SIEMENS 6ES5-685-0UB12

应用变频技术节能效果明显。由于变频器直接改变电源频率而改变电机转速，没有额外机械损失，我们知道，在应用最广泛的泵与风机类型的负载中，流量与电机转速成正比，压力与转速平方成正比，而消耗功率则与转速立方成正比。当流量由100%降至80%时，则消耗功率降至15%，即使考虑到风机或泵的效率降低，变频器本身的效率，以及其他因素，节能率也将达到30%以上，而在实际应用中，考虑到风机或泵的余量以及负荷变化的范围，节能效果一般可达到30%一70%.因此，节能效果非常明显。变频器调节平稳、准确。

　　对于流体，为了调节流量，通常采用阀门或档板，实际流量小于额定流量，此时节流损失往往很大，而当流量很小时，除了节流损失以外，阀门或档板往往开度很小，很容易造成管路振动或流量抖动。而对于象给粉机、给煤机等设备的控制通常采用机械变速、电磁变速甚至不变速等方法，往往存在调节不线性，调节不均匀等问题。采用变频器技术后，由于直接改变电机转速，运一转平稳，调整准确。变频器可靠性高，故障率低，减少设备事故。在锅炉给粉机中，以前采用滑差电机调速，经常发生故障，影响了机组安全运行，采用变频器技术后，由于取消了滑差电机，拆除了最容易发生故障的部件，使得整体可靠性大大提高。

在采用调节阀控制液位时，这种来油量的干扰会导致原油缓冲罐的液位有较大的波动，也就是说液位控制回路的余差变大，远远超出了工艺要求的范围。在此种情况下，虽然可以通过增大比例作用来克服这种不利情况，但增大比例作用的副作用会使控制回路的稳定性变差，严重时发生等幅振荡甚至发散振荡的情形。采用变频器后，可根据系统的运行情况，适当改变变频器的〔加速/减速时间设定〕选项，当加速/减速时间设定得较小时，受控变量（液位信号）有一个小变化，变频器的输出信号就有较大的响应。反之，当加速/减速时间设定的较大时，变频器的输出信号响应会比较缓慢。

　　根据上位机从下位机上得到的实时液位曲线，利用经验法很快就可以完成控制回路IPD参数的调整。采用变频器和提升泵的组合来代替调节阀来控制缓冲罐的液位后，系统抗干扰能力得到加强，鲁棒性也得到进一步提高，彻底消除了因来油的扰动而造成的液位大幅波动现象，控制回路的各项性能指标一最大偏差、回复时间和余差都得到了较大提高。

　　改造后的控制回路取消了气动薄膜调节阀，节省了气动薄膜调节阀的投入费用；由于变频器的引入，提升泵的运行状况得到了较大的改观，检修周期也大大地延长，节约了提升泵的维修费用；而且采用变频器后，提升泵会根据缓冲罐液位的变化情况来变频运行，节约了大量的电费，取得了可观的经济效益。从系统改造至今，系统一直正常运行。实践证明这次改造是成功的，随着变频器性能的不断发展和完善，变频器的应用也越来越广泛。联合站液位控制系统的改造是诸多成功应用实例中的一例，希望这项工作能对国内同行有一些启示和帮助，为推进变频器的应用起到一定的作用。

原机床中，变频器和机床控制系统要进行实时通讯，传递运行信息.解决好新变频器和原系统的通讯，成为改造成功的关键。通过分析原系统的电路组成，信号走向，接口关系，设计新的电路，满足系统控制逻辑。特别是在新电路中，在MF-9的外部停止控制端子2P19接入冷却水控制逻辑，在冷却水未接通的情况下，变频器不能运行，以防止磨头在无冷却的情况下运行而烧毁，达到保护磨头的目的.设备安装好后，根据电主轴的电气参数，设置好变频器的额定频率、额定电压等参数，根据工艺要求设定好输出频率、加减速时间、补偿等参数这些参数一定要符合设备要求，否则，轻者加工质量不合格，严重的还要烧毁磨头。经过以上改造，磨头运转良好，可完全满足工艺要求。因此，又陆续改造了几台ACOM变频器。

