3HAC021914-001

在FMA-4100／4300系列流量计中，流速可用23种不同的体积流量或质量流量工程单位（包括用户特定的单位）显示。可以通过RS232或RS485（选配）对流量计编程。FMA-4100／4300流量计支持多种不同功能，包括可编程流量累加器、流量上限和下限报警、自动零点调整、2种继电器输出、可通过跳线选择的0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA模拟输出、状态LED诊断、存储多达10种不同气体标定、内部或用户特定的K系数。带显示屏的型号配有本机2行 x 16字符LCD显示屏，显示屏具有可调节背光，可同时提供流量、累加流量以及诊断信息读数。RS232或RS485（选配）数字接口可让您访问相关内部数据，包括流量、CPU温度、自动调零、累加器和报警设置、气体表、转换系数与工程单位选择、动态响应补偿与线性化表调整。模拟接口提供对应于流量读数的0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA（可通过跳线选择）输出。
FMA-4100／4300流量计支持自动传感器零点偏移调整，可以通过检修按钮在本地启动该调整，或者可以通过数字通讯接口远程启动。自动调零功能必须满足的条件是，在调整过程中流量计中完全没有流量。可以通过数字指令启动、读取或者保存当前的自动调零值。数字累加器指令包括：设置为零、在达到预设流量值时启动、为预设值指定动作、启动／停止累加以及读取。还可以通过数字通讯接口对气体流量上限和下限报警编程。可为报警动作指定预设的延迟间隔（0 ~ 3600秒），以便启动触点闭合部件（独立上限和下限报警）。通过锁存模式控制功能，每个继电器可以在出现相应的报警状态之时锁存或不锁存。
news.jpg          
? 23种可供选择的工程单位 （包括用户定义的单位）
? 可编程累加器
? 气体流量上限和下限报警
? 两组具有锁存功能的可编程SPDT继电器
? 可选0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA 模拟输出
? 适用于多达32种气体的内部转换系数
? 标配RS232数字通讯接口
? 自动传感器零点偏移调整 （通过数字通讯接口或本地按钮）
? 自诊断测试
? 显示屏可调节背光

规格:
校准： 除非另有要求或者另有说明，否则校准在标准条件[101.4 kPa(14.7 psia)和21.1?C (70?F)]下进行
环保要求（根据IEC 664）： 安装等级II；污染等级II
流量精度（包括线性度）： 在校准温度和压力时为满量程的±1%
重复性： 满量程的±0.15%
流量温度系数： 满量程的0.15%/?C或更佳
流量压力系数： 满量程的0.01%/psi (6.895 kPa)或更佳
量程比： 50:1
流量响应时间： 600 ms时间常数；在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒达到设定流速的±2%内
最大气体压力： 3447 kPa表压(500 psig)
最大压降：
最大流量 ≤10 SLM： 1.28 kPa (0.18 psi)
最大流量 >10 SLM： 27.58 kPa (4 psi)
气体和环境温度： 5 ~ 50?C (41 ~ 122?F)
气体相对湿度： 最大70%
泄漏完整性： 对于外界环境，最大泄漏率为1 x 10-9 SCCS氦气
偏位灵敏度： 在归零后，偏差最大为标定精度的1%
输出信号： 线性0 ~ 5 Vdc（最小阻抗3000 ?）；线性4 ~ 20 mA（最大环路电阻500 ?）。最大噪声20 mV峰-峰（对 0 ~ 5 Vdc 输出）
继电器： SPDT (30 Vdc，1A)
传感器输入电源： 11 ~ 26 Vdc，100 mV最大峰-峰输出噪声
功耗： +12 Vdc（最大电流200 mA）；
+24 Vdc（最大电流100 mA）；
电路板具有内置的极性反接保护功能，300 mA自恢复保险丝提供电源输入保护
接液材质：
    标配铝质型号： 阳极氧化铝、铜、
    316不锈钢、氟橡胶O形圈
选配不锈钢型号： 316不锈钢、氟橡胶O形圈
可选O形圈材质： 丁钠橡胶、EPR（乙丙烯）或全氟橡胶
入口与出口连接口：
    型号FMA-4100／4300： 标配6.35 mm(?")压合接头；对于60 SLM及更高流量流量计，9.53 mm (?")
选配： 3.18或9.53 mm (?或?")压合接头
显示屏（FMA-4300型号）： 可调节背光的本机2行 x 16字 LCD（2行文本）
校准选项： 标配为一次10测量点NIST可溯源校准。选配，最多可订购另外9种校准（需付额外费用）。欲了解更多信息，请联系OMEGA
CE合规性： EMC符合89/336/EEC（修订版）
发射符合： EN 55011:1991，1类
A级抗干扰标准： EN 55082-1:1992
*全新原装正品，现货直供！所有备件的质保期均为1年，经过专业测试认证。订购咨询热线：18105962758
*如果您需要订购产品超过1件，请与我们联系，我们可以为您提供折扣。
*我们仅采用快递方式递送备件。（顺丰）
*如果您发现其他供货商为相同产品提供更为低廉的价格，我们也愿意参照其价格向您提供进一步的折扣。如果还有其他任何问题，请随时与我们联系。
*请让我们知道您有任何，备品，备件的需要，我们可以给您进一步的援助，我们等候您的咨询。

