转载：你可能不知道的离子注入机的那些事

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半导体器件的电学性能取决于半导体掺杂的杂质浓度，在半导体晶圆制造过程中，要使导电性能很差的纯净硅变为一种有用的半导体，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，这个过程就被称为掺杂。

??目前掺杂工艺有高温热扩散法和离子注入法两种，其中离子注入占据着主流地位。

??受制于发展历史短，技术门槛高等多项条件限制。我国离子注入机领域发展十分缓慢，自主率低，受国外挤压较为明显，同时在内部，也出现过大大小小的问题。今天我们就一起来共同来了解一下什么是离子注入机、这个领域的竞争格局以及国内离子注入机龙头万业企业的相关情况。

什么是离子注入机？

??离子注入机的概貌如图所示。离子注入机大致分为离子源、质量分离器、加速器、离子束扫描和离子注入室。简而言之，离子源使电子与杂质的气体分子碰撞产生所需的离子，而质量分离器则利用电场和磁场的作用去除不需要的离子（例如所需杂质以外的离子或多价离子），并仅得到所需的离子，这与质谱仪的原理相同，所谓多价离子，例如P（磷）的离子存在一价的P+和二价的P2+，,通常使用一价离子。加速器通过施加高电压给离子提供注入硅的能量。束流扫描单元能够怼离子束进行整形，并扫描离子束以将其注入整个晶圆。其上放置晶圆的承物台被放入离子注入室中，在此离子被注入晶圆中。如上述，由于是在离子状态下照射晶圆，因此离子注入机需要高真空度，必须使用满足规格要求的真空泵。

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夹缝生存的竞争格局

??现如今，全球离子注入机的领先企业主要分布在美国、日本和中国，其中，中国大陆拥有中科信和凯世通两家离子注入机行业的龙头企业，其中凯世通在光伏离子注入机方面遥遥领先。而美国则拥有近乎垄断IC离子注入机市场的应用材料，以及汉辰科技、Axcelis、intevac等企业。日本也拥有日新、日本真空、住友重工等离子注入机知名厂商。

?图片来源：Gather

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万业企业的背后

??而在国内离子注入机的发展中，不得不提的一家企业便是万业企业。万业企业成立于1991年10月，早前主要从事地产开发与销售业务。而现今的万业，则是国内离子注入机龙头企业，在这二三十年间，万业企业经历的转变不可不谓巨大。

??万业企业进军集成电路的一个关键节点便是收购凯世通。凯世通创始人陈炯博士曾是全球领先离子注入机厂商AIBT的联合创始人。万业企业第一大股东是上海浦东科技投资有限公司持股28.16%，第三大股东则为国家集成电路产业投资基金，持股比例为7.00%。

??2018年7月，万业企业宣布拟以9.7亿元收购凯世通100%股权。此后，万业企业调整收购方案，收购价格由9.7亿元降至3.98亿元。

??而调整收购方案的原因，《万业企业关于调整上海凯世通半导体股份有限公司收购方案的公告》里显示，凯世通2018年难以完成业绩承诺。为维护上市公司利益，从保护全体投资者角度出发，公司拟调整对凯世通的收购方案；

??公告中提出的业绩承诺是双方在此前收购方案中提出的，即凯世通需在2018年度、2019年度、2020年度（以下简称“业绩承诺期间”）实现人民币2.5亿元的净利润。

??但实际上，2018年-2020年，凯世通财报显示，公司实现营业收入1.08亿元、0.83亿元、0.21亿元，远没有达成业绩承诺。至于为什么营收无法达成，我们可以从凯世通营收的大客户中看出端倪。

??资料显示2016 年、2017 年、2018 年 1-3 月，凯世通对中来股份和泰州中来的销售额占同期营业收入比例分别达到 60.72%、94.14%和 97.27%。并且中来股份与凯世通并非仅为合作伙伴关系，中来股份通过其控股的杭州中来持有凯世通4.63%股权。这也就意味着，中来股份是凯世通的最大客户。

??这个最大客户支撑着凯世通的绝大多数业务。然而较为神奇的是，万业企业在收购时公告：凯世通与最大客户中来股份，2018年预计销售5724.14万元。但在2018年底，凯世通收购完成时，万业却表示，中来股份当年实际采购额只有2757万元。

??而深入探究中来股份的财报我们更可以发现，2018年度，中来方面向凯世通采购设备，22.83万元。2019年度，与凯世通发生的采购金额，0元。

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??也就是说这个最大客户压根就没有购买凯世通的设备。2019年同样如此，没有了中来，凯世通的最大客户是一家叫做上海星源朴煜的公司。2019年，凯世通对其销售额为1516.98万元，但在2020年却突然变成了一笔875.2万元的坏账。没有中来股份支持，合作伙伴上海星源朴煜也十分不靠谱。凯世通的经营状况堪忧。

??但在2020年底，凯世通却突然公告与一家芯成科技（绍兴）有限公司（芯成绍兴），签下一单，出售3款12英寸的集成电路用离子注入机，合同总价约1亿元。

??这家芯成绍兴在芯查查APP查企业里显示，其母公司是芯成科技。芯成科技，与万业企业一样，同样是国家集成电路产业投资基金（大基金）的关联公司。

??芯成科技的董事会主席杜洋，既是大基金管理人华芯投资的总监，又是大基金委派到芯成科技的代表。另一方面，大基金直接持有万业企业股权，华芯投资公司投资三部的副总经理杨征帆，作为大基金的代表，被委派在万业企业担任董事。（2022年8月芯片大基金管理公司三名高管杜洋、杨征帆、刘洋涉嫌违法被调查）这也就意味着，弥补凯世通营收的那份订单或许就是几位前大基金内的管理人员的暗箱操作。

（截图仅显示部分信息，完整信息请到芯查查APP-查企业搜索）

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??事情解说至此处，相信大家也大概明白了万业为何能收购凯世通。而从产业发展的角度上来说，凯世通生产的离子注入机究竟有没有投入产线想必是各位读者最为关心之事。

??回答这个问题，我们就需要从业务角度上来探究。凯世通的半导体离子注入机，属于前段的晶圆制造业务链；而芯成科技，主营是SMT装备制造，属于半导体业务链后端的封装业务链。芯成科技从未声称要向晶圆制造转型，那么购入三台半导体用离子注入机，与芯成科技当前的业务，根本没有协同性。

图片来源：芯成科技官网

     也就是这几台机器或许根本没有投入市场。

      而资料显示，目前，凯世通已量产的太阳能离子注入机共四款：IonSolar、iPV-2000、iPV-3000和IPV-6000，关于这些仪器最终在产线上的表现，我们所能获取的资料也仅仅停留在“在12英寸晶圆产线上获得工艺验证”这句微薄的话语上。这也就意味着盛名之下的万业企业在离子注入机方面或许自主率还没有想象中那么高。

??但不管万业企业的发展状况究竟如何，内部有过腐败是事实。我国整体离子注入机发展情况十分不乐观亦是众所周知的现状。芯片行业经过这几年的全力发展，在技术上我们有了很大的进步。国家大力的扶持下，涌现出了很多优秀的半导体公司，他们在芯片行业的发展上，都发挥了最大的力量，这是不可否认的。但我们也需时刻保持清醒，勿忘初心，国家此前对大基金进行整顿以及近期重组科技部，我们可以从中看出我国在芯片行业健康发展上的决心。一个行业的发展，出现问题并不可怕，及时处理，不要“积少成多”，不要阻碍行业良性发展就是最好的结果。