　　在这些MF9变频器的使用过程中，有1台变频器出现额定频率只能设在300Hz的故障.经检查，外部线路正常，故障应在设置存储电路.为了应急生产和节约维修费用，尝试着采用频率编码来设定变频器的输出频率，将内部接线端子的2P9、2P8、2P6、2P5短接，则设定输出频率为1500Hz.实际运行变频器，可以使用，检查工作频率正好为1500Hz.通过对机床线路进行改造设计，投入使用后机床运转良好，而且由于采用了大容量的变频器，消除了改造前常常出现的非故障性跳闸，提高了机床的工作稳定性。为进口设备备件国产化的研究工作积累了一些经验，目前已改装6台变频器，每台变频器减少投入19万元，节约维修资金110余万元，这一技术在同行业或高精制造行业中有广泛的应用和推广价值，具有显著的经济效益和良好的社会效益。

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【主营产品】

1：Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

2：Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的最现代化的容错控制器。

3：Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

6：ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

7：Siemens(西门子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens数控系统等。

8：Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9：XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。

KENSINGTON 35-3700-1725-03 Robot XYZ with M4000 

AMAT 50709337100 MVA Y

AMAT 0040-07962 RING, CLAMP, LOWER, 200MM, LTE/E-CLEAN

AMAT 0010-39338 200MM SWLL LLA SINGLE SLOT WAFER LIFT HO

AMAT 0010-40256 LIFT ACTUATOR ASSY, E-CHUCK

AMAT 0010-40296 ANTENNA-DOME ASSY,DOS,MARK IV,CHAMBER

NOVELLUS 15-120948-00 CYLINDER,SOURCE,DFE

AMAT 0190-77284 NOVA CONTROL UNIT

SMC Dual Chiller INR-341-42A Chiller-Heat 

HEATEFLEX CORP LHM-1-07-C-A00-93 ULTRA-PURE FLUID HEATING/HEATER,VOLT,20S AMP,

INFICON J3TF34B04631 Transpector CIS2 ResidualGas

AMAT 0090-35771 Gas Heat Exchange Assembly, Tantalum

AMAT 9240-02836ITL EXTRACTION LIFT ASSY/LOCKNLOAD

NOVELLUS 02-127707-00 ASSY SYS CONT P166-64-24V

AMAT 0224-49143 LFC, .2G/MIN

AMAT 0242-37433 KIT,RETROFIT CORR RES 200MM EMPAK CASS H

AMAT 9090-01095 FI CONTROL CHASSIS

EBARA J2-12SLOT CMP VME Controller J2-12SLOT (2) AVME-352, (3) AVME-510, (3) UV-

AMAT 0100-01543 PCB, ASSEMBLY, I/O CONNECTION, ECP

AMAT 0227-95226 WEIGHT, 200MM CASSETTE, CLAMPING

AMAT 9010-01157 EXTRACTION ROTATE/SLIDE MECH

AMAT 0242-15018 KIT,IS,CONS,PLANAR,200MM 

AMAT 0040-60593 LASED, PEDESTAL, 200MM, JMF SMALL FLAT D

AMAT 0010-01368 COVER, LID PLTE ASSY, SACVD, DXZ, FLUORI

AMAT 0190-02815 WELDMENT, POST HEAT W/SHUT OFF VALVE, 30

AMAT 0500-00192 MAIN CONTROL 

AMAT 0500-00277 HELIX IS CONTROLLER 19" RACK

AMAT 9240-06151 KIT, OPTION SDS ASH3/PH3, 4 TOR

DNS SSW-629-8 Scrubber

AMAT 9240-02836 EXTRACTION LIFT ASSY/LOCKNLOAD

AMAT 0190-10680 BALL SCREW & RECIRCULATING BALL NUT REPL

AMAT 0040-48339 Faceplate, Dual Gas, 200MM TICL4 TIN

ULVAC CRYOGENICS,INC. C30ZR COMPRESSOR UNIT, MODEL NO.C30ZR, SERIAL NO, CS1274

AMAT 0010-a7810 UV 

AMAT 0090-91510 ORNT 

AMAT 9010-02159 EXTRACTION ROTATE/SIDE 

AMAT 0190-05276 CDO,LWR DOUBLE SECONDARY-TOWER,C-276

AMAT 0010-A0208 IPM 

AMAT 0195-00185 HV ESC 

AMAT 0040-40865 

AMAT 0010-76340 ASSY 6" 