 诚信经营，质量为首，诚信至上，鼎晟达竭诚为您服务                
***************漳州鼎晟达自动化设备有限公司***************       
联系人：林朝艺（销售经理）                                         
手机      ：18105962758
QQ        ：2880842795                        
邮箱      ：2880842795@qq.com
传真      ：0596-3119658（请备注林工收）

【主营产品】
1：Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

2：Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的最现代化的容错控制器。

3：Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

6：ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

7：Siemens(西门子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens数控系统等。

8：Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

9：XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

10：GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。

11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

12：Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

13：Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

14:工业机器人系统备件。

15： 英维斯(TRICONEX):TRICON DCS的系列，如：3805E

另外还有 雅马哈(YAMAHA), 贝加莱(B&R)， 欧姆龙(OMRON),  KEBA， 安川(YASKAWA) 等品牌的停产备件。

-----------------------------------------------------------------------------
Franklin Electric 1S2GX0003 Pump, Seal-Less Verticle Centrifugal

Allen-Bradley Kinetix 6000 Line Interface Module, 2904-BL02, BULLETIN, 423535

AMAT 0140-38244 H/A Equipe Enable/OTF Split Manual Front, FS-T1, FS-T2, 423650

AMAT 0140-38244 H/A Equipe Enable/OTF Split Manual Front, FS-T1, FS-T2, 423651

Analog Devices EVAL-ADUC836 Rev.2, Quickstart Development System. 416969

ThermoCube 10-200-1D-1-CP-EF-HT-AR Solid State Cooling System, 423654

Ultratech Stepper SP1982-2642, Ellipsoidal Reflector W/ UTS 10-17-00313. 416971

ENI VL-400 Phase shift controller

Brooks 5964C4, MFC, Mass Flow Controller, Silane, 200 SCCM, 416984

AMAT 0010-10640 MXP + SIM Cath, Bellows Assy, 423553

AMAT 0020-19882, Tube Lift 200MM, 416992

Lambda 45A-28, Power Supply, 28V, 17.5A, LFS4528 Novellus QT330134

Seren IPS L300 Radio Frequency Power Supply, 208 VAC, 10A, 47/63 Hz, 423842

AMAT 0660-90052ITL, wCard MVME 335, 4, Channel. 418235

AMAT 0040-06126 Rev.005, Yoke Gimbal Mount Heater Lift TxZ 300mm. 418237

Brooks 134384, GEN9 DAFA External Module, Kollmorgen PRD-0057EXTB-02. 418250

Unit Instruments UFC-8169 MFC, Mass Flow Controller, CF4, 50Sccm, 8160. 418266

AMAT 0020-07080, Seat, Bellows, Rot Head R6.0, ECP 300M. 417107

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, Ar, 300 SCCM, SEC-4400, 324238

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, Ar, 300 SCCM, SEC-4400, 411023

STEC SEC-4400MC-RUC Mass Flow Controller, MFC, Ar, 200 SCCM, SEC-4400, 325403

STEC SEC-4400MC-RUC Mass Flow Controller, MFC, Ar, 200 SCCM, SEC-4400, 325404

AMAT 0190-18329, Assembly, Hose 30m, SMC/AMAT1, Supply/Return. 418351

AMAT 0190-18329, Assembly, Hose 30m, SMC/AMAT1, Supply/Return. 418352

AMAT 0200-10176-C, Shadow Ring Quartz, 200mm Notch (2). 418354

AMAT 0010-30230, Assembly, H.O.T Analyzer Cartridge. 417141

AMAT 0200-10176-C, Shadow Ring Quartz, 200mm Notch (2). 418356

AMAT 0200-09602, Pipe, Insulating, Quartz W/ Flange. 417157

AMAT 0660-90052ITL, wCard MVME 335 4 Channel. 418381

AMAT 0040-09005, Base STD Cathode. 418412

AMAT 0040-09005, Base STD Cathode. 418413

M.E.C. Tech MEC50008-763-5, Insulating Washer Ardel AMAT 0020-09031. 417198

M.E.C. Tech MEC50008-763-5, Insulating Washer Ardel AMAT 0020-09031. 417199

TEL, Tokyo Electron, SU03013R, Exposure Shutter Unit. 417182

TEL, Tokyo Electron, SU03013R, Exposure Shutter Unit. 417183

Vacuum General AC-2 AdapTorr Vacuum Controller, 422243

Thermo Electron Neslab Merlin M25 262112032000 Turns On Without Pressure, 326257

AMAT 0040-09005 Base STD Cathode, HLZ-K-174, 419927

AMAT 0040-09005 Base STD Cathode, 419928

AMAT 0040-09005 Base STD Cathode, HLZ-K-174, 419929

AMAT 0040-09005 Base STD Cathode, HLZ-K-174, 419926

Oriental Motor Co. UHG100-2B, Harmonic Gear AMAT PVD Robot Driver Centura 417220

AMAT 0100-37865 Assy, PCB, Video/R232 Interface, Producer, 423912

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, He, 300 SCCM, AMAT 0226-44706, 324232

