Edwards新推iXA系列真空泵 灵活小巧应用广泛

真空设备供应商Edwards日前推出了iXA系列磁轴涡轮分子真空泵，可广泛应用于半导体、平板显示、太阳能、以及工业玻璃镀膜等制造行业中的排气过程。该系列设备参展了SEMICON Japan 2007.

iXA系列真空泵具有业界最先进的性能表现，其最大的特点在于自配电源|稳压器供应及控制模块，可直接安装在各种构型的真空泵上，或实现无安装“遥控”，无须线缆及其它附件，真空泵与控制模块总体积与原先单一真空泵相当，此设计节省了空间降低了设备复杂性，可灵活应用于各类设备。