AMAT 0020-88831 

AMAT 0040-35851 Pedestal, ESC 195mm, Flat, DPS Chamber

AMAT 0040-91670 PLATE, TILT 

AMAT 0242-37454 KIT,BASIC GAS BOX,

AMAT 9090-1265ITL DECEL PSU -6KV 

Advanced Energy 3150852-004 RF Generator, VHF 2060, 208VAC 

LAM RESEARCH 853-031685-001 LAM 9600 

RIETSCHLE VLT 10 Process Vacuum

WJ WJ-TEOS958CRS TEOS Delivery 

MKS Vacuum Gauge Calibration and Verification 

VARIAN E11054660 ASSY

AMAT 0040-90122 PLATE

MRL INDUSTRIES 4600819112 REV 2 CORE, BLACK MAX FURNACE 

AMAT 0195-01051 BOARD ASSY DSG

AMAT 1120-A0150 LENS-OBJECTIVE

AMAT 9090-01181ITL AMAT Implant Controller CHAS PLASMA FLOOD (AR) DC DAQ, 9090-0

NOVELLUS 27-251604-00 TURBO PUMP TMP 2000L

NICHIYO ENGINEERING CORP. 07030 UNIT OZONE KILLER, MODEL KCM-480G , 07030

HERAEUS 44798 PLATE, DISPERSION, QTZ RECIRC, SULFURIC, 9400

AVIZA 602783-09 SVG-Thermco VTR ELEMENT, HEATER, AVIZA 602783-09

AMAT 9240-00172ITL END EFFECTOR & MAPPER 300

CANON KBB05622 6 INCH RETICLE STAGE

SINFONIA SSM-2075BGMS-C SUMITOMO CYCLO DRIVE CNVX-4105-LB-11 WITH SHINKO SS-SERV

AMAT 0190-01905 CONTROLLER

AMAT 0020-48892 CLAMP RING, 6" SMF, AL, EE 2.00MM, 4TABS

VARIAN E11001000 

AMAT 0020-02126 BELLOWS SEAT, BOTTOM, REV. 5.2 HEAD

AMAT 0227-01117 WLDMNT, DUAL VALVE, FEM/FEM

AMAT 220550586 V18 

AMAT 9090-01265 DECEL PSU -6KV QUANTUM X

LAM 853-012600-102 INDEXER,REC,W/ENCLOSURE

TEL MB3S80-000332-11 ROTARY, DRIVE FEEDTHRU; 447-21765-00; C24707 52-132058B

AMAT 0190-35798 16 CHANNEL 

AMAT 0040-98210 Assembly

AMAT 0020-12396 TOP PLATE HEATER ECP ANNEAL 300MM

EBARA A10S Multi-Stage

AMAT 0041-05535 Liner, Cathode, Direct-Cooled, Baffle Y2

AMAT 0090-A9920 IPU 2.4Ghz DR200 

AMAT 0100-00777 PCB

AMAT 99DE0044000 

AMAT 0020-13814 200MM BLADE W/WAFER POCKET MC-ROBOT P5000

AMAT 0040-80413 RING ASSY,CHAMBER SEALING - QX

AMAT 0010-92537ITL ASSY DUMMY CASSETTE (300)

AMAT 21016404386 Amplifier, 50V,Y 

TEL ES1D80-001291-13 

AMAT 0190-01553 TBV DRIVE ASSY, THROTTLE VALVE 15:1 GEAR

AMAT 3870-02202 VALVE AIR-ACT HEATED INJCTN 1/4VCR-M/F SST

AMAT 0200-35234 Susceptor, SGL, R3 Rot, EPI, 150MM, 9.7"OD X 15"THK

AMAT 0100-01329 PCB ASSEMBLY

AzTECH TL-10RU GENERATOR, RF

AMAT 0010-23172 ASSEMBLY, TOP MATCH, 200MM

AMAT 0010-75277 Cassette Assembly LLA (PA200-79MDT) 