AMAT 0200-09638 Cylinder, Quartz, 200mm EXT Cathde Ceramic, 422931

AMAT 0200-36417 Rev.A, Pumping Ring, Ceramic Top, DXZ Saacvd. 417288

AMAT 0200-20059 PVD Sputter Liner Clamp, 6", Aluminum, SMF, STR, 420714

STEC SEC-4400MC Mass Flow Controller, MFC, HE, 200 SCCM, SEC-4400, 325276

MKS 253B-12931 Control Valve, 418452

MKS 253B-12931 Control Valve, 418453

Novellus Concept-1 RF Filter Box, 03-00289-00 RF Cable, 418435

Matsusada Precision Inc. ES-2R3 High Voltage Power Supply, ES2R3, 423598

Matsusada Precision Inc. ES-2R3 High Voltage Power Supply, ES2R3, 423599

AMAT 0015-09091, Phasetronic Lamp, Driver Assembly, P1038. 418442

AMAT 0150-06161, Cable Assembly, Analog I/O Board to. 420029

AMAT 0150-02632 Rev.001, Cable Assembly, N(M), R/A to N(M), STR RG-21. 420030

Brooks Robot Motor 422569

AMAT 0010-10942 8-Slot Loadlock Lid w/Out Cover, 418521

AMAT 0020-70185 P5000 Loadlock Lid, Wafer Transfer, 0020-70184, 418522

SPUWSI-01, Lower Dome, SPU.WSI.001.01, A+B. 420018

SPB-V2428-6, Wafer Chuck Mark II, 089-3. 418532

Mitsubishi QI-20454 Rev.B, Chamber, 240x130, WEP/WEK/WEB. 417263

LAM 715-704170-001 Wafer Chuck Lift Assy, SMC NCQ2B20-25D-XB9, 423463

LAM 715-704170-001 Wafer Chuck Lift Assy, SMC NCQ2B20-25D-XB9, 423464

Vacuum Gauge, VH-4, DV-24, 423465

Aera FC-7810CD MFC, Mass Flow Controller, O2, 10 SLM, AMAT 3030-08166, 423474

AMAT 0150-06161 Rev.001, Cable Assembly, Analog, I/O BP To. 420098

Koilmorgen Servoronix PCB-00471000-00 DASA Digital PCB, Asyst, 420756

Koilmorgen Servoronix PCB-00471000-00 DASA Digital PCB, Asyst, 420757

AMAT 0020-70185 P5000 Loadlock Lid 0020-34335, 0020-34829, Wafer Transfer 416861

SKF Actuators AB 32X200X2/D24C, Linear Actuator 1001346-W0113. 418726

AMAT 0190-36181 Valve Assembly w/ Flow Monitor Fast Cool Down, Parker, 423028

CTI-Cryogenics 8039155 G002, Scott "T" Controller, Cryogenic Pump, Helix. 416028

CTI-Cryogenics 8039155 G002, Scott "T" Controller, Cryogenic Pump, Helix. 416259

Asyst 155326-21040019 Rev. A, Battery Backup PCB, Board. 416218

000000-1841-805 DC X Motor Unit, 000000-1332-169, 000000-1332-146, 418826

AMAT 0200-09743 Ring, Focusing, Quartz, 150mm, Poly/WSI, 55mm, 417439

Micro Instrument Co. 500-102376-003 AUX I/O Board, PCB, LAM, 423716

Omega TL-WELD Thermocouple And Fine Wire Welder, 423629

AMAT 0040-92851 PULLEY DRIVE TOP

Advanced Energy 3155039-001 Tuner Controller, 100-240V, 50/60 HZ, 100 VA, 416312

Advanced Energy 3155039-003 Tuner Controller, 100-240V, 50/60 HZ, 100 VA, 416313

AMAT 0150-77130 Cable Assembly Digital D5, Control-MNFRM 125 FT, 420123

Versatest Inc. V1000 Formatter/PE Board, BRD-V1190 Rev. 1. 409817

Versatest Inc. V1000 Formatter/PE Board, BRD-V1190 Rev. 3. 420860

Versatest Inc. V1000 Formatter/PE Board, BRD-V1190 Rev. 2. 420861

Versatest Inc. V1000 Formatter/PE Board, BRD-V1190 Rev. 3. 420862

Versatest Inc. V1000 Formatter/PE Board, BRD-V1190 Rev. 3. 420877

AMAT 0040-36180 Heater, 200mm, TXZ, SNF, 419041

AMAT 0040-37563 Rev.P1, MEI, 2138, Support, Bellows, 300mm. 419116

LAM 716-028123-004 Filler Ring Ceramic, 419127

AMAT 0040-07820 Tray 3, Upper Meg, HVM 300mm, 419128

NRC 0162-2, Diffusion Pump, 240V, 1785. 423085

2 Stec LF-310A liquid flow MFC Mass Flow Controller LF-310A-EVD TEPO 0.25 g /min

AMAT 0100-00534 PCB Assy, MCA+ Electronics Interface, 422678

AMAT 0200-09743 Ring Focus, QTZ Poly/Wis 150mm 155mm, 417493

AMAT 0021-08749 Spacer, Small Footprint System, 200mm CE, 417505

AMAT 0010-01062 Gas Distribution Assembly, 5 Inch AL, 419108

AMAT 0190-01403 T/C Assembly Heater, WXZ, 417524

IPEC speedfam 2805-740555 F, Pad conditioner assembly

AMAT 0200-10176 Shadow Ring Quartz, 200MM Notch, 417536

New AMAT 0150-02632 Cable Assy, N(M), R/A to N(M), STR RG-21

NEW STEC MFC Mass Flow Controller SEC-3400SL-UC, N2, 100SCCM

AMAT 1310-01060, K304010036825 TCPROBE K - TYPE 5/16 - 18 TEF INSUL SLVR. 417585

Berkeley Process Controls MWT-8-MNET Machineworks Machine controller

AMAT 0050-49905 Rev.002, WELDMENT, N2 INLET L.O.T.O., Chamber 1. 417599

MILLIPORE MFC FSDGD100AQ00, FSDGD100QU00, FSCGD1000H00, N2, 324831

KLA Tencor Prometrix 54-0276 PCB Door Interlock 36-0276, 419240

AMAT 0200-09200 Plate, Gas Distribution, Upper, Quartz, 8", 420963

