AMAT 0020-30500 Cover, Heat Exchanger

SCHNEIDER AUTOMATION INC 104 NOM 211 00 CARD NOM-211 MB+

METRICON 2000-MCG KEYBOARD INCLUDES L.C.D. S/N 2112

FURON UPRM-144-60-M 1/4 BACK PRESSURE REGULATOR (ENVOY)

AMAT 0150-01561 ECP, CABLE EXTENTION POWER CABLE FOR STE

SIGNETICS 74F151N IC 74F151 8-1 MULTI **92 PER PACK**

HEWLETT PACKARD 35677B D-PARAMETER TEST SET,100-KHZ - 200 MHZ, SERIAL NUMBER 284

Tektronix ORS2488 REFERENCE RECEIVER

Tektronix 2445A OSCILLOSCOPE, 150MHz, SEIAL NUMBER B010590

TOPWARD 6303A DUAL-TRACKING DC POWER SUPPLY, MODEL 6303A

Tektronix 2246A OSCILLOSCOPE, 100 MHz, SERIAL NUMBER B013064 WITH AT_1024 PROBE

Tektronix 2465- OSCILLOSCOPE, 300MHz, SERIAL NUMBER B013315

Air Liquide 309909-102 FLOWMETER,ANALOG,2-25LPM,SOL

ASCO B210D095 VALVE,SOLENOID

Hitachi Kokusai 3-833469-90 COVER, LOWER

Hitachi Kokusai 3-833468-90 COVER, UPPER

Kokusai 5UOT044654 Kokusai Electric 5UOT044654, Monitor, Exhaust, Unit, (DD), Co

Kokusai 5TBC012444 Kokusai Electric 5TBC012444, Meter Water Flow

Varian 4245500 Power Supply w/ Cover

Varian 4273800 Power Supply w/ Cover

DELL 9M3CYD1 POWEREDGE 1950 SERVER; CPU: TWO Intel Xeon L5320 (1.86GHz/1066MHz/8

DELL 3LLPGF1 PowerEdge 1950 Server; CPU: TWO Intel Xeon (1.86GHz/8m/1066MHz); Me

Dell 5PJ64C1 PowerEdge 1950 1U server; CPU: TWO Intel Xeon 5110 (1.60GHz/4MB/106

AMAT 0021-14347 Arm

DNS 2-39-59285 PCB, ISA P132/PO32

SCP GLOBAL 3270041C CONTROLLER,MCS,SOL.,CARD

AMAT 3510-01043 MOTT 5140-1/4-SS-100 ORF RSTR FLOW 100SCCM N2 1/4VCR-MM 30PSI 10

BROOKS BM70152 PCB, ENC ASSY XZ

Teradyne CKA73435 ILLUMINATION CONTROL CIRCUIT CARD

Teradyne CKA76992C Z STAGE & VACUUM CONTROL CIRCUIT CARD

ICP DIO-144 ICP Data Acquisition Board, 144-BIT OPTO-22 Compatible DI/O Board

Varian L6591-301 Valve, Vacuum, 2-3/4" OD, 1-1/2" ID

ORIENTAL MOTOR COMPANY PH265L-04 2-PHASE 1.8-DEGREE/STEP VEXTA STEPPING MOTOR, 5

YOKOGAWA UM350-00 DIGITAL INDICATING CONTROLLER

MURATEC HN0-N1060-53 MEC-M1A

Crestron TPS-5000 800 x 600 Isys 12" Tilt Touchpanel

Dell 87NZ0D1 PowerEdge 2950 2U Server; CPU: TWO Intel Xeon 5130 (2.00GHz/1333MHz

Panamax M5300-EX LEVEL 4 EMI/RFI Noise Filtration with Isolation Between Outlet

SuperMicro 1U Server; CPU: ONE Intel Xeon SL8TK (2.80GHz/533MHz/512MB); Memory:

KOKUSAI 5TBC012444 Tokyo Keiso METER,WATER,FLOW

TEL DS1110-311825-11 INSULATOR, THERMAL

NOR-CAL ESVP-1502-NKB-A ACTUATED PNEUMATIC VALVE;

TRITEC INDUSTRIES 030-01381- Indicator REMOTE-600 (TRITEC)