BROOKS 002-7200-21 

AMAT 0190-70079 COMDEL CPS-1001 60MHz 1kW RF 

DNS 2-VC-28690 

ASM 2587610-01 DOOR, PROCESS ASSY LP-BR-SS

AMAT 9010-01576 

AMAT 9240-01256ITL KIT OPTION SDS BF3 GAS

AGC ELECTRONIC AMERICA GP1104 SIC BAFFLE HOLDER- Silicon 

EBARA 2009151CMP 

Newport MM4006 Motion Controller, AC Autorange 100-240 Vac, 47/63Hz, Input: 600V

NOVA ELECTRONICS 0190-77284 NovaScan 840 Nova

SDL 82-00048 Fiber Laser Industrial 

AMAT 0040-05528 ADAPTER ELECTRA, IMP OU

AMAT 0010-09337 AMAT 0010-09337, 200 MM Lamp Module, IMF, ASSY, for CVD 5000

AMAT 5075-98008 LOADPORT,REV 5,300mm,26 

AMAT 9010-02083ITL X-CRIPP 

AMAT 0190-06212 

AMAT 0190-09427 

AMAT 9090-01274 VAC B/L CHAS (EDWARDS GAUGES)

AMAT 9010-01460 LEYBOLD 800120V0002 ASSY

AMAT 0240-30643 PIK, Wafer Lift, REV 1 Ceramic, 200 MM

AMAT 0040-08917 

AMAT 9090-00442ITL 

AMAT 0200-35183 SUSC. TOS R3 ROTATION 150MM, EPI

AMAT 0150-01038 

DNS 2-AE-J0132 ASSY, HP RIGHT SK2000

AMAT 0222-41508 Retrofit 2nd W

AMAT 0100-89004 PCB

AMAT 0010-10521 ASSY, SABPSG 8" T1SABB 

AMAT 0010-A3840 Assembly- Temperature 

AMAT 0010-76413 8" Quartz

AMAT 0100-09254 PCV 

AMAT 50409140100 Bent Light Guide-YAP

AMAT 50490536000 CK T/N 536 

AMAT 0010-A8230 PBS ASSY

AMAT 0021-00271 

AMAT 0200-00715 

AMAT 0226-41807 WELDMENT,2 VALVE MANIFOLD,APTECH,10RA

AMAT 1140-00538 PSU G3 TO SPEC 0190-24145, Series KL, Input: 208V, 48-63Hz, 1 Ph

Teradyne 802231 Z-Stage 

AMAT 200P-CASSETTE-ALIGNMENT-TOOL CASSETTE ALIGNMENT TOOL AMAT 

BRADY MGL Label and Sign Maker 3, Rated: 100-240V~, 50/60Hz

EBARA A30W Multi-Stage 

AMAT 0200-01001 HOOP V2,CENTERING, 200MM IBC,SF3 ECP

AMAT 3870-02345 VALVE THROTTLE BTFL FACE SEAL W/KF 40 FLANGE

TEL B2ME-06-7211 BIPOLAR ESC; CDE-80N

SHIBURA SHA1852G-1 SHIBAURA SHA1852G-1 ESC 

TREBOR SS95-X SURGE, SUPPRESSOR SS95, ALO1636

TEL (FSI) 924228-002 ASSY,MOTOR/GEARBOX,RIGHT ANGLE ( TF924228-002 ) AC 

MEGATEST Q2/62 Test System Wafer 

AMAT 1950094 "CABLE,X AXIS,TOP"

AMAT 0100-76119 PCB 

AMAT 0100-20238 PCB 

AMAT 0200-40209 Slab, Si 18X Holes, BAFFLE, .080 THK CGF

AMAT 0200-10664 Dome, Dos, Non-Flame

MRL INDUSTRIES 4600819112 REV 2-R CORE

PERKIN-ELMER 690-0837-006A PCB A901 

AMAT SET-805-753KR-Q AMAT ENDURA Process KIT, 8" PIK2 CERAMICOAT Includes 0040-2

AMAT 0190-08599 

DNS 2-AE-J0261 ASSY, SRHP LEFT SK2000

AMAT 0045-00182 MAIN FRAME, 30KV 

AMAT 0650-00024 CMPTR, FLT PNL, PIII-800 MHZ, 256 MB MEM

AMAT 1350-50005 (AMJ) BARATRON 128A, 1/2VCR, Range: 100 TORR, Input: +/- 15 VDC,

AMAT 9090-00442 Decel PSU 

AMAT 0010-03060 300MM SST PR CH SLIT VALVE DR REV 3 ASSE

AMAT 0040-41834 MOTOR COVER, 15:1 MOTOR, LID HOIST, 300M

AMAT 1140-00214 PSU DECEL, 6KV, SPEC 0190-08212

AMAT 9090-00209ITL 

AMAT 0190-08245 WET ROBOT

AMAT 99TN0553000 "CK T/N#553 15"" MAGNETIC"

