引言 现代汽车正由一个单纯交通工具朝着能满足人类需求和安全、舒适、方便及无污染的方向发展。要实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化，先决条件则是各种信息的及时获取，这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。传统的传感器往往体积和重量大、成本高，它们在汽车的应用受到很大的限制。 近几年来，从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectronmechnicalsystem,MESM）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件，主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器；此外，还有微型温度传感器、磁场陈干起、气体传感器等，这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。随着微电子加工技术，特别是纳米加工技术的进一步发展，传感器技术还将从微型传感器进化到纳米传感器。这些微型传感器体积小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使它们非常适合于汽车方面的应用。 1、汽车用传感器分类 汽车用传感器是用于汽车显示和电控系统的各种传感器的统称。它涉及到很多的物理量传感器和化学量传感器。这些传感器要么是使司机了解汽车各部分状态的；要么是用于控制汽车各部分状态的。按在汽车上的作用可分为控制发动机、控制底盘以及给驾驶员提供各种信息用传感器，构成这些传感器的材料有精细陶瓷、半导体材料、光导纤维及高分子薄膜等；按输出特性来分有模拟型传感器和数字型传感器；按构成原理来分，有结构型、韧性型和复合型。为方便起见，现按汽车传感器的控制对象来分类。 2、微型传感器在汽车中的应用

引言 现代汽车正由一个单纯交通工具朝着能满足人类需求和安全、舒适、方便及无污染的方向发展。要实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化，先决条件则是各种信息的及时获取，这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。传统的传感器往往体积和重量大、成本高，它们在汽车的应用受到很大的限制。 近几年来，从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectronmechnicalsystem,MESM）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件，主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器；此外，还有微型温度传感器、磁场陈干起、气体传感器等，这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。随着微电子加工技术，特别是纳米加工技术的进一步发展，传感器技术还将从微型传感器进化到纳米传感器。这些微型传感器体积小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使它们非常适合于汽车方面的应用。 1、汽车用传感器分类 汽车用传感器是用于汽车显示和电控系统的各种传感器的统称。它涉及到很多的物理量传感器和化学量传感器。这些传感器要么是使司机了解汽车各部分状态的；要么是用于控制汽车各部分状态的。按在汽车上的作用可分为控制发动机、控制底盘以及给驾驶员提供各种信息用传感器，构成这些传感器的材料有精细陶瓷、半导体材料、光导纤维及高分子薄膜等；按输出特性来分有模拟型传感器和数字型传感器；按构成原理来分，有结构型、韧性型和复合型。为方便起见，现按汽车传感器的控制对象来分类，如表1所示。 2、微型传感器在汽车中的

作者：绍 莹 刘 丽 来源：《电子产品世界》 微型传感器家族新成员-微型接近传感器 利用MEMS（Micro Electromechanical System，微机电系统）技术制作的微型传感是近年来传翕器发展的主流之一，特点是体积小、重量轻、功耗低、功能集成高和可靠性高等。其制造过程利用了半导体业较为成熟的工艺，能实现与之类似的大批量、高精度加工。目前，已研制出的微型传感器种类繁多，其中压力、加速度、磁（霍尔效应）、温度、光学（CCD）等传感器已有成熟商品问世。本文则将以Xiaofeng Yang(Advanced Micro Machines公司)等人研制的一种单片式传感器为例，介绍微型接近传感器这一微型传感家庭的新成员。 用途及基本原理 这种表型传感器主要用于为最终用户的产品提供一种检测其是否被移动、改动或摔

              日立制作所与YRP泛在网络化研究所2004年11月24日宣布开发出了全球体积最小的传感器网络终端。该终端为安装电池的有源无线终端，可以搭载温度、亮度、红外线、加速度等各种传感器。设想应用于大楼与家庭的无线传感器以及安全管理方面。此次开发的是利用频率为300MHz的微弱无线信号与基站进行通信的无线终端。通信距离在10米左右。配备有8位微控制器，使用该公司自已的无线标准及通信协议。使用电源为锂离子充电电池或本田电池。型号最小的终端尺寸包括锂离子充电电池在内为2.3cm×2.0cm×1.5cm，体积6.9cm3。由于“原来最小的也在10cm3左右”（日立制作所），所以该终端“是目前全世界最小的”（日立制作所）。 除尺寸外，通信方式采用“间歇发射型”（日立制作所），电池工作时间也得以大幅度延长。“在（备用的传感器网络无线端口）ZigBee中，由基站向终端发出名为标识（Beacon）的控制信号，终端为接收这一信号而耗费电力。此次开发的终端是通过终端向基站发出信号才开始通信，所以不需要等待信号”（日立制作所）。 具体待机时间为，使用电压＋3.7V、容量150mAh的市售锂离子充电电池时，“将无线通信设定为5分钟发射一次的话、无需更换电池或充电即可使用1年半时间”（日立制作所）。另一方面，在ZigBee下，尽管经常号称“2节3号碱性干电池可使用1年～2年”。但每节3号碱性干电池的容量为1000mAh～2000mAh