AMAT 0140-09742 Harness Assy, Safe Valve, 417789

2 Asyst 9701-5065-01, Dual Arm Assembly, 4002-6446-01. 416631

2 NEW Linear actuator 400MM rail two long NP105, 95086-52

AMAT 0190-40064 Rev.B, Cable Assembly, Source Generator to RF Match. 417961

Asyst 3200-1065-06, PCB, 3200-1045-01, 3200-1106-01 Control Servo Board. 416904

JDS Uniphase Laser 2214-25MLUP

2 Varian Systems 04-709953-08 Rev.AP, Distribution, Panel, Plate. 417098

MKS HPS 161-0050K Vacuum Isolation Valve, Manual w/ KF, NW50, 422379

2  Berkeley Process controls GM06BB00L AC brushless servo motors Look un

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418651

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418652

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418653

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418654

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418655

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418680

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418681

AMAT 0200-04180, Quartz Cover 8", EXT, 418682

AMAT 0200-04180 Cover, Quartz, 8", EXT 417437

AMAT 0200-04180 Cover, Quartz, 8", EXT 417260

Varian H0117001 ASSY PARALLEL PCB MACH D-H0118001, 423138

2 03-124010-00 Rev.A, 1203, Cable Assembly. 420159

JDS Uniphase, JDSU, 2214-25MLVP Laser, 420927

AMAT 3870-00154, Valve Slit Double Actuating, 49mm, STRK, 1/4" FTG 1". 417640

KLOEHN SYRINGE PUMPS MOTORIZED INJECTOR VALVES 19560, missing stepper motors

Emerson 6592-A Motor & Gear Box, Inverter, Ipec Speedfam Novellus, 421553

Liebert 02-792225-00 Processor Board Assy, 12-792225-00, 422871

Disco EAUA--086700, D1 TS I/O Board, PCB. 418451

NEW Millipore MFC Tylan 2979, FC-2979MEP5, O2, 50 SCCM with calibration sheet

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, He, 300 SCCM, SEC-4400, 324227

NEW millipore MFC Tylan 2979 FC-2979MEP5, Ar 500 SCCM with calibration sheet

AMAT 0100-35177 Rev.P3, PCB Assembly, TC & Interlock, VAL-P3-0111-01. 417612

AMAT 0020-20756 Loadlock Lift Assy, 419510

AMAT 0020-20756 Loadlock Lift Assy, 419511

MKS 1159B00050RVSPCAL MFC, Mass Flow Controller, He, 50 SCCM, 423775

MKS 1159B00050RVSPCAL MFC, Mass Flow Controller, He, 50 SCCM, 423776

Unit Instruments UFC-8100 MFC, Mass Flow Controller, N2, 21cc, 8100, 327023

MKS 1459C-00500RM MFC, Mass Flow Controller, N2, 500 SCCM, 422520

AMAT 0040-92614, Polished Heatsink, Casting 200. 419520

AMAT 0020-10526 Rev.001, HLZ 921-004, Lift Arm, Chamber A Upper Clamp RI. 419521

AMAT 0020-10526 Rev.003, HLZ 921-004, Lift Arm, Chamber A Upper Clamp RI. 419522

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419561

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419562

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419563

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419564

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419565

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419566

AMAT 0020-20164 Cover, Insulator Source, 419567

Nor-cal 950209-2, 22-0138, KF-50, NW50 Isolation Shutoff Valve, 401453

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 100 SCCM, Calibrated, 423525

MKS L2-40-SP1-316, Vacuum Isolation Valve W/ Bypass, AMAT 0190-13041. 416944

Kollmorgen Servotronix PCB-00471000-00 PCB, Asyst DASA Digital, 423555

Kollmorgen Servotronix PCB-00471000-00 PCB, Asyst DASA Digital, 423556

Kollmorgen Servotronix PCB-00471000-00 PCB, Asyst DASA Digital, 423557

Yaskawa CIMR-AU5A0009FAA, VFD, Frequency Drive, Digital Operator. 419710

Galil DMC-1540, 4-Axis Motion Controller. 419768

Galil DMC-1540, 4-Axis Motion Controller. 419769

AMAT 0040-40800, Cover Plenum, Lid, Anneal ECP 300mm. 418226

2 M-3-30120 Electrode, Body, Made of Teflon, 423853

AMAT 0040-40800 Rev.003, SAINT, Cover Plenum, Lid, Anneal, ECP 200mm. 418328

AMAT 0040-40800 Rev.003, Cover Plenum, Lid, Anneal ECP 300mm. 418367

AMAT 0040-40800 Rev.003, Saint, Cover Plenum, Lid, Anneal ECP 300mm. 418368

AMAT 0190-05836, WATLOW, HTR GL, CHC 0050-52510 Part 1 TICL4 PRODU. 418375

Lot of 4 MFC, FC-2900V, FC-2900M, FC-2902MEP-T, Millipore, Mykrolis, 329401

UNIT UFC-8160, NF3, SiH4, PH3, lots of 3, 

17 AMAT 3080-01032 timing belt 1/5P X 3/8WD

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, Ar, 5 SLM, SEC-4400, 325270