AMAT 0150-04505 CABLE ASSY 

AMAT 0100-20214 PCB

AMAT 0050-04994 WELD MNFLD, LOCC, 1.6" STD, RTP

AMAT 0050-05380 MANIFOLD, 4 STATION VALVE, N/O

AMAT 0226-31554  PCB

AMAT 50480555000 CK TN 555 

AMAT 0040-79916 LINER, CATHODE, DIRECT-COOLED, BAFFLE, 3

MRL 4620798979 GATE OXIDE FURNACE ELEMENT 33010500

AMAT 0190-02977 ASTEX ABX-X355; CONTROLLER,2.0/13.56MHZ 

AMAT 9010-01384ITL 

Cymer 05-10000-08 KAISER SYSTEMS INC (KSI) 1101071-2 MODEL LS6000; 1kV

AMAT 0020-12397 

AMAT 0195-00178 ANALOG2 

AMAT 0227-06816 

AMAT 0021-19705 Upper Shield, 60/70 MM P.D., 300mm

AMAT 0200-09995 RING, INNER, ALN 8"/5MM NOTCH 201 WxZ

AMAT 0190-40183 Ring, Cooling DOS,Centering Style MESH GR

AMAT 0660-01642 CARD VME SNGL BRD CMPTR 68040 33MHZ 8MB DRAM

AMAT 0190-A0001 

AMAT 0240-A6770 

AMAT 0020-42122 HEATER, 8", WXZ

AMAT 3250-01136  CARRIER 300MM 13SLOT 

BROOKS 105947 Series 8 Robot 

AMAT 0040-83384 LINER CHAMBER CT, W/LEAK

AMAT 0010-c5840 GUN HEAD I4 / GX

VAT 01034-KE11-AAR2-0232 

NOVELLUS 04-055160-00 KIT,FINAL ASSY,H/W 

AMAT 0010-35384 Assembly, Wafer Lift, RTP 

AMAT 0050-32954 WLDMNT L6 & 7 & 8 PG WXZ 

AMAT 3380-00013 HE COLD TRAP WATER COOL DBL-COIL 12.00OD NKL-PLT

Nikon 4L992-058AN FILTER,MAIN,INTERFRNC,B11

AMAT 0010-09845 BEARING AND 

AMAT 0010-76323  Breaker, 250A

AMAT 0020-31664 

AMAT 0020-35452 

AMAT 0090-00240 

AMAT 0090-09276 ESC Shell Assembly 195MM DPS

AMAT 0190-00695 Cable Assembly, High Voltage Y-JUNCTION

AMAT 0190-14006 w60HZ BLOWER ASSY-TAHOE

MKS 0190-15840 REGULATOR AIR MKS 148365-2XX05-001625622

AMAT 0190-A0018 Spindle Shaft/Ball 

AMAT 0200-40189 DOME,THERMALLY 

AMAT 0220-40173 10 TORR 

IMTEC 10-000-1460 Tank Process Dual 200mm QUARTZ ACCUBATH AQRT/S-A2002-51

DNS 2-39-64334 ARM ROBOT ASSY TRANSFER UNIT SK2000; KAWASAKI 50480-1006

ASM 2587998-01 KIT ASSY

AMAT 70409150000 SE MCP Assembly, MCP Number: 203, Mount Type: SE Opal 7830i

AMAT 9010-01802 Load/Tilt 

AMAT 9240-05347 KIT,X-RAY 

AMAT 9240-05923 ROBOT 

Tokyo Electron (TEL) CT1380-036898-12 ACT 8 AC Power Box, TKLCT8-M499/TKLCT8-M49

SEAGATE TECHNOLOGY PA8K2A HD800 EXPANSION MODULE, 967001-002, PA82KA, A8K2A09

ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES 110M-V803 

HITACHI KOKUSAI D4EX02725-003 F-330C-82V-4Z-A