Faulhaber 4S602-251AN DC motor for barcode drive Type: 1:17.2, 22-2K

APPLIED MATERAILS 0020-35963 BRACKET CONNECTOR CHAMBER C,D

AMAT 0020-26319 INSULATOR LIGHT LID

AMAT 0040-09626 BRKT MTG, T/C CONNECTOR,ASP

LEESON C42D18FK7A PERMANENT MAGNET MOTOR

ASM 2506-505-01A PWBA PRESSURE INTERFACE

AMAT 0190-40092 SEAL ASSY, PEEK

AMAT 0100-00055 PWB, Gate Heater Control

ST BM12345R PCB I/O DISP DRVR&TTC

TI 115V-6A MOTOR GEAR 406 RPM 115V/6A

VARIAN E15000040 PCB SERIAL LOOP MAST

AMAT 0190-04286 Wasco SP129-51W2B-X/9514 SWITCH 5PSIG 1/4VCR NORMALLY OPEN

CAT 700301030 VALVE CHECK DNBO PN40 VALVE 5-60 COLDBOX

AMAT 0150-22740 CABLE ASSY, CVCF I/F TO MAIN AC EMO/CONT

BOC EDWARDS A55001048 0.12 METER PIPE HEATER FOR 40MM PIPE, 14W, 50V

AMAT 0150-96069 C.A.3X4G.P14/3X7G, 13 Feet Long

KULICKE & SOFFA 3401-1011-000-03 MOTOR, MAGAZINE HANDLER TRAY

AMAT 0020-29484 GEAR, DRIVEN, Z AXIS

AMAT 0021-22984 Clamp Diffuser Ring LL Producer SE

TERADYNE 3870-01894 NI COATED SLIT VALVE DOOR WITH VITON SEAL

AMAT 1270-00370 FS-380 In-Line Flow Switch 3.0GPM 3/8T TO 1/2T SPST 20VA, 120 VA

AMAT 0150-02494 CABLE ASSY, HEATER EXTENSION, ANNEAL CH2

AMAT 0020-52016 BRACKET, LIN. POT, Z AXIS

AMAT 0270-20042 TOOL CALIB. ORIENTER 5" SEE

AMAT 0040-83227 Argon Gas Line Assembly

AMAT 0150-00926 CBL ASSY, CH D MF INTERLOCK

AMAT 1950770 A-CENTER FOR 4 MOT CABLE ASSY WF 730/300

AMAT 21016400116 Output: 24VDC at 1.2 AMPS ANORAD International Series Power Sup

Teradyne 245653RE AC SERVO DRIVER

Teradyne 501-2922 SBUS GRAPHIC CARD

Teradyne XVR100 SUN XVR100 32MB GRAPHICS PCI

AMAT 0020-41445 Home Flag, Upper Motor

AMAT 0050-28993 GAS LINE, SINCLE LINE DROP (TOP), SLD EN

AMAT 0227-42689 CABLE COAXIAL, 79FT

AMAT 3870-01940 VALVE PNEU DIAPH 145PSI NO 1/4BW 1/8-27NPT SST10RA

ASML 06873-01 Platform Cassette Indexer

NICOLET INSTRUMENT 000-8673-01 PCB MOTOR CONTROL BOARD

AXCELIS 085051 AXCELIS WAFER PAN

AXCELIS 085072 AXCELIS HUBLESS GEAR

CAT 126318 TOP FIBER BLOCK

ST INDUSTRIES 13-1261-12 MICROMETER HEAD 1/2 PN 200-038 SVG 940 Series Micromet

MINIMOTOR 302-050.112-006 MOTOR; 16/5-76:1; LEICA 302-050.112-006

EATON 17122940 AXCELIS GRAPHITE APRETURE POST ACCEL

AXCELIS 17123020 AXCELIS RETURNING CAP TUBE (E-SHOWER)