1、前言 当今，具有智能传感器技术捡测头的呼吸医疗监视仪已经闻世，这就比较理想地解决了对各种情感和呼吸之间联系作大量研究的问题，并且可以用来真实纪录一个人的呼吸状况及其变化。 在此本文对呼吸监视仪中用微型传感器-硅压阻式传感器（SPRT）与MAX1450或MAX1457信号调理器组成新型智能传感器及在技术方案中的功能作一个分析与介绍。 2、呼吸医疗监视仪与智能传感器及技术（其组成框图，见图1所示） 2.1呼吸医疗监视仪(见图1右面所示) 该监视仪的用途是用来监视呼吸状况，并能给出大致的呼吸深度。这个监测仪监测一些可以用来评价焦虑程度的重要参数：呼吸频率、呼吸的均匀程度以及呼气和吸气之间的间歇。平静、积极的情绪通常会导致呼出长于吸入，二者时间之比的参数，能从一个方面揭示人的焦虑程度。相对较高水平的胸呼吸（相对于腹呼吸）也可说明焦虑程度。监视仪对胸呼吸的观察反映出监视仪具有大量的可视信息功能。 2.2智能传感器技术 图1中的呼吸监视仪采用硅压阻式传感器（SPRT—Siliconpiezoresistancetransducer）检测吸入与呼出时对应压力的降低和增加。SPRT的输出被馈入一个MAX1450或MAX1457信号调理器芯片，而MAX1450或MAX1457信号调理器芯片又对SPRT的进行驱激励(或用电流源激励)，其SPRT固有误差又被馈入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后将经过补偿的电压信号送入具有12位的模数转换器（ADC）MAX1202。ADC输出（数字化的压力信号）进入一个PC接口MAX3232，并被转换为RS-232电平。最后信号被传递到PC

http://cnbpq.com 文中针对反应堆中一种具有小间隙窄长叠层薄板结构形式的堆芯元件（简称板型元件）在高速流场中流体诱发振动和动态失稳等问题研制出了一种微型传感器以适应电磁法的要求，这种微型传感器具有体积小，制作简单，几乎不干扰“流场”等优点。通过对板型元件流致振动试验的综合动态测试，结果表明这种微型传感器可靠而有效。 由于堆叠层板状堆芯元件流致振动及稳定性研究是核工业科学基金资助课题，其研究内容是针对一种新型反应堆燃料元件—叠层板状元件在高速流场中诱发振动和动态失稳等问题。这些问题的研究竟对反应堆热交换系统的设计和工艺提供新的测试方法和必要的数据，从而克服目前在设计中的盲目性。 由于研究对象是一种新型构件，工作环境和结构有其特殊性，采用常规测试方法难以达到目的。通过反复研究和探索，决定采用电磁测试法的方案。根据电磁法的要求，首先要有一种传感器，这种传感器必须考虑到测试条件的特殊性，属非标准器件，要满足课题的要求，只有自行设计制造。这种微型传感器为了采集板型元件流致振动的信号供信号分析仪和计算机分析研究，并对电磁测试法的其它电气设备进行了探索性的研究。最后通过两年的实测使用，证明是成功的。该项目曾荣获核工业科技进步二等奖。

安全、舒适、无污染、经济性一直是汽车工业和用户追求的目标。实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化，先决条件则是各种信息的及时获取，这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。传统的传感器往往体积和重量大，成本高，它们在汽车的应用受到很大的限制。近年来从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS (Microelectromechnical SYSTEM, 微电子机械系统)技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种能敏感和检测力学量、磁学量、热学量、化学量和生物量的微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使得它们非常适合于汽车方面的应用。80年代初，微型压阻式多路绝对压力（Manifold Absolute Pressure）传感器开始大批量生产，取代了早期采用LVDT技术的压力传感器。80年代中期微型加速度传感器开始用于汽车安全气囊,它们是到目前为止大量生产的、并在汽车中得到广泛应用的微型传感器。然而微型传感器的大规模应用势必将不限于发动机燃烧控制和安全气囊,在未来5～7年内包括发动机运行管理、废气与空气质量控制、ABS(antilock brake SYSTEM,防抱死系统）、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统（如气囊和障碍物检测与避撞等）在内的应用将为MEMS技术提供广阔的市场。全世界的汽车产量将从2000年的4750万辆(包括客车、特种车辆和轻型卡车）增长到2005年的5400万辆。2000年汽车用电子产品的市场为227亿美元，预计到2005年达到309亿美元，年平均增长率达

