Crossing Automation新推Certon 450晶圆传送器

日前消息，据外媒报道，Crossing AUTOMATION 公司推出 450mm 晶圆开发平台和 Crossing Certon 450 晶圆传送器 ，并宣布两款产品均已接获客户订单。

Crossing全新450mm晶圆开发平台，提供市场一个独特、成本低廉且占地面积小的系统，这个系统使OEM厂商能够平稳地把晶圆移入或移出处理舱。这种单一的FOUP(前端开口片盒) EFEM(设备前端模块)透过消除平台开发上所花费的时间，进而加快了OEM厂商研发450mm晶圆产品的生产速度。这种可高度扩展的平台采用Crossing公认的处理技术，由于没有软件与硬件界面的变化，使OEM厂商能够轻易进到量产阶段。

Crossing Certon450界面晶圆传送器提供专利且符合人体工程学的“倾斜—移动”技术，即仅用一个人就能完成安装、卸载及工具移动。此功能允许快速安装并快速存取EFEM或加工工具的内部配件，晶圆传送器80公斤的重量仅行业平均水平的一半，能提供更便捷的服务。

Crossing Certon的其他特色还包括使传输最大化的集成制图功能，及正在申请专利的水平关门机制。水平关门机制可保证舱门确实关闭，以防止损害晶圆与颗粒物的产生。Crossing公司的晶圆传送器提供广泛的功能，同时符合450mm FOUP、FOSB(前开口运装箱)、MAC(多应用载体)的标准。

Crossing Automation市场营销部副总裁May Su表示，IDM(整合元件制造商)与OEM厂商都在增加450mm晶圆相关产品的开发活动。这些产品突出了我们在新产品开发方面的持续投资，而订单证明了开发450mm晶圆市场的方向正确。

晶圆传送器预计将于今年12月出货，而开发平台将于2012年第一季出货。