AMAT 0020-24719 Cover Ring 8" 101 AL Coverage, 422963

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 200 SCCM, AMAT 3030-12519, 411178

Asyst 3200-1065 Daughter Board, PCB, Asyst 3200-1015, FAB 3000-1065-01, 422924

Asyst 3200-1065 Daughter Board, PCB, Asyst 3200-1015, FAB 3000-1065-01, 322700

MKS 627A-15068 Baratron Pressure Transducer, .2 Torr, 423448

Akrion TNK3A0304 Quartz Bottom Plate, SR5018358, 420002

Anelva A12-05166, Up/Down Cylinder Assembly, w/ Linear Bearings. 420034

AMAT 0040-00196 Rev.C, Screen, Cryo Port. 418554

AMAT 0090-00655 Motor Assembly, 200W Servo w/ Brake, Sanyo Denki, 422261

AMAT 0040-00196 Rev.C, Screen Cryo Port. 418570

AMAT 0020-20676, EEP-G-275, Cover, Preclean, Cooldown Monolith. 418574

AMAT 0200-09179, Quartz Insulating Pipe, Tube, MXP. 420060

AMAT 0200-09179, Quartz Insulating Pipe, Tube, MXP. 420061

AMAT 0200-09179, Quartz Insulating Pipe, Tube, MXP. 420062

AMAT 0020-21270 Cover Base 5" Preclean, 418581

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machineworks Controller, 960537C, 422277

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machineworks Controller, 960537C, 422278

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machineworks Controller, 960537C, 422279

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machineworks Controller, 960537C, 422280

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machineworks Controller, 960537C, 422281