MACTRONIX LB2850P5 

AMAT 0190-09291 Ring, Wafer Lift, REV 1 CERAMIC, 200 MM

AMAT 0200-01725 RING, 6" PEDESTAL, B101 HTR

AMAT 0200-35671 

AMAT 0050-07451 WELDMENT, GAS C/DUMP VALVE, CVD CUXZ

LAM 713-026330-004 CLP,

AMAT 0140-10095 KIT 

IMTEC 10-000-2083 Tank Process Dual 200mm QUARTZ ACCUBATH QRT/S-A2002-51, Interi

MRL INDUSTRIES 3640818531 MAGNA SW SERIES AZ 400 MEDIUM , 3640818

AMAT 100-09002 PCB, VME SBC

AMAT 0140-77282 AO IO HARNESS,CNTRL-MNFR

AMAT 0820-01057 

AMAT 0225-97598 

CAT 522020020 

AMAT 0224-49613  SINGLE VALVE 8-LINE,

AMAT 0227-64040 , 7WAY FUJIKIN 8.66L

AMAT 0100-01159 

AMAT 0200-40013 

AMAT 0020-30404 Perf. Plate, 150MM BW

AMAT 0150-16084 CA  A-B-C-D,50 FT

AMAT 9010-00729 

AMAT 0020-27937 

AMAT 0021-01602 

AMAT 0010-08703 

AMAT 1410-00796 

AMAT 0140-01363 

AMAT 0010-07316 ASSY, CASSETTE HANDLER, W/ TILTOUT, 200M

AMAT 0240-32712 Kit

AMAT 0021-14063 BODY

AMAT 0200-50122 DOME, DOS, NON-FLAME

Pacific Scientific 70 40/40 Sensor, IN-Situ Particle 

AMAT 30612460000 CAPU ASSY

AMAT 0200-10066 RING,CENT 125/115 1FL 42.5MM(125.5)SR,

AMAT 0010-39201 ASSY, CONTROLLER VIDEO/EMO 

AVIZA 908193-001 ANALOG BOARD,EXTENDED(SEMY)

AMAT 0010-91456 ASSY

AMAT 0200-03168 DEP RING, 200MM CLEANCOAT, BARE, 99.8%,

AMAT 0050-42324 LINE

TEL 6650000 BOAT 200mm 140 

MEIDEN UA201/108A Controller - DNS SK 2000

KIT SERVICE TABLE 918243-001  SPLICE BELT -API

AMAT 0190-10643 KENSINGTON EG/EGA ROBOT, WAIST-AXIS PCB,

AXCELIS 250711 ACU/PCU/MCU SYSTEM CONTROL & DISPLAY

AMAT 0100-00436 

DNS 2-XZ-13045 PLATE, HOT ADHESION (AH) 80B ASSY

Electro Scientific Industries 86841-000 ESI 

AMAT 0040-39208 

AMAT 0010-A0213 

LAM RESEARCH 853-00198-002 

LAM 716-028722-161 QUARTZ RING (FOR ESC CHUCK) KIT LAM TCP9400 

BOC EDWARDS A540-11-999 BOC 

AMAT 0020-30708 

AMAT 0020-34438 

AMAT 0190-00462 

AMAT 0200-40218 DOME

AMAT 0500-00190 HELIX IS CONTROLLER 19"

MKS INSTRUMENTS 117426-G1 

ROTATION POWER 2130-C2 ILLUMINATION CONTROLLER, DUV, 208VAC, 1000W, 60 HZ

LAM 716-331157-013 DISK

AMAT 9090-01193 

GASONICS A95-062-01 ARM II,ASSY,W/PCA,A94-062-01:MOTOROLA

EDWARDS D15471025 

SHIN-ETSU Alpha8-cap QUARTZ, CAP TEL Alpha8

ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES 110M-PS esi LIGHTWAVE 110M-PS 

