SEMITOOL全新研发CINTILLIO设备降低成本助DRAM脱困

据台湾经济日报报道，DRAM价格不振，DRAM厂自救之道，除了减产，就是改善制程，降低成本，力抗不景气的冲击。

DRAM厂商积极向68nm以下铜制程技术推进，美商SEMITOOL台湾分公司总经理朱林表示，在尺寸只有20um的PAD镀上铝，一般采用光罩、PVD及去光阻，成本较高；若采用传统的酸槽电镀方式，成本及破片机率均高，晶圆容易有报废的风险。

SEMITOOL全新研发CINTILLIO设备，搭配精密分析仪器与先进电镀液，提供业界一个低成本、高良率的解决方案。该设备每小时可处理100片，具高稳定性的控制能力，成本比PVD制程大幅减少75%，且电镀液的使用寿命比传统的酸槽电镀多三倍，若加上省下的破片损失，节省成本助益极大。

SEMITOOL成立29年，专精高阶半导体设备，自制率高。产品有清洗机、铜制程电镀机(ECD)、先进封装制程电镀机等。其ECD与美商应材的PVD与CMP配合，被市场视为是最佳组合。

朱林说，亚洲是半导体业成长最快的市场，SEMITOOL台湾区近五年业绩即有十倍成长；三年多前，他奉命于台湾及大陆成立分公司，服务据点遍布两岸。这几年，直营分公司的效益明显浮现，亚洲的营运贡献比已高达六成以上，台湾也占三分之一比重。SEMITOOL今年营收预期达到2.5亿美元，在过去的15个月里，业绩逐季连续呈现成长态势，为业界仅见。

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