Nikon表示极紫外光刻项目进展情况良好
日期:2009-5-20日本Nikon公司日前表示,极紫外(EUV)光刻项目进展情况良好。
Nikon表示,EUV项目没有任何推迟。此前,某分析师指出,Nikon推迟了EUV项目的推进,这给了ASML巨大的时间上的优势。
Nikon对这一消息予以否认。“我们没有推迟EUV项目。我们仍然全速发展该项目。”
日本Nikon公司日前表示,极紫外(EUV)光刻项目进展情况良好。
Nikon表示,EUV项目没有任何推迟。此前,某分析师指出,Nikon推迟了EUV项目的推进,这给了ASML巨大的时间上的优势。
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