李学东,余志伟,杨明忠 摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 关键词：MEMS 技术；微型传感器；智能化；多功能化 微型传感器的特点 传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。 微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过MEMS 加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点，可以极大地提高传感器性能。在信号传输前就可放大信号,从而减少干扰和传输噪音,提高信噪比;在芯片上集成反馈线路和补偿线路,可改善输出的线性度和频响特性,降低误差,提高灵敏度。 具有阵列性。可以在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿线路。可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性,便于与微电子器件集成与封装。 利用成熟的硅微半导体工艺加工制造,可以批量生产,成本非常低廉。 典型的微型传感器 微机械加速度传感器 它是最早利用MEMS 技术开发成功,并取得广泛应用的微型传感器之一。微加速度传感器的主要工作方式有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式,现在又出现了微机械热对流式加速度传感器。 图1 和图2 分别给出了新型加速度传感器作用原理和结构示意图。在悬臂梁

美国麻省理工学院研究人员正在全力开发一种微型传感器，该传感器能对微量有毒气体做出相当强烈的反应，能比以往任何装置都更加迅速地检测有毒工业化学品和生化战剂。研究人员在2008年微型机电系统（MEMS）大会上介绍了这一研究计划。美国“每日科学”网近日发布了这一消息。 有别于以往的实验室设备，这种微型气体探测器在现实环境中更易于使用，可以分散布置在室内或室外任何区域。该小型装置既减少了额定功率的消耗，还能对更为微量的气体作出敏感反应。 研究人员计划制造出的整个探测装置仅为一个火柴盒大小。探测装置将利用气相色谱—质谱技术感受识别气体分子，并将检验结果转化成电子报警信号。目前世界上已有的便携式气相色谱—质谱仪需要耗时15分钟才能给出结果，且有效探测范围只有约一个食品袋容积大小。在耗能方面，已有的便携式气体传感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型传感器耗能只有约4焦耳，且只用4秒钟就能给出结果。 研究人员计划在两年内完成开发，研发成功后将主要适用于保护供水系统和医疗诊断系统。

据有关报告显示,2008年全球传感器市场规模为506亿美元,而到2010年预计全球传感器市场则可达600亿美元以上.近些年来,与半导体工艺的融合成为推动传感器发展的一个重要动力,这种融合使传感器的性能更加强大,而体积却越来越小,催生出微型传感器.微型传感器的出现使原本在很多不能应用传感器的领域得以应用传感器件,从而为系统产品的智能化提供了条件.与此同时,传感器应用领域的拓展带来了更多的市场需求.近些年来,基于MEMS等技术的新兴微型传感器如加速度传感器、角速度传感器、无线传感器、生物传感器、光传感器等的普及不断给传感器市场带来新的增长点.比如最近兴起的传感网概念,就与微型无线传感器息息相关,也正是受益于传感网的发展,无线传感器市场受到业界的关注并增长迅速,据有关市场研究机构预测,在2007-2010年该市场年复合增长率会超过25%. 微型传感器工艺技术创新 微型传感器听起来是体积微小的传感器,但实际上,它并不是传统传感器简单物理缩小的产物.据专家介绍,它是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过MEMS等加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点,可以极大地提高传感器性能.它的出现解决了传统的传感器因其制作工艺与半导体工艺不兼容,在性能、尺寸和成本上不能与通过半导体技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应的难题. 为满足市场更高的要求,传感器厂商在技术与工艺上不断进步,产品也更加差异化.比如,爱普生的微型传感器采用QMEMS工艺制作.爱普生(中国)有限公司副总经理酒井嘉弘告诉《中国电子报》的记者, QMEMS是合并了Q