AMAT 0020-21746 Rev.A, LTD Ceramics, Outer Ring 8" Preclean. 417308

AMAT 1350-00683 Capacitance Manometer, Pressure Transducer, 423468

AMAT 0010-13353, Assembly, Screened Baffle ENP. 418625

AMAT 0010-38246, Assembly, VRFL 29" TF SLD, 35, 35,00,00-TF6-9,9. 420095

MDC LAV-250-PAA 1MC Right Angle Isolation Valve, ISO 250 Flange, 423698

MDC LAV-250-PAA 1MC Right Angle Isolation Valve, ISO 250 Flange, 423699

Fujikin 070190 Pneumatic 3 Way Valve AF5VD000, O.P. (0.34~0.49MPa), 407515

AMAT 0190-14050 Pre-Aligner, Power Cable, 90 Deg Conn 415287

Novellus / IPEC 2805-770376, Motion control assy w Warner SS2000D6 Slo-Syn

Anelva A12-05166 Up/Down Cylinder Assembly W/ Linear Bearings P50-11-020, 422669

AMAT 0200-09558 Ring, Focusing Quartz, 150mm Poly Ext Cath, 417531

AMAT 0200-10073 Insulator Quartz, 200MM, Simple Cathode Applied Ceramics, 417532

MFC Mass Flow Controller Mykrolis FC-2902MEP5-T, 5 SLPM, Gas N2

AMAT 0020-05957 Iss. A, Bracket, Golfclub, Suppression. 417733

Unit MFC, Mass Flow Controller, UFC-8561C, H2 100CC lots of 2 

DeviceNet Unit MFC, mass flow controller, UFC-8565, H2 2L, SIH4 30CC lots of 2

AMAT 0020-28438 Rev.PA, Side Receiver, Right, 150mm, 25 Slot Metal. 418358

AMAT 0020-28438 Rev.PA, Side Receiver, Right, 150mm, 25 Slot Metal. 418359

6 Novellus 15-271403-00, Insulator, RF Break, KF16-KF16, C2SEQX, 417004

4 AMAT 0020-91891 Strip, Seal protection

AMAT 0200-09608, Shield Quartz 200mm, Sputter. 418260

AMAT 0200-09608-C, Shield Quartz 200mm, Sputter. 418261

AMAT 0020-23275 Pedestal, TI, 8" 101% Coverage, ES 011-06742, 423476

5 AMAT 0021-22377, Post, Electrical Feedthru, Copper. 418738

Lot of 12, US Filter VFSH020-04M3S Filter cartridge

2 AMAT 0040-23897 Standard Body Chamber Pillow Block

Millipore IntelliFlow FSDAE100FU05 and FSFAE100D406 MFC, SIF4, N2, 325076

AMAT 0020-37293, Bracket Mounting 5KVA XFMR, REM AC Box. 419524

AMAT 0040-23379, Arm Hinge 300mm, Preclean. 417959

AMAT 0040-23379-P1, Arm Hinge 300mm, Preclean. 417960

AMAT 0100-09054 Analog Input Board, PCB, FAB 0110-09054, P5000, 423560

AMAT 0100-09054 Analog Input Board, PCB, FAB 0110-09054, P5000, 423561

AMAT 0100-09054 Analog Input Board, PCB, FAB 0110-09054, P5000, 423562

AMAT 0100-09054 Analog Input Board, PCB, FAB 0110-09054, P5000, 423563

Danfoss 131L9870 VLT HVAC Basic Drive, 15kW, 20HP, 3x380-480V, 50/60Hz, 423678

ENI MW-10-21191 Matchwork Control Unit, RF Match, 419851

AMAT 0020-22920, Shield, 6" Preclean. 419891

AMAT 0010-09733, Clear Cover Remote AC Box Assembly. 417241

AMAT 0020-03664, Pedestal, 8" Oxide, 200mm, Chuck, Etch Chamber. 418540

AMAT 0010-09733 Rev.A, Assembly, Clear Cover, Remote AC Box. 418616

AMAT 0020-42062, Block, Clamp, GA Line, WXZ. 419017

AMAT 0020-21278, Clamping Ring, 6", AL SMRMF. 416196

AMAT 0090-77013 Assy, Motor Z-Axis MCG 2281-MEB3551, 3.75 LB-In Torque. 416377

AMAT 0090-77013 Assy, Motor Z-Axis MCG 2281-MEB3551, 3.75 LB-In Torque. 416378

AMAT 0090-77013 Assy, Motor Z-Axis MCG 2281-MEB3551, 3.75 LB-In Torque. 416379

AMAT 3030-01877, MFC UFC-1660, 300 SCCM, N2, 1/4 VCR, MTL, NC, HOV, 416368

AMAT 0090-77014, Assy Motor Z-Axis PM 1/2, MCG, 2281-MEB3551, 3.75 LB-IN. 416382

Perkin Elmer PVD 4400 Sputter Chamber Liner, very clean

AMAT 0020-98259 Issue. C, Nosepiece, Elect E1 Univ. 417606

AMAT 0020-98259 Nosepiece, Elect E1 Univ, 417633

AMAT 3870-03684, Butterfly Gate Valve Assembly, W/KF 40 Flange, 250mm. 417262

AMAT 0200-09556 Ring, Focusing, Quartz, Poly, 150mm, EXT EA CATH 15, 417625

HP AD90367, Quantum Controller Server Module, 5 Crossroads Systems, PCB. 416435

LAM 810-048219-019 PCB Board, FAB 710-048219-018, 416448

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423242

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423243

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423244

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, 102412-R1, 423245

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423246

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, 102412-R1, 423247

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423248

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423249

VAT PM-5 Adaptive Pressure Controller, LAM 796-093088-001, 423250

Rinse station with 2 wafer slots and 2 rinse positions on each surface

2 AMAT 0010-05284 Assembly Halogen Lamp, 300mm LT Esc. 416603

STEC SEC-4400MC-RUC MFC, Mass Flow Controller, O2, 400 SCCM, SEC-4400, 423772

STEC SEC-4400M MFC, Mass Flow Controller, O2, 500 SCCM, SEC-4400, 423773

STEC SEC-4400M MFC, Mass Flow Controller, O2, 500 SCCM, SEC-4400, 423774

Unit Instruments UFC-1660 MFC, Mass Flow Controller, HE, 200 SCCM, 1660, 421807

4 AMAT 0200-09933 Pin, Wafer Lift Heater 416644

MKS 1160B-05000SV MFC, Mass Flow Controller, N2, 5000 SCCM, 421906

AMAT 0100-09054 Analog input PCB board, AMAT P5000 tool wafer processing

AMAT 0660-01754, Dell PPL, Computer, Novascan Notebook. 416694

AMAT 0040-04999 Rev.002, Moss 472, Drip Tray, GPLIS III ENC, SFP. 419468

Yaskawa Minertia UGRMEN-04MSAC2, UTOPE-050SC178. 419503

ABB QSB23175L, Circuit Breaker 240V, 175 AMP 3 Phase. 419498

AMAT 3040-90002 Ballscrew Assembly to AM SPEC

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, O2, 500 CCM, Calibrated, 423521

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, AR, 1 SLM, Calibrated, 423522

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423523

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, Cl2, 100 SCCM, Calibrated, 423524

Asyst 3200-1065-06, PCB, 3200-1045-01, 3200-1106-01 Control Servo Board. 416905

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 200 SCCM, Calibrated, 423526

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, O2, 400 SCCM, Calibrated, 423527

