型 号 AWM3100V AWM3200V
日期：2019-1-18摘要：AWM3100V AWM3200V
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| AMW系列 |  |  |  | |||||
| 型 号 | AWM3100V | AWM3200V | AWM3300V | AWM5000V | AWM43300V | AWM43600V | ||
| 量 程(sccm) | 0～+200 | 0～+60(±20) | 0～+1000 | 0～5/10/15/20 SLPM | +1000 | +6 SLPM | ||
| 压 力 | -- | 0～+5 mbar | -- | -- | -- | -- | ||
| 工作电源 电压(VDC) 电流(mA) 功率(mW) | 10.0±0.01 3 max 30 typ | 10.0±0.01 3 max 30 typ | 10.0±0.01 3 max 30 typ | 10.0±0.01 -- 100 max | 10 6 60 | 10 7.5 75 | ||
| 外/内管径(mm) | 5.1/3.6 | 5.1/3.6 | 5.1/3.6 | 1/4″ NPT/平滑接口 | 3.0/2.3 | 3.0/2.3 | ||
| 响应时间(ms) | 3 Max | 3 Max | 3 Max | 6 Max | 3 Max | 3 Max | ||
| 输出电压(VDC) | 5±0.15 ＠200 sccm | 5±0.15 ＠1000 sccm | 5±0.15 ＠4.98 mbar | 5±0.15 ＠FSO | 5±0.15 ＠1000 sccm | 5±0.15 ＠6 SLPM | ||
| 零点电压(VDC) | 1.0±0.05 | 1.0±0.1 | 1.0±0.05 | 1.0±0.05 | 1.0±0.05 | 1.0±0.05 | ||
| 输出电压漂移 -25～25℃ 25～85℃ (%FSO) | ±6.0 -7.0 | +24.0 -24.0 | ±6.5 ±9.0 | ±7(VA/VN) ±10(VC) | -5.0 +6.0 | -5.0 +6.0 | ||
| 零点漂移(mv) -25～85℃ | ±25 | ±100 | ±25 | ±50 (typ) ±200 (max) | ±25 | ±250 | ||
| 灵 敏 度 (mV/sccm) | 20＠200sccm | 0.8V/mbar ＠±4.98mbar | 4 ＠200sccm | 0.8VDC/SLPM 可调 | 5＠±1000sccm | 833mV/SLPM ＠6 SLPM | ||
| 迟滞、重复性 (%FSO) | ±0.50 max | ±0.50 max | ±1.0 max | ±0.50 | ±0.50 max | ±1.00 max | ||
| 工作温度(℃) | -25～+85 | -25～+85 | -25～+85 | -20～+70 | -25～+85 | -25～+85 | ||
| 存储温度(℃) | -40～+90 | -40～+90 | -40～+90 | -40～+90 | -40～+90 | -40～+90 | ||
| 压差(mbar) | 0.5 ＠±200sccm | 0.5 ＠±200sccm | 1.5 ＠±1000sccm | 0.6 typ 可调 | 2.5＠FSO | 19.9＠FSO | ||
| 过压(mbar) | 345 | 345 | 345 | 3500 | 150 psi max | 150 psi max | ||