EATON 17269290 EATON GIMBAL, SPLIT, RH, WAFER LIFT, PR

VARIAN - EATON 1744580 PLATE MAG CONTR

AXCELIS 1824060 TOOL FILAMENT GAP SETTING

AXCELIS 18S0446 VAC CASSETTE ASSY TOOL

CAT 190106-01-A 150MM AIR RING ASSEMBLY

GEORG FISCHER 199-025-233 PNEUMATIC ACTUATED DIAPHRAGM VALVE

CAT 210105003 Pump Centrifugal Housing P/N 10.MODEL D-52 HAMEITZ

TOKYO ELECTRON 2110-352512-11 TOKYO ELECTRON 2110-352512-11, NICHIAS 4500-PH, HE

TOKYO ELECTRON 2110-352513-11 TOKYO ELECTRON 2110-352513-11, NICHIAS TOMBO 4500-

ELECTROGLAS 247439-001 PCB SOLENOID I/O INTERFACE A7 EG2010 REV D

XYCARB 2552620-01 XYCARB Ceramics Quartz Door Plate

VAT 293885 SEAL KIT VACUUM (SET OF O-RING) FOR ANGLE VALVE DN 40 V2

CAT 3130301 PCB H2 B/O CONT. ASSY P/N 3130301

AMAT 313924-X2 KIT SPARES THROTTLING GATE VALVE 313924-X2 AMAT P200

BTU 3161081 PCB MOD. RELAY OUTPUT, SERIAL I/O MODULE ASSY

BTU 3161671 PCB PROCESSOR COM P/N 3161671

BTU INTERNATIONAL 3163391 V-CVD BACKPLANE GAS MODULE

YORK 36413880 YORK PUMP JET FOR CHILLERS

CAT 4-29332-01 PCB BEAM AMPLIFIER ASSEMBLY

VARIAN 4200052 VARIAN FLAT ALIGNER SEAL FLG R 2000-011SP-23 BA

TERADYNE 464-866-00 PROBE FIXTURE RING, 23065 TERADYNE

HABONIM 46666MCTET0P250G24 BALL VALVE; BALL: 316, BODY: CF8M, SEAT: PCTFE K2655,

LFT 49-01-12-00 PCB EPC BIN P/N 49.01.12.00

CAT 49-03-02-00 PCB I/O BOARD P/N 49.03.02.00

NIKON 4S020-052 PCB INTERMT TYPE 4S020-052

KLA-TENCOR CORP 500-900778-00 PCB Z LIMIT SENSOR KLA

CAT 500100027 IMPELLER MAGNET HOUSING #551A11400132-0

CAT 515-028682-002 PLATE-TOOL-GAP

ION SYSTEMS 551000166 TRIAC MC15A10 15 A 800V

CAT 551031129 IDI CAPACITY SENSOR CALIBRATION PLATE

CAT 551208914 REFLECTOR GOLD MIRROR ASSY

CAT 551264699 KIT AUTO CLEAN NV10-160 (V 20)

CAT 551500296 KIT SEMI_ANNUAL CONSUMABLE SPARES 150mm ETS SIGMA / SPT51500

PERKIN-ELMER 690-0755-001 PERKIN-ELMER A101 P.C. BOARD MODEL PMA 661HT

CAT 6917-0076 Anode Unit, 4MM

LAM Research 710-17032-1 PCB. RF SENSE LAM 44xx/45xx ETCHER

CAT 715-10212-3 DISC, CALIB. CHAMBER

LAM 853-032081-101 Heater for Gap House, 120V, 350W

LAM 853-221845-080 LAM ASSY POWER CABLE 80FT

LAM 853-221846-080 LAM ASSY POWER CABLE 80FT

VERSATEST 91019-01 VERSATEST / HEWLETT-PACKARD TEST SITE CONTROLLER; VERSATEST V

CAT 98-398-002 PCB, UCN-2, UCN4808A

TRIKON TECHNOLOGIES A89669C01 ARM HAND AID ASY (FOR ROBOT)