VAT PM-4 Adaptive Pressure Controller FABR 641PM-94NM-1001/005 420427

VAT PM-4 Adaptive Pressure Controller FABR 641PM-94NM-1001/001 420428

Tamagawa TS3653N95E8 Stepper Motor Assembly, 4.5V, 2A, Asyst, 420430

AMAT 0200-09610 Rev.B, West Coast Quartz, Ring Outer 150MM EXT Cathode. 416965

LAM 839-480183-002, Vacuum Weldment, Lower Bypass, Manifold, TCP, Oxide. 419644

Berkeley Process Controls MWTX-8-MNET, Machine Controller Machineworks, 421542

Nor-Cal, Humphrey VAC-125 Gate Valve, 410 70, 120V 50/60Hz, 4.5 Watt. 419679

High Vacuum Pparatus MFG, HVA 101-6000MSB, Gate Valve. 419717

AMAT 0010-00993, HV Module ESC, Chuck, Voltage Supply, Etch Chamber. 419711

AMAT 0200-00859, Top Ring, No Flow, Restrictor, 200mm, 0200-00859-003. 419724

Emerson H300-03400123, HVAC Drive, H300, H300-034. 419705

AMAT Lift Carrier, Spider Carrier Assembly Etch Chamber, MXP, 419744

Cutler-Hammer HLD 65k Industrial Circuit Breaker, 3 Pole, 600A, 600 VAC, 418142

Unit MFC, mass flow controller, 8565C, N2 750 SCCM NEW with calibration form

ES023-001448-1, XFR SYS BR940121, 8" Fork Robot Blade, End Effector. 418255

AMAT 0020-90185, Loadlock Lid, P5000 wafer Transfer Chamber 418326

Millipore FC-2950MEP5 MFC Mass Flow Controller, 500 SCCM, AR, Calibrated, 423660

Tylan FC-260V MFC, Mass Flow Controller, N2, 1 SLPM, Calibrated, 423661

Beam Alighment PCB Board 0001-00208-00

Opto-Electronic MOD80-D4BC50-3040SA AO Modular/Shifter Driver. 423391

CoorsTek 760300 Ceramic Ring, 7603-00, 10.5 OD x 5.154 ID x .600 T, 422381

CoorsTek 8971-02 Ceramic Ring, 8971-00, 11.00 OD x 7.00 ID x .63 THK, 422384

AMAT 0140-21236, Harness Assembly, AC Power LLB HTR & Cryo Control. 417156

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423671

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423672

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423673

Sartorius Labs ENTRIS623-1S Entris Milligram Balance Scale 620 X 0.001 g, 423887

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423674

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423675

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423676

STEC SEC-4400MC MFC, Mass Flow Controller, AR, 500 SCCM, Calibrated, 423677

Tamagawa TS3653N95E8 Stepper Motor Assembly, 4.5, 2A, 420675

Kulicke and Soffa 01471-4008-001-05 PCB Board, 01471-5048-000, 420678

Kulicke and Soffa 01471-4012-101-00 Ultra Gen, Board, PCB, 420579

AMAT 0020-76182, NDM-A-116, Housing, Pedestal, Cooldown, Non-ENP. 418447

2 Tokyo Ohka 3KV-300PF Variable Condenser, Capacitor, 6310, RF Match, 421882

AMAT 0040-18080, HDP CVD Gas Ring Chamber Gas Manifold Interface. 419902

AMAT 0040-04987, Side Coil Assembly, Mesa Stock. 419969

STEC MFC SEC-4550, O2, 50 SLM. 324243

STEC MFC SEF-8460SL, N2, 50 SLM, 324255

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 200 SCCM, SEC-4400, 325164

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 200 SCCM, SEC-4400, 329982

AMAT 0200-20378 Plate, Insulator, Liner Ring, 422936

MKS baratron 127AAX-000100T, 10 TORR lots of 2

STEC 4.0g/min TEOS LFC LF-410A-EVD

Horiba STEC LF-F40M-A-EVD LFC Liquid Flow Controller, Ethanol, 3.0 g/min, 422567

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, N2, 500 SCCM, AMAT 3030-01519, 325370