1、前言 当今，具有智能传感器技术捡测头的呼吸医疗监视仪已经闻世，这就比较理想地解决了对各种情感和呼吸之间联系作大量研究的问题，并且可以用来真实纪录一个人的呼吸状况及其变化。 在此本文对呼吸监视仪中用微型传感器-硅压阻式传感器（SPRT）与MAX1450或MAX1457信号调理器组成新型智能传感器及在技术方案中的功能作一个分析与介绍。 2、呼吸医疗监视仪与智能传感器及技术 2.1呼吸医疗监视仪 该监视仪的用途是用来监视呼吸状况，并能给出大致的呼吸深度。这个监测仪监测一些可以用来评价焦虑程度的重要参数：呼吸频率、呼吸的均匀程度以及呼气和吸气之间的间歇。平静、积极的情绪通常会导致呼出长于吸入，二者时间之比的参数，能从一个方面揭示人的焦虑程度。相对较高水平的胸呼吸（相对于腹呼吸）也可说明焦虑程度。监视仪对胸呼吸的观察反映出监视仪具有大量的可视信息功能。 2.2智能传感器技术 呼吸监视仪采用硅压阻式传感器（SPRT—Silicon piezoresistance transducer）检测吸入与呼出时对应压力的降低和增加。SPRT的输出被馈入一个MAX1450或MAX1457信号调理器芯片，而MAX1450或MAX1457信号调理器芯片又对SPRT的进行驱激励(或用电流源激励)，其SPRT固有误差又被馈入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后将经过补偿的电压信号送入具有12位的模数转换器（ADC）MAX1202。ADC输出（数字化的压力信号）进入一个PC接口MAX3232，并被转换为RS-232电平。最后信号被传递到PC机系统，这样就可以显示出呼吸波形，并对以上所述参数进行分

美国麻省理工学院研究人员正在全力开发一种微型传感器，该传感器能对微量有毒气体做出相当强烈的反应，能比以往任何装置都更加迅速地检测有毒工业化学品和生化战剂。研究人员在2008年微型机电系统（MEMS）大会上介绍了这一研究计划。美国“每日科学”网近日发布了这一消息。 有别于以往的实验室设备，这种微型气体探测器在现实环境中更易于使用，可以分散布置在室内或室外任何区域。该小型装置既减少了额定功率的消耗，还能对更为微量的气体作出敏感反应。 研究人员计划制造出的整个探测装置仅为一个火柴盒大小。探测装置将利用气相色谱—质谱技术感受识别气体分子，并将检验结果转化成电子报警信号。目前世界上已有的便携式气相色谱—质谱仪需要耗时15分钟才能给出结果，且有效探测范围只有约一个食品袋容积大小。在耗能方面，已有的便携式气体传感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型传感器耗能只有约4焦耳，且只用4秒钟就能给出结果。 研究人员计划在两年内完成开发，研发成功后将主要适用于保护供水系统和医疗诊断系统。

美国麻省理工学院研究人员正在全力开发一种微型传感器，该传感器能对微量有毒气体做出相当强烈的反应，能比以往任何装置都更加迅速地检测有毒工业化学品和生化战剂。研究人员在2008年微型机电系统(MEMS)大会上介绍了这一研究计划。美国“每日科学”网近日发布了这一消息。 有别于以往的实验室设备，这种微型气体探测器在现实环境中更易于使用，可以分散布置在室内或室外任何区域。该小型装置既减少了额定功率的消耗，还能对更为微量的气体作出敏感反应。 研究人员计划制造出的整个探测装置仅为一个火柴盒大小。探测装置将利用气相色谱—质谱技术感受识别气体分子，并将检验结果转化成电子报警信号。目前世界上已有的便携式气相色谱—质谱仪需要耗时15分钟才能给出结果，且有效探测范围只有约一个食品袋容积大小。在耗能方面，已有的便携式气体传感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型传感器耗能只有约4焦耳，且只用4秒钟就能给出结果。 研究人员计划在两年内完成开发，研发成功后将主要适用于保护供水系统和医疗诊断系统。

南京宏沐科技有限公司于2006年与德国HELM合作组建成立，专业从事压力、液位、温度测控仪表的研发和生产。日前，该公司研制生产的HM91微型压力传感器成功应用于成都勘测科学院水利项目。 HM91系列微小型、超薄型及特殊形状的压力传感器，采用了德国HELM压力传感器硅叠硅技术、国际先进的微型化制作与封装工艺、高精度集成压阻力敏元件，进行了精致巧妙的微型封装，具有优良的动静态特性。 目前出于对被测流场、安放位置或动态频响的要求，必须原位测压时，常常对传感器的外形尺寸的微型化有较为苛刻的要求，以期在不干扰流场状态情况下，复现脉动流场的变化规律。HM91微型压力传感器很好的回避了同类产品的弊端，可广泛应用于空气动力学研究、飞行器及发动机试验、风洞试验、流体力学及水工试验、水轮机及水下兵器试验、生物医学应用、化爆或核爆冲击波等许多研究中。 该产品技术参数为： 量 程0～10KPa至0～6MPa间任意量程 体积小，高频动态响应，动态压力传感器,微型压力传感器最小直径为2.54mm，长度为3.77mm，用于风洞试验、叶轮机叶片压力测量等场合。 高精度，