SCAIME AG50 C3 SH 5E U Single Point Load

TELEDYNE B-14082 PC BOARD PROPOR.TEMP.CONTROL C-14449 FOR

CAT B-34437 FLAME GUARD & ANODE POWER SUPPLY

TOKYO ELECTRON B31D86-003683-19 TOKYO ELECTRON, SENSOR, PC, PC1, TMP BACK PSW

KLOCKNER-MOELLER CD-22 KLOCKNER-MOELLER FEEDER UNIT

Walther Werke CEETYP-460 SOCKET 380V 3PH FLUSH MNT D RED 5X63 ANG

AMT CVA40 KIT, NARROW GAP .P5000 PILOT TOOL

ENTEGRIS DHT-00-03-000 Dispense Head NH4OH 228-0102 F6

Teledyne Energy Systems ES-551A1400018-01 Matrix Barrier

SHIBAURA G-200P SHIBAURA ELETEC CORP G-200(P) O-RING

TPI HSH250-16 250-W Maximum Power Supply; ADJ TO 45V, 115/230V~, 5.0/2.5A, 60/50

PROBE TECHNOLOGY LB-140 BOX PLANARIZATION SYSTEM MANUAL

KOGANEI MRSP25X600-KL-1014W KOGANEI AIR CYLINDER

KOGANEI MRSP25X600-KL-ZE155A2-1014W KOGANEI AIR CYLINDER

PRECISION DIGITAL PD720CT MODULE PRECISION DIGITAL METER TEMPTRONIC CORP

MICRO MOTION PI-4-20 PROCESS INDICATOR, PI 4-20; DIGITAL CONVERTER FOR INDICATIO

TESCOM PV65-3404-087 PACKLESS VALVE PNEUMATIC ACTUATED NORMALLY CLOSED, 70-PSI A

RK INDUSTRIES RK-AOV VALVE N.C. POLYPROPELENE 1/2 FOR BYPASS

CAT S-3503 SHIELD RING; SHEET FLANGE, CATHODE (CONV Ti)