Daihen SGM-30B1 Generator, Power, Frequency: 2460M Hz, Rated Power: 3000W, 200V

PACIFIC SCIENTIFIC 121-236 SC755A040-08, CONTROLLER 90S SPIN HI TORQUE SC 750 SE

MITSUBISHI A3ACPUP21 MELSEC PROGRAMMABLE CONTROLLER; A3ACPU-PU21

MACTRONIX HZN850P5 Wafer Transfer and Handling-Horizon

NICOLET ECO-8M FT-IR Spectrometer ECO-8M-Metrology

Physik Instruments E-463-00 90-120V,AC-45VA,16AT

Physik Instruments E-463-00 HVPZT , 90-120V,AC-45VA,16AT

REVCO ULT-790-3-A31 

TEL TF234477-001 Assy, Power, Supply, Heater/Chiller

SCP GLOBAL 7471314A ROBOT 8400 UPPER BODY W/COVER for FSI

AMAT 0200-09847 Ring, Clamp, Flat, AL 100MM, .95HT 

AMAT 0040-85748 

AMAT 0040-80332 

AMAT 0242-18955 KIT, 300MM 

TEK TKD-100/8200 

AMAT 0222-09042 28M (92FT) CABLES REM. TO MAIN09042-1

AMAT 0010-91829 Source Isolation Vacuum Gate Valve, 08140-FA24-AIB1/004 A-649610

AMAT 0040-34148 LINER, GDP, 43R HOLE, HART 200MM

Omron ES-002623 UNIT, SENSOR TEMP T/C

AMAT 0040-80232 CONNECTOR STRAP ASSY - QX

AMAT 21016404078 

AMAT 0200-09151 Ring, Electrode 125MM EB

AMAT 4060-00023 MANF 16STATION W/DNET 32 I/O

AMAT 0020-26975 6"

TEL MB3M87-041637-11 

AMAT 0020-61991 COVER HOUSING WAFER HEAD 300mm

AMAT 0020-45069 SEAL, METAL, E-TYPE, 7.669 ID

AMAT 0200-02962 SINGLE RING QUARTZ 200MM SNNF (.25 HT) R

CTI 8510 Compressor 80313 

AMAT 70311520000 Turbo Pump Controller, 100/240V, 50/60Hz, 150VA

AMAT 0020-01047 

AMAT 2020013 OBJECT3.2X.06(LEITZ 56

AMAT 0150-35313 C/A CHAMBE B A-B-C-D,

AMAT 0220-21547 CONS. KIT 8" 

AMAT 0010-A5880 

APPLIED CERAMICS 911-02248A PEDESTAL, QUARTZ 8""

AMAT 9090-00742ITL 

AMAT 78311274020 "GENCO 4 CABLE, ELCO/M-EL"

AMAT 0050-05981

TEL 3D05-200094-12 

AMAT 0050-06327 LINE, MANIFOLD 5-PORT N/C RTP

AMAT 0020-00144 

AMAT 0200-09706 RING,CENTERING,200MM 194 MM,NOTCH(200.5)

AMAT 0200-39283 ADAPTER RING 8" 

AMAT 0227-04585 RGLTR, VERIFLO SQ60 MM 100PSI 2 PORT 0

YEILD CS1B10-115867-13 GUIDE, WAFER (PVDF) SD2 1/2

NIPPON PILLAR PA-40H 

PFEIFFER TCP 600 : Input: 110/220 V, 50/60Hz, 15 A, Output: 75V, 10

BROOKS BM25765 ROBOTIC ARM, SCARA 7" 

SUMITOMO 11A3583 

LAM 715-011593-002 

LAM 715-11630-001 

White Knight X50 Pump Teflon Double 

AMAT 1140-00351 PSU 

HITACHI VB-060-E VORTEX BLOWER, 3-PHASE, 2-POLE; 50HZ, 3.8kW, 200V, 14.5A, 1950m

AMAT 0200-18109 COLLAR, 200MM

AMAT 0227-45784 

SG 34414853re CRYSTAR SILICON CARBIDE TUBE 200 MM 34"

AMAT 0010-40298 ANTENNA-DOME,SUB-ASSY,DOS

LEP 74S00600C MICROSCOPE STAGE 200MM X 200MM 

AMAT 50412470100 

AMAT 30704130200