先进的半导体技术已经成熟地应用于我们的日常生活中，目前在这个领域存在大量的研究、资源开发和投资。通过MEMS技术在半导体上的应用，我们可以在MEMS领域里获得同样的收益。通过采用MEMS技术，传统半导体产品的成本、功耗、性能和物理尺寸的表现都将得到提升。过去很多MEMS设备被应用于汽车、工业和导航领域，现在通过采用先进的半导体工艺和系统解决方案，我们可以使其应用于消费类电子设备比如游戏机、移动电话、数字照相机等。 美新半导体提供加速度计以及地磁传感器，对加速度计而言，我们正在采用独有的热对流技术来检测重力加速度。 至于磁性传感器，我们采用AMR技术(各向异性磁电阻)。尽管它是一个老的技术，但对消费类电子应用来说是一个很好的技术。传统的霍尔效应传感器需要消耗较多的电流，因此在消费类电子上的应用有很大的劣势。如果在消费类电子产品的电路板上没有被正确放置，GMR(巨磁电阻)可能被永久损坏。相反的，AMR技术没有这些缺点，并且用很少的电流，有很高的精度和分辨率，而且具有低噪音和更长的使用寿命等特点。这项技术非常适用于消费电子。 微型传感器未来的应用发展趋势一定会在家庭和消费类电子上，因为它们是成长最快，也是最大的市场。传统的MEMS已经渗透到工业、汽车和导航系统的市场，我们看到基于MEMS技术的新产品提供了很低的成本，从而使相关市场受益。 我们主要的市场是在移动电话，特别是国内的移动电话市场。因为中国市场的独特性，我们为国内的手机客户提供整体解决方案。我们和应用研发公司一起合作，用我们的加速度计和磁传感器开发了比如游戏、新的手机UI界面等等的应用。我们也为不同的手机操作系统提供API

2006-2010年MEMS手机市场规模 单位：百万美元 采用新型技术与工艺的微型传感器，拓展了应用领域，满足了更高的要求，成为推动传感市场发展的动力。 据有关报告显示，2008年全球传感器市场规模为506亿美元，而到2010年预计全球传感器市场则可达600亿美元以上。近些年来，与半导体工艺的融合成为推动传感器发展的一个重要动力，这种融合使传感器的性能更加强大，而体积却越来越小，催生出微型传感器。微型传感器的出现使原本在很多不能应用传感器的领域得以应用传感器件，从而为系统产品的智能化提供了条件。与此同时，传感器应用领域的拓展带来了更多的市场需求。近些年来，基于MEMS等技术的新兴微型传感器如加速度传感器、角速度传感器、无线传感器、生物传感器、光传感器等的普及不断给传感器市场带来新的增长点。比如最近兴起的传感网概念，就与微型无线传感器息息相关，也正是受益于传感网的发展，无线传感器市场受到业界的关注并增长迅速，据有关市场研究机构预测，在2007-2010年该市场年复合增长率会超过25%。 微型传感器工艺技术创新 微型传感器听起来是体积微小的传感器，但实际上，它并不是传统传感器简单物理缩小的产物。据专家介绍，它是以新的工作机制和物化效应，使用标准半导体工艺兼容的材料，通过MEMS等加工技术制备的新一代传感器件，具有小型化、集成化的特点，可以极大地提高传感器性能。它的出现解决了传统的传感器因其制作工艺与半导体工艺不兼容，在性能、尺寸和成本上不能与通过半导体技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应的难题。 为满足市场更高的要求，传感器厂商在技术与工艺上不断进步，产品