SHIMADEN SR20-405I-4412-NL784P0 CONTROLLER PH MODEL SR20

COX T632 PCB SIX CHANNEL CAPACITIVE SENSORS

SIEMENS U-05T OUTPUT RELAY MODULE

USHIO USH-205S USHIO SUPER HIGH PRESSURE MERCURY LAMP

CAT VMB-04-T5060-FG-20714 LOW VAPOR PRESSURE Source STICK TYPE 4

POTTER SECURITY VSRD-EX SWITCH FLOW VANE TYPE 4 EXPROOF 4 LINE

CAT WP50427 DEP. MOD. SCS SPARES KIT

CAT 138589 LINER SUCTION D1.5 VRA 102 PN 13858

KSI 150027 Divider PCB Assembly

ELECTROGLAS 244863-001 PCB ASSY NCES

LEICA 301-305-246-000 PCB OUTPUT STAGE PN: 301-305.253-000 LEICA ERGOLUX2001039

ELECTROTECH PCB Switch Assembly and Power

LTX CORP 551232100 LTX CORP. V/I DIGITAL

LTX CORP 551232101 LTX CORP. CONTROL BITS

LAM RESEARCH 551363280 ELECTRODE UPPER (POLY) ** RE-ANODIZE** A LAM 44xx/45xx ET

CAT 600.0070.3 FLQ 600.0070.3, PCB LIGHT CONTROLLER

PERKIN-ELMER 690-0725-004 PERKIN-ELMER A22 P.E. PCB ASSY

AG ASSOCIATES 7100-5141-02 AG ASSOCIATES PC CONTROLLER

Aviza-WATKINS JOHNSON 900859-001 PCB SENSOR CASSETTE-CIRCUIT CARD A. WATKINS J

BRUCE 3161111 BTU ENGINEERING CORP. 3161111, RELAY OUTPUT MODULE ASSY

HEWLETT PACKARD 98624-66501 HP98624A HP-IB INTERFACE CARD

CAT 99-142-001 PCB ADIS-1 TEGAL 915

TRITEC INDUSTRIES E55237 PCB PUMP CONTROL TRITEC INDUSTRIES

POWER PAC EP8CC-05-OV POWER PAC EP8CC-05-OC M77 LINEAR POWER SUPPLY; INPUT: 208V

POWER PAC EP8CC-36-OV POWER PAC EP8CC-36-OV M77 LINEAR POWER SUPPLY; INPUT: 208V

WESTINGHOUSE FF4-16 CONTROLLER PRESSURE COMP E-220 N 14862

PARTICLE MEASURING PMS-592F-4 PCB, Board Read Out Controller PMS, Particle Count

CAT 113368 OPTICAL BRIDGE ASSY TEL 1007 PROBER

CRYSTAR COMPONETS 78103 S1C HEAT BARRIER

PROMETRIX 54-0049 PCB, PARALLEL I/O, UV 1250

ASML 6010 SVG CHILL PLATE 150mm

LAM 716-032119-004 Quartz, Boffle, 150mm

CAT 8767-1 CCD CAMERA PRU/OCR FOR MODEL 2001CX

POWER PAC EP8CC-15-OV POWER PAC INC. LINEAR POWER SUPPLY

TRIKON K76250 AL DEP Shielding Kit K76250/03

EATON ZS52-9004 EATON DOOR MOTOR ASSY BUHLER

CASTER MTA4951T2 Pump Head MAG Drive, SS Unsure if has been repaired

DNS 5-39-05896 Manifold Pneumatic Teflon Vavle (3), MAIN 0-0.3MPa, OPERATE: 0.3-

SEN CORP 6400162 Power Supply +/1 15VDC--not in original packaging

COSEL UAW500S-24 POWER SUPPLY, 24V

AMAT 70431111000 PNEUMATICS - FITTINGS

AMAT 0050-20337 GAS LINE CHAMBER 2 (PROCESS) MFC 9VCR

AMAT 0760-98001 COUPLING, FLEX. 17/19MM BORE

AMAT 0140-35603 HARNESS ASSY, MWAVE PWR SUPLY INTFC W/RE

AMAT 0224-45007 CABLE EMO,REMOTE TO PUMP, 70FT

AMAT 3400-01081 Hose Flexible 5/8 I.D TEFLON & CARBON SST Braided Inlet, 5 feet

AMAT 1400-01340 SNSR CAPAC PROXIMITY 6MM PNP-N.C. NON FLUSH MOUNT PTFE

AXCELIS 17123000 Graphite Liner E-SHOWER

Maxon Motor GmnH 136143 MOTOR EC 040 070 45EAA200A

GREENE TWEED 9268-SC520 O-RING DSQ LOWER QUARTZ WINDOW CHEMRAZ

AMAT 0020-79345 Bracket

AMAT 0020-91245 RING, COVER C3.0 TI,CLEANCOAT

SCP 00046488-00 ARM, WAFER COMB 8" STANDARD CARRIER

AMAT 0190-11998 THERMOCOUPLE ASSY, EBK CHAMBER

GEMU 617/15 /D 7 VALVE; K-5126

PERKIN-ELMER 851-8520-033L PCB Stepper Motor Driver

PERKIN-ELMER 851-8520-003M PCB Stepper Motor Driver

PERKIN-ELMER 851-8520-003G PCB Stepper Motor Driver

PERKIN-ELMER 851-8520-003A PCB Stepper Moror Driver

ALBATRONICS 10-001-01-10D PCB Analog Module Board

S.C. LASER SERVICES 0382-0200 OUTPUT COUPLER (FRONT OPTICS)

AMAT 0140-01144 Harness Assembly, RS232, WFR Loader Interconnect

AXCELIS 0303-0073 SCAN CHANNEL AMPL, 0342-1187-0001

MKS 4630-1006 HEATER JACKET, 120V 70W 0.58A 50/60HZ / 100V 48W 0.48A 50/60HZ

ASM 02-81486 TIB139, 240V MAIN S FILTER ASSY

AMAT 4250040 PRESSURE SWITCH (LARGE); 0.5-80 PSI, 160-PSI PROOF PRESS., 0.034-5.