MKS 627A-15359 Baratron Pressure Transducer, .1 Torr, 423447

Nippon System MLPS-2C-A-3, NPS LP5-2CA3, Pneumatic Switch Valve. 418500

Panasonic MFA020LATNP AC Servo Motor, 200W, 3000 r/min, 422985

AMAT 0100-90034 PWBA Relay Beamline Instrument Extraction Electrode Drive Module

MKS 625B23TCEFU Baratron Capacitance Manometer, 2000 Torr, 422996

AMAT 1080-01287 Motor Stepper Assembly, RORZE RD-023MS

AMAT 0021-09914, Plate, Blocker, DXZ SACVD, Centura, 423935

AMAT 0021-09914, Plate, Blocker, DXZ SACVD, Centura, 423936

AMAT 0021-09914, Plate, Blocker, DXZ SACVD, Centura, 423937

AMAT 0021-09914, Plate, Blocker, DXZ SACVD, Centura, 423938

AMAT 0021-09914, Plate, Blocker, DXZ SACVD, Centura, 423939

AMAT Loadlock Door, 423941

Granville-Phillips Model 01 Ion Gauge Controller, 307005/06, 422268

Entegris 888-900033, MFLD (PTFE), AMAT Special Mixer, 4-Port. 420065

Oriental Motor 5IK90GU-SMF2 AC Magnetic Brake Motor, 90W, 200V, 3 Phase, 423455

AMAT 0040-04488 Panel Display LED Cells, 418589

AMAT 0040-97525 Rev.B, Quadplas LTD, Transformer Cover. 417313

AMAT 0040-97525 Rev.B, Quadplas LTD, Transformer Cover. 417314

Silicon Thermal Power cool LB300 chiller with dual power outputs, 410192

AMAT 0200-40211V, Collar, Wider, 200mm SNNF, Tight Fit. 417381

AMAT 0040-39266 Rev.A, Aluminum Frame Lid, WXZ, AYZ. 418711

AMAT 0660-01791, Card Main Center Assembly (Spare for 0650-01). 409808

AMAT 0660-01791, Card Main Center Assembly (Spare for 0650-01). 409807

AMAT 0010-00376 Cardcage Sub-Assembly, System Electronic 417355

AMAT 0010-06243, Assembly Differential Pressure Switch. 418744

3 AMAT 1410-00002, HPS MKS Heater Jacket, Foreline vacuum hose DPS POS C. 417398

ES023-001448-1, XFRSYS BR940121, 8" Fork Robot Blade End Effector, 418835

AMAT 0200-09021, Shield 150mm Ceramic Cover, CVD Chamber, 415231

HPS, MKS BOULDER CO, Humphrey 062 4E1, 24DC 0, 125 PSI, Valve, Vacuum. 415248

HPS, MKS BOULDER CO, Humphrey 062 4E1, 24DC 0, 125 PSI, Valve, Vacuum. 415249

Thornton Dot Two Resitivity Controller, AMAT 0020-22585, Heat Exchanger, 423042

Bazlers IMG 300 Ion Gauge Control, Controller, BG D25 754-1, 416308

AMAT 0020-26209 Cover Lid, Cool Water Tempurature Monitor Enclosure 415280

AMAT 0010-70617, Assembly, Cass Present LLB (F-PA200-81MH). 415282

AMAT 0010-70617, Assy, Cass Present LLB (F-PA200-81MH). 415286

ACS Electronics SB214PC2-E XY Controller PCB 423137

STEC SEC-4400M Mass Flow Controller, MFC, CL2, 500 SCCM, SEC-4400, 321003

3 AMAT 0150-09276 Cable, Over Pressure HE C, Pressure Controls Inc AR-6, 418846

3 AMAT 0150-09276 Cable, Over Pressure HE C, Pressure Controls Inc AR-6, 418847

Aera MFC TC FC-980C, SiH4 1 SLM with Calabration SHEET

LAM 716-330122-002, P1A00133, Plate, Top, Ceramic, F/G. 419121

LAM 716-330122-002, P1A00133, Plate, Top, Ceramic, F/G. 419122

LAM 716-330122-002, P1A00133, Plate, Top, Ceramic, F/G. 419123

LAM 718-094756-081 Chuck, Cap, Electrode, ESC, 420889

3 NEW THK RSR12VM, AC2174B1, Linear motion gauide rail, 2RSR12ZVMUUT220

AMAT 0020-02087 Rev.E, L & P Machine, Wafer Aligner, 100mm. 419148

VAT 93753-R1 PM-4 Adaptive Pressure Controller, 641PM-94AG-AAV1/0001, 420219

CoorsTek 760300 Ceramic Ring, 7603-00, 10.5 OD x 5.154 ID x .600 T, 423495

Oriental Motor 5IK90GU-SMF2 AC Magnetic Brake Motor, 90W, 200V, 3 Phase, 423499

AMAT 0020-70424 Center Ring, Loadlock Cover, Loadlock Orienter, 5000, 417501

Micro Instrument Co. 510-204740-002 PCB Board, LAM, 423725

ABB ACS355-03U-23A1-4 IP20/UL Open Type Low Voltage Machine Drive, 423729

Yaskawa VIMR-F7U22P2 Varispeed F7 Variable Frequency Drive, 423750

40082-01 Chamber lid with Omega OS137-3-V2 infrared temp sensor on kf50 flange

Brooks TT1-ENR2-1-TVS-ES-BROOKS4 Robot Teach Pin, Controller, Pendulum, 419222

HP Quantum Controller Server Module, 5 Crossroads Systems AD90368 PCB. 416404

PHD, 4475-19 ParentD30, 0180502-3-01 Actuator, Mini Rot

AMAT 0190-75059 Rev.A, XFMR, 3.6KVA 20V PRI 120V @ 15A/100V @ 15A. 417732

AMAT VME Controller PCB Card Cage, Electronic Rack, 423999

AMAT 0040-91871, Cambridge Fluid Systems, Manifold Pigtail CGA 330 Gas A. 418080

AMAT 0040-91871 Issue.B, Manifold Pigtail CGA 330. 418733

ABB ACS355-03U-38A0-4 IP20/UL Open Type Variable Frequency Drive, 423751

AMAT 0200-00221 Insulator, Pinless, 8" SNNF, Preclean II, TEL SI07077R, 417756

AMAT 0020-11229 Cover, CB Chamber AC Box Safety, 417761

2 Kokusai Electric DN-130P, Heater Over Temperature Protection Unit 202086031

8 Pall Gaskleen GLFPF3000-V04 Filters, GLFPF3000V04, 423859

TEL, Tokyo Electron SU01005R, Union Rotary, Deublin 54-085-173. 417212

STEC 0.2g/min TEPO LFC LF-310A-EVD

AMAT 0200-40169 Cover Ring, 200mm SNNF non Contact 417370

2 AMAT 0200-10507, Cover, Quartz, 8", Ext Poly, 7.6mm. 417399

AMAT 0140-03302 Harness Assy, NSK TO Controller Power, Centura 300, 415302

AMAT 0140-03302 Harness Assy, NSK to Controller Power, Centura 300, 417489

AMAT 0140-76453 Harness, 300mm, Robot Driver Interconnect, 417876

AMAT 0090-77003 Assy Sensor VAC PT-513 PM1, 418103