据市场研究公司BCC Research最新发表的研究报告称，2008年全球微传感器市场的销售收入将达32亿美元，比2007年的27亿美元增长18.5%。到2013年，全球微传感器市场的销售收入将达到84亿美元。这个市场从2008年至2013年的复合年增长率为21.3%。 BCC Research把这个市场分为微电机系统、生物芯片和纳米传感器等应用市场。微电机系统是最大的微传感器市场，2007年的销售收入为22亿美元。这个市场2008年的销售收入将达26亿美元，2013年的销售收入将达64亿美元，复合年增长率为19.6%。2007年微电机系统占整个微传感器市场份额的82.8%。这个比例在2013年将下降到76.5%。 生物芯片是第二大市场，2007年的销售收入为4.65亿美元，预计2008年的销售收入将达5.815亿美元，2013年的销售收入将达18亿美元，复合年增长率为25.6%。生物芯片2007年占整合微传感器市场的份额为17.2%，预计到2013年将提高到21.6%。 纳米传感器在2008年以后的商业性销售将显著增长，到2013年的销售收入将达1.599亿美元，占整合微传感器市场份额的将近2%。 在2007年，微电机系统压力传感器是最大的微传感器市场，其次是微电机系统过载传感器、生物芯片、微电机系统陀螺仪、化学和燃气以及热传感器等。

文中针对反应堆中一种具有小间隙窄长叠层薄板结构形式的堆芯元件（简称板型元件）在高速流场中流体诱发振动和动态失稳等问题研制出了一种微型传感器以适应电磁法的要求，这种微型传感器具有体积小，制作简单，几乎不干扰“流场”等优点。通过对板型元件流致振动试验的综合动态测试，结果表明这种微型传感器可靠而有效。 由于堆叠层板状堆芯元件流致振动及稳定性研究是核工业科学基金资助课题，其研究内容是针对一种新型反应堆燃料元件—叠层板状元件在高速流场中诱发振动和动态失稳等问题。这些问题的研究竟对反应堆热交换系统的设计和工艺提供新的测试方法和必要的数据，从而克服目前在设计中的盲目性。 由于研究对象是一种新型构件，工作环境和结构有其特殊性，采用常规测试方法难以达到目的。通过反复研究和探索，决定采用电磁测试法的方案。根据电磁法的要求，首先要有一种传感器，这种传感器必须考虑到测试条件的特殊性，属非标准器件，要满足课题的要求，只有自行设计制造。这种微型传感器为了采集板型元件流致振动的信号供信号分析仪和计算机分析研究，并对电磁测试法的其它电气设备进行了探索性的研究。最后通过两年的实测使用，证明是成功的。该项目曾荣获核工业科技进步二等奖。

接线方式：　  　技术指标：　  　型  号CZL-1X量  程300g、500g、600g综合误差0.03输出灵敏度1.0±0.1mV/V非线性±0.02%F.S.重复性±0.02%F.S.滞  后±0.02%F.S.蠕  变±0.03%F.S.5min零点温度漂移±1.0%F.S./10℃额定输出温度漂移±0.05%F.S./10℃零点输出±0.1mV/V输入电阻1055±10Ω输出电阻1000±10Ω绝缘电阻≥2000MΩ（50V）推荐激励电压≤10V工作温度范围-10～+40℃过载能力150%F.S.推荐用途手掌秤‍

接线方式：　  　技术指标：　  　型  号CZL-1H量  程0.5Kg、1Kg5Kg、8Kg、20Kg综合误差0.02输出灵敏度1.0±0.15mV/V1.5±0.1mV/V非线性±0.02%F.S.重复性±0.02%F.S.滞  后±0.02%F.S.蠕  变±0.02%F.S.5min零点温度漂移±0.2%F.S./10℃额定输出温度漂移≤+0.03%F.S./10℃零点输出±0.1mV/V输入电阻1055±10Ω输出电阻1000±10Ω绝缘电阻≥2000MΩ（50V）推荐激励电压≤10V工作温度范围-10～+40℃过载能力150%F.S.推荐用途厨房秤、邮资秤‍

接线方式：　  　       技术指标：　  　型  号CZL-1R量  程0.6kg1kg2Kg、3Kg、5Kg、6kg综合误差0.03输出灵敏度1.0mV/V1.5mV/V1.2mV/V非线性±0.15%F.S.重复性±0.03%F.S.滞  后±0.03%F.S.蠕  变±0.03%F.S.5min零点温度漂移±0.1%F.S./10℃±0.3%F.S./10℃额定输出温度漂移±0.03%F.S./10℃零点输出±0.1mV/V输入电阻1055±10Ω输出电阻1000±10Ω绝缘电阻＞2000MΩ（50V）推荐激励电压≤10V工作温度范围-10～+40℃过载能力150%F.S.推荐用途厨房秤‍