AMAT 1700034 PWR SUPPLY +/-12V/50W

MIZAR INC 601259-01 PCB, CRT CONTROLLER

AMAT 0150-97622 CABLE ASSY, WATER LEAK, EQUIPMENT RACK,

AMAT 0225-98347 LEFT REAR PLATE FOR EXTENSION FRAME

PHOENIX CONTACT IBS AI 3 INTERBUS-S ANALOG INPUT 4-CHANNEL, 12-BIT; MODULE ID: 7

CAT 235001156 GEAR INPUT FOR REDUCTOR NO 239

AMAT 0020-29481 GEAR, DRIVER, X AXIS

AMAT 0020-28362 RETAINER,BEARING,INNER

AKRION 00011840-00 Cylinder. Lid Actuation .E200. Green Dry PVDF 740

AMAT 3870-03451 VALVE, PNUE 1/4"I, 1/8 RPT ACTUATOR

AMAT 3870-03452 VALVE, 1/4" MANUAL

AMAT 1040-01188 METER FLOW LIQ 3%ACC .1-2L/MIN SI TREATE

AMAT 0242-23580 KIT, CHAMBER, TOP SOURCE INTEGRSATION

ASM 04-323035A02 KIT-ENCLOSURE-WHC-O-RING SET

DNS 2-F3-84070 ARM, IND-A, ALUMINA

DNS 2-XZ-11319 GUIDE, INDEXER CENTERING

ORIENTAL MOTOR 2RJ4GB-A RECEIVABLE MOTOR

ORIENTAL MOTOR 2SK4GN-A MOTOR

SPM 3270351A-00 CONTROLLER.MCS-E, ELECTRICAL EXPANSION

DNS 7-39-34039 SEQUENCER, A3NMCA24R,MITSUBISHI

LAM 796-010692-002 BELLOWS, VAC SLOT VALVE NITR

LAM RESEARCH 796-098655-002 KIT, CLEAN, PENDULUM, VALVE, DN250; 317774

DYMATRIX AVPVM-F25IF1 VALVE, MANUAL PINCH AVPVM-F25IF1

VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT E32000044 KIT, SEAL VAT VALVE

APPRECIA TECHNOLOGY INC MPV14HP VALVE, 4DIRECTION,AVMPV14-2P11IF01

TEL SH5M017T1 16 NOTCH FILTER HOUSING

DNS 5-39-12806 COVER, DRIER SPIN (ASSEMBLY)

LAM RESEARCH 713-031390-001 RING, UPR GAS DUAL FEED 200MM

RECIF IDLW DISPLAY ASSY, ANF UP/DOWN ALIGNER

AMAT 0020-09687 PLATE XFMR CLAMP

AMAT 3470-00004 Plate, Slider, Spindle

SEMIGAS SY-2004 PGI-PURGE GAS INLET-MODULE (DPD - SYCOOM SEMIGAS, GAS SYSTEMS

GASTECH 24-0130B PCB ANALYZER MODULE ALLOY

LINDE AG 700101037 SLEEVE SHAFT FOR GEAR COMP E-340 80/68/5

LINDE AG E-340 Retainer Oil for Compressor E-340

AMAT 0140-20032 HARNESS ASSY, CHAMBER DIST. CONTROLLER

LAM 715-802293-013 COIL, OUTER 13''O.D

AMAT 3870-00684 VERIFLO 45800986 VALVE PNEU NO DM(S) DIAPH 2P 5RA

AMAT 0150-07566 CABLE ASSY., RF SOURCE GENERATOR I/O INT

AMAT 0020-26496 GIMBAL ROD, 300MM TITAN PROFILER

AMAT 9150-01234 PRA45 3X4D.P6/3X7C

AMAT 0150-00984 CABLE ASSY, 50FT REMOTE VIDEO

FAULHABER 3557K024CR MOTOR, ORIENT FLAT FIND,

VARIAN E17181110 SLEEVE, ELECTRODE GROUND DECEL END STATIO

Air Liquide 309909-004 FLOWMETER,ANALOG

AMAT 0020-83569 SCREEN,SIDE (ENTRY TUBE)

AMAT 0140-77118 HARNESS, PAD COND 1, ENC

AMAT 3700-02569 O-Ring ID 6.234 CSD .139 KALREZ 2037

HITACHI 567-2646 FUJI SEIKI 1100204; VALVE, AV-5

Mitsubishi AY51-UL Output Module, 32 Point Triac Sink, .5A, 12-24VDC

FUJIKIN FPR-SDTB-71-6.35-6 FPR-SDTB-71-6.35-6; VALVE, AIR OPERATE KU1970

EATON 1505430 PCB SPEED CTRLLR ROT DRV BD

UNIT UFC-1210A-20SLM-H2 MASS FLOW CONTROLLER; RANGE: 20LM, GAS: H2

KENSINGTON LABS 4000-60002 & 4000-60053-rev.I Z-AXIS BOARD

KENSINGTON LABS 4000-60002 & 4000-60053-rev.I Z-AXIS BOARD

KENSINGTON LABS 4000-60002 & 4000-60053-rev.I ARM AXIS BOARD

KENSINGTON LABS 4000-60002 & 4000-60053-rev.I WAIST AXIS BOARD

AMAT 1950203 DET VIDEO 1 CABLE ASSY

AMAT 1270-00711 SW PRESS 0 TO 1MPA 1/4URJ PNP 2DO+1AO 3M

AXCELIS 4531800 CHAMBER, ARC

AMAT 0020-28981 HOLDER, WAFER, TEACH PASSTHRU, MESA HVM

AKRION-SCP 34210-00 vane caps (pusher block);COMB SET OF PUSHER BLOCKS, 25 SLOT

AMAT 3700-03930 O-Ring, 8.734IDX.139 8575, KALREZ

AMAT 0035-00029 Crank Coupling, Left Machining

AMAT 0270-02967 ALIGNMENT TOOL,PLATE IDE HARD LIMIT

AMAT 0150-04398 CABLE, SHELF #5

AMAT 3020-90022 *CYLINDER AIR DOUBLE ACTING

VAT 84430-R1-0014 VAT VALVE ACTUATOR

AMAT 3400-00365 HOSE 25D - MANIFOLD/SCAN FLOW

AMAT 3400-00366 HOSE 25D - MANIFOLD/SCAN RETN

Tokyo Electron TEL D112647 Shield, Ring Heater 150mm

AMAT 0150-03318 CABLE ASSY, VME SBC SERIAL DIST.

AMAT 0140-00988 Harness Assembly., Pump Rank Panel Interlock E

AMAT 0040-80732 BEAMLINE WATER MANIFOLD

Tokyo Electron (TEL) 3D10-253020-11 CEL, OX T10-76.5 C912, 7YCS9MM-02011

MATTSON TECHNOLOGY 3014-19 C-TEMP RTD 9IN ASSEMBLY W/HUPVC TW303 0-150C MATTSON

RECIF IDLW DISPLAY BOARD, PORT PARALLEL/SERIAL

AMAT 0020-08311 SHUTTER,MRS

AMAT 0020-29476 BLOCK, BALL SCREW NUT

AMAT 0140-00060 HRNS PWR CORD HEATER CONTROLLER

NOVELLUS 15-00870-04 ARM, TRANSFER, R.LEFT

AMAT 0020-62669 SHIELD, APERATURE, B/S SPUTTER

ASM 02-35041 ASSY, (WT) Y MOTOR COIL

TUTCO 16KW 148397 HEATER, TUTCO 16KW SST 22.0X18.0

OERLIKON 939-10010-02 DC MICRO MOTOR, ENCODER & BALL BEARING

ACTUATECH B4025-TEAS-NO VALVE, 1/4" AIR OPER BALL SOCKET WELD TUBE ENDS

TEL CT1380-002048-13 FILTER, AIR DUV MARK 7/8

TEL DS1105-302133-51 QUARTZ PEDESTAL BASE

TEL DS2110-355609-11 PANEL HEATER, .2110355477 TYPE

VARIAN E18006360 RING, CENTERING, 200MM

NIKON LB1001-501269503-46174 BRIDGE LAN for Nikon

USHIO MIG BA0251 LAMP, ASSY HALOGEN 9000

HAMAMATSU R2255 PHOTOMULTIPLIER TUBE

ASM S01-16044 ASSY, Z MOTOR 889A (BH)

GSI 151458 PCB, PERSONALITY TRAY TRANSP REPAIRED

LAM 716-801306-008REV.C LINER, 2300 OXIDE DUAL GAS 2.0

AMAT 0150-20642 CABLE ASSY EDWARDS CH C. INTC

AMAT 0020-24139 CRYO SHIELD HEATER

DNS 2-AE-J0186 RING, SHOWER FOR SPIN SC SK20

THERMALOGIC 121-336 RA2015-03A TEMPERATURE CONTROLLER BOARD

AMAT 26-82870-00 COVER,OUTPUT SIDE

AVIZA 600052-01 VTR- ASSY